一种工厂自动化设备的控制系统及其方法与流程

本发明专利属于自动化生产设备技术领域，尤其涉及一种工厂自动化设备的控制系统及其方法。

背景技术

半导体装置的制造包括在一特定顺序与通常在一特定周期时间内利用多种高科技生产与度量机台来执行一连串工艺步骤所产生的效能。在晶片制造设备中的晶片逻辑系统的主要功能在正确的时间将晶片传送给每一机台，并且追踪整个工艺中的晶片的位置与状态。自动物料管理系统使用于晶片制造厂中，其以较人工方式操作更有效率、更一致且更安全的方式来施行自动制造流程。制造程序通常会导致在单一制造厂或制造厂间的跨厂传输内的跨层与跨工作阶段的需求。

中国专利公开号为cn101303596b，发明创造名称为一种半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一物料管制系统主机、一桥接器与一中央制造执行系统。该物料管制系统主机可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射，其中该传送型态表示用以在该第一物料管制系统的第一位置与该第二物料管制系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径以及该制造执行系统与自动物料处理系统映射用在路由规划与评估，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该中央制造执行系统与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机。其中，该物料管制系统主机包括一传输分派器，该传输分派器发送多个路由信号给该第一与第二物料管制系统，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。但是现有的半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输还存在着加工材料时容易产生异味影响操作员，不能对设备起到防尘和不能冲洗设备的问题。

因此，发明一种工厂自动化设备的控制系统及其方法显得非常必要。

发明专利内容

为了解决上述技术问题，本发明专利提供一种工厂自动化设备的控制系统及其方法，以解决现有的半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输存在着加工材料时容易产生异味影响操作员，不能对设备起到防尘和不能冲洗设备的问题。一种工厂自动化设备的控制系统及其方法，包括柜座，控制柜，吸附磁铁块，夹持磁铁块，工作箱，分隔观察板结构，照明防尘罩结构，喷洒除尘装置，计算机，plc，电源开关和指示灯，所述的控制柜螺栓连接在柜座的上端位置；所述的吸附磁铁块镶嵌在柜座的右侧上端内部位置；所述的夹持磁铁块镶嵌在工作箱的左侧下端内部位置；所述的分隔观察板结构吸附在吸附磁铁块和夹持磁铁块之间的位置；所述的照明防尘罩结构折页连接在工作箱的上端位置；所述的喷洒除尘装置螺栓连接在工作箱的右侧下部位置；所述的计算机螺栓连接在控制柜的上端位置；所述的plc螺钉连接在控制柜的正表面上部位置；所述的电源开关螺钉连接在控制柜的正表面下部左侧位置；所述的指示灯螺钉连接在控制柜的正表面下部右侧位置；所述的分隔观察板结构包括移动底座，分隔板，观察孔，观察片和移动轮，所述的分隔板焊接在移动底座的上端中间位置；所述的观察孔开设在分隔板的内部中间位置；所述的观察片镶嵌在观察孔的内部中间位置；所述的移动轮螺栓连接在移动底座的下端中间位置。

优选的，所述的plc具体采用型号为fx2n-48的plc；所述的观察片采用厚度为三毫米至五毫米的透明玻璃片。

优选的，所述的照明防尘罩结构包括塑料罩，移动照明杆结构，固定座，插接轴，支撑杆和固定磁铁块，所述的移动照明杆结构安装在塑料罩的正表面右侧位置；所述的固定座分别螺栓连接在塑料罩的正表面上部左右两侧；所述的支撑杆通过插接轴连接在固定座的内部中间位置；所述的固定磁铁块焊接在支撑杆的下端位置。

优选的，所述的塑料罩的右侧上部开设有插接槽；所述的塑料罩的正表面中间位置开设有滑槽。

优选的，所述的移动照明杆结构包括滑动座，旋转轴，旋转照明杆，插接座和灯珠，所述的旋转照明杆通过旋转轴连接在滑动座的内部中间位置；所述的插接座焊接在旋转照明杆的下端位置；所述的灯珠插接在插接座的下端位置。

优选的，所述的滑动座滑动卡接在滑槽的内部；所述的旋转照明杆，插接座和灯珠插接在插接槽内部。

优选的，所述的喷洒除尘装置包括水箱，放置桶，注水管，喇叭管和水泵，所述的放置桶螺栓连接在水箱的上端位置；所述的注水管焊接在水箱的上端右侧位置；所述的喇叭管焊接在注水管的上端位置；所述的水泵螺栓连接在水箱的上端左侧位置。

优选的，所述的水泵包括进水管，出水管，冲洗软管和喷头，所述的进水管螺栓连接在水泵的下端左侧位置；所述的出水管螺纹连接在水泵的上端左侧位置；所述的冲洗软管的一端抱箍连接在出水管的上部外壁位置；所述的冲洗软管的另一端抱箍连接在喷头的上部外壁位置。

