TFT阵列基板的制作方法

文档序号:15464324发布日期:2018-09-18 18:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种TFT阵列基板,其特征在于,包括第一导电层(100)、设于第一导电层(100)上的第一绝缘层(200)、设于第一绝缘层(200)上的第二导电层(300)、设于第二导电层(300)及第一绝缘层(200)上的第二绝缘层(400)以及设于第二绝缘层(400)上的第三导电层(500);

所述第二绝缘层(400)上设有位于第二导电层(300)上方的第一过孔(410)及位于第一导电层(100)上方的第二过孔(420),所述第一绝缘层(200)上设有位于第一导电层(100)上方的第三过孔(210),第二过孔(420)位于第三过孔(210)内;第三导电层(500)经第一过孔(410)及第二过孔(420)分别与第二导电层(300)及第一导电层(100)连接;

所述第三导电层(500)上设有间隔的第一开口(510)与第二开口(520),所述第一开口(510)在竖直方向的投影位于第二过孔(420)底部边缘的一侧且一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端;所述第二开口(520)在竖直方向的投影位于第一过孔(410)底部边缘的一侧且一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端。

2.如权利要求1所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第一开口(510)在竖直方向的投影突出第二过孔(420)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分与所述第二开口(520)在竖直方向的投影突出第一过孔(410)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分在第一过孔(410)和第二过孔(420)排列方向上的长度之和大于等于第一过孔(410)底部边缘与第二过孔(420)底部边缘投影在同一水平面上时两者之间的距离;

所述第一开口(510)及第二开口(520)在竖直方向的投影分别位于由第一过孔(410)及第二过孔(420)组成的过孔列的两侧;

所述第一开口(510)及第二开口(520)均为长条状;所述第一开口(510)的延伸方向与第二开口(520)的延伸方向平行。

3.如权利要求2所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第二绝缘层(400)上还设有位于第二导电层(300)上方的第四过孔(440)及位于第一导电层(100)上方的第五过孔(450),所述第一绝缘层(200)上设有位于第一导电层(100)上方的第六过孔(220),第五过孔(450)位于第六过孔(220)内,所述第三导电层(500)经第四过孔(440)与第五过孔(450)分别与第二导电层(300)及第一导电层(100)连接;所述第四过孔(440)、第一过孔(410)、第二过孔(420)及第五过孔(450)依次设置排成一列。

4.如权利要求3所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第一开口(510)在竖直方向的投影的另一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)的一端;所述第二开口(520)在竖直方向的投影的另一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)的一端;

所述第三导电层(500)还设有间隔的第三开口(530)及第四开口(540);所述第三开口(530)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘的一侧,且一端突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端,另一端突出第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端;所述第四开口(540)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘的一侧,且一端突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端,另一端突出第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端;

所述第三开口(530)和第一开口(510)的排列方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行;所述第二开口(520)和第四开口(540)的排列方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行。

5.如权利要求4所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第一开口(510)在竖直方向的投影突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)一端的部分与所述第四开口(540)在竖直方向的投影突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分在第二过孔(420)和第五过孔(450)排列方向上的长度之和大于等于第二过孔(420)的底部边缘与第五过孔(450)底部边缘之间的距离;

所述第二开口(520)在竖直方向的投影突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)一端的部分与所述第三开口(530)在竖直方向的投影突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分在第四过孔(440)和第一过孔(410)排列方向上的长度之和大于等于第四过孔(440)的底部边缘与第一过孔(410)底部边缘之间的距离;

所述第三开口(530)及第四开口(540)均为长条状,所述第三开口(530)及第四开口(540)的延伸方向均与第一开口(510)的延伸方向平行;所述第一开口(510)的延伸方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行。

6.如权利要求3所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第三导电层(500’)还设有间隔的第三开口(530’)、第四开口(540’)、第五开口(550’)、第六开口(560’)、第七开口(570’)及第八开口(580’);

所述第三开口(530’)在竖直方向的投影位于第一过孔(410)底部边缘的一侧,且一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)的一端;所述第四开口(540’)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘的一侧,且一端突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端;所述第五开口(550’)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘的一侧,且一端突出第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端;所述第六开口(560’)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘的一侧,且一端突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端;所述第七开口(570’)在竖直方向的投影位于第二过孔(420)底部边缘的一侧,且一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)的一端;所述第八开口(580’)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘的一侧,且一端突出第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端;

所述第五开口(550’)、第三开口(530’)、第一开口(510’)及第六开口(560’)依次排成一列,且所述第五开口(550’)、第三开口(530’)、第一开口(510’)和第六开口(560’)的排列方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行;

