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一种晶圆制造过程中检测缺陷的定位和跟踪方法与流程
文档序号:15116119
发布日期:2018-08-07 20:14
阅读:
来源:国知局
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一种晶圆制造过程中检测缺陷的定位和跟踪方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明公开了一种晶圆制造过程中检测缺陷的定位和跟踪方法,利用不同波长的PL信号来探测缺陷;通过在晶圆上形成检测机台可见的直接标记,通过对准标记,实现对晶圆中缺陷的精确定位,获得缺陷的具体位置或缺陷所在的位置范围。解决了晶圆制造过程中检测缺陷定位与跟踪困难的问题。
技术研发人员:
李明山;倪炜江;黄兴;袁俊;张敬伟
受保护的技术使用者:
北京世纪金光半导体有限公司
技术研发日:
2018.01.30
技术公布日:
2018.08.07
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