技术特征：
技术总结
本发明涉及一种立式晶舟，其中，该立式晶舟具有顶板、底板、3根支柱和晶圆支承部，所述支柱由在晶圆插入始端侧的左右两侧配置的第1和第2支柱以及在晶圆插入终端侧的中央配置的第3支柱构成，所述晶圆支承部包含从所述第1、第2和第3支柱的侧面分别向水平方向突出的第1、第2和第3晶圆支承部，所述第1晶圆支承部与第1支柱的水平方向的合计截面积以及所述第2晶圆支承部与第2支柱的水平方向的合计截面积与所述第3晶圆支承部与第3支柱的水平方向的合计截面积具有预定的关系。
技术研发人员：荻津健
受保护的技术使用者：阔斯泰公司
技术研发日：2018.02.22
技术公布日：2018.08.28