所述第四开口(540’)、第二开口(520’)、第七开口(570’)及第八开口(580’)依次排成一列,且所述第四开口(540’)、第二开口(520’)、第七开口(570’)和第八开口(580’)的排列方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行。

7.如权利要求6所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第三开口(530’)在竖直方向的投影突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)一端的部分与第四开口(540’)在竖直方向的投影突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分在第一过孔(410)和第四过孔(440)排列方向上的长度之和大于等于第一过孔(410)底部边缘与第四过孔(440)底部边缘之间的距离;

所述第六开口(560’)在竖直方向的投影突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分与第七开口(570’)在竖直方向的投影突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)一端的部分在第二过孔(420)和第五过孔(450)排列方向上的长度之和大于等于第二过孔(420)底部边缘与第五过孔(450)底部边缘之间的距离;

所述第三开口(530’)、第四开口(540’)、第五开口(550’)、第六开口(560’)、第七开口(570’)及第八开口(580’)均为长条状,所述第三开口(530’)、第四开口(540’)、第五开口(550’)、第六开口(560’)、第七开口(570’)及第八开口(580’)的延伸方向均与第一开口(510’)的延伸方向平行;

所述第一开口(510’)的延伸方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向之间的夹角为45°。

8.如权利要求3所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第一开口(510”)在竖直方向的投影突出第二过孔(420)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分在第一过孔(410)和第二过孔(420)排列方向上的长度大于第一过孔(410)底部边缘与第二过孔(420)底部边缘投影在同一水平面上时两者之间的距离;所述第二开口(520”)在竖直方向的投影突出第一过孔(410)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分在第一过孔(410)和第二过孔(420)排列方向上的长度大于第一过孔(410)底部边缘与第二过孔(420)底部边缘投影在同一水平面上时两者之间的距离;

所述第三导电层(500”)还设有间隔的第三开口(530”)、第四开口(540”)、第五开口(550”)、第六开口(560”)、第七开口(570”)、第八开口(580”)、第九开口(590”)、第十开口(5100”);

所述第三开口(530”)及第四开口(540”)在竖直方向的投影分别位于第四过孔(440)底部边缘的两侧且一端均突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端;所述第三开口(530”)及第四开口(540”)在竖直方向的投影突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分在第一过孔(410)和第四过孔(440)排列方向上的长度均大于第一过孔(410)底部边缘与第四过孔(440)底部边缘之间的距离;

所述第五开口(550”)及第六开口(560”)在竖直方向的投影分别位于第五过孔(450)底部边缘的两侧且一端均突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端;所述第五开口(550”)及第六开口(560”)在竖直方向的投影突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分在第二过孔(420)和第五过孔(450)排列方向上的长度均大于第二过孔(420)底部边缘与第五过孔(450)底部边缘之间的距离;

所述第七开口(570”)及第八开口(580”)在竖直方向的投影分别位于第四过孔(440)底部边缘的两侧且一端均突出第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端;

所述第九开口(590”)及第十开口(5100”)在竖直方向的投影分别位于第五过孔(450)底部边缘的两侧且一端均突出第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端。

9.如权利要求8所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第三开口(530”)、第四开口(540”)、第五开口(550”)、第六开口(560”)、第七开口(570”)、第八开口(580”)、第九开口(590”)、第十开口(5100”)均为长条状,第三开口(530”)、第四开口(540”)、第五开口(550”)、第六开口(560”)、第七开口(570”)、第八开口(580”)、第九开口(590”)、第十开口(5100”)的延伸方向均与第一开口(510”)的延伸方向平行;

第一开口(510”)的延伸方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行。

10.如权利要求9所述的TFT阵列基板,其特征在于,所述第三导电层(500”)还设有间隔的第十一开口(5110”)、第十二开口(5120”)、第十三开口(5130”)及第十四开口(5140”);所述第十一开口(5110”)、第十二开口(5120”)、第十三开口(5130”)及第十四开口(5140”)均为长条状;

所述第十一开口(5110”)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端且与第七开口(570”)连接;所述第十一开口(5110”)的延伸方向与第七开口(570”)的延伸方向垂直;

所述第十二开口(5120”)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端且与第八开口(580”)连接;所述第十二开口(5120”)的延伸方向与第八开口(580”)的延伸方向垂直;

所述第十三开口(5130”)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端且与第九开口(590”)连接;所述第十三开口(5130”)的延伸方向与第九开口(590”)的延伸方向垂直;

所述第十四开口(5140”)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端且与第十开口(5100”)连接;所述第十四开口(5140”)的延伸方向与第十开口(5100”)的延伸方向垂直。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1