优选的，所述的灯珠采用led灯珠；所述的灯珠设置有多个。

优选的，所述的冲洗软管采用橡胶软管；所述的水泵具体采用电压为220v的增压泵。

优选的，所述的计算机电性连接plc的输入端。

优选的，所述的电源开关电性连接plc的输入端。

优选的，所述的指示灯电性连接plc的输出端。

优选的，所述的灯珠电性连接plc的输出端。

优选的，所述的水泵电性连接plc的输出端。

与现有技术相比，本发明专利的有益效果为：

1.本发明专利中，所述的分隔板，观察孔和观察片的设置，有利于方便隔绝生产时产生的异味，防止影响操作员工作。

2.本发明专利中，所述的塑料罩，固定座，插接轴，支撑杆和固定磁铁块的设置，有利于防止设备上落上灰尘和生产时散发异味。

3.本发明专利中，所述的水泵，进水管，出水管，冲洗软管和喷头的设置，有利于方便进行设备的冲洗防止灰尘太多影响工作。

4.本发明专利中，所述的旋转轴，旋转照明杆，插接座和灯珠的设置，有利于方便设备维修时进行照明工作，防止光线太暗影响工作。

5.本发明专利中，所述的移动底座，分隔板和移动轮的设置，有利于方便分隔板移动和调整位置。

6.本发明专利中，所述的吸附磁铁块和夹持磁铁块的设置，有利于方便固定移动底座和分隔板，防止分隔板歪倒。

附图说明

图1是本发明专利的结构示意图。

图2是本发明专利的分隔观察板结构的结构示意图。

图3是本发明专利的照明防尘罩结构的结构示意图。

图4是本发明专利的移动照明杆结构的结构示意图。

图5是本发明专利的喷洒除尘装置的结构示意图。

图6是本发明专利的电气接线示意图。

图中：

1、柜座；2、控制柜；3、吸附磁铁块；4、夹持磁铁块；5、工作箱；6、分隔观察板结构；61、移动底座；62、分隔板；63、观察孔；64、观察片；65、移动轮；7、照明防尘罩结构；71、塑料罩；711、插接槽；712、滑槽；72、移动照明杆结构；721、滑动座；722、旋转轴；723、旋转照明杆；724、插接座；725、灯珠；73、固定座；74、插接轴；75、支撑杆；76、固定磁铁块；8、喷洒除尘装置；81、水箱；82、放置桶；83、注水管；84、喇叭管；85、水泵；851、进水管；852、出水管；853、冲洗软管；854、喷头；9、计算机；10、plc；11、电源开关；12、指示灯。

具体实施方式

以下结合附图对本发明专利做进一步描述：

实施例：

如附图1至附图6所示

本发明专利提供一种工厂自动化设备的控制系统及其方法，包括柜座1，控制柜2，吸附磁铁块3，夹持磁铁块4，工作箱5，分隔观察板结构6，照明防尘罩结构7，喷洒除尘装置8，计算机9，plc10，电源开关11和指示灯12，所述的控制柜2螺栓连接在柜座1的上端位置；所述的吸附磁铁块3镶嵌在柜座1的右侧上端内部位置；所述的夹持磁铁块4镶嵌在工作箱5的左侧下端内部位置；所述的分隔观察板结构6吸附在吸附磁铁块3和夹持磁铁块4之间的位置；所述的照明防尘罩结构7折页连接在工作箱5的上端位置；所述的喷洒除尘装置8螺栓连接在工作箱5的右侧下部位置；所述的计算机9螺栓连接在控制柜2的上端位置；所述的plc10螺钉连接在控制柜2的正表面上部位置；所述的电源开关11螺钉连接在控制柜2的正表面下部左侧位置；所述的指示灯12螺钉连接在控制柜2的正表面下部右侧位置；所述的分隔观察板结构6包括移动底座61，分隔板62，观察孔63，观察片64和移动轮65，所述的分隔板62焊接在移动底座61的上端中间位置；所述的观察孔63开设在分隔板62的内部中间位置；所述的观察片64镶嵌在观察孔63的内部中间位置；所述的移动轮65螺栓连接在移动底座61的下端中间位置。

上述实施例中，具体的，所述的plc10具体采用型号为fx2n-48的plc；所述的观察片64采用厚度为三毫米至五毫米的透明玻璃片。

上述实施例中，具体的，所述的照明防尘罩结构7包括塑料罩71，移动照明杆结构72，固定座73，插接轴74，支撑杆75和固定磁铁块76，所述的移动照明杆结构72安装在塑料罩71的正表面右侧位置；所述的固定座73分别螺栓连接在塑料罩71的正表面上部左右两侧；所述的支撑杆75通过插接轴74连接在固定座73的内部中间位置；所述的固定磁铁块76焊接在支撑杆75的下端位置。

上述实施例中，具体的，所述的塑料罩71的右侧上部开设有插接槽711；所述的塑料罩71的正表面中间位置开设有滑槽712。

上述实施例中，具体的，所述的移动照明杆结构72包括滑动座721，旋转轴722，旋转照明杆723，插接座724和灯珠725，所述的旋转照明杆723通过旋转轴722连接在滑动座721的内部中间位置；所述的插接座724焊接在旋转照明杆723的下端位置；所述的灯珠725插接在插接座724的下端位置。

上述实施例中，具体的，所述的滑动座721滑动卡接在滑槽712的内部；所述的旋转照明杆723，插接座724和灯珠725插接在插接槽711内部。

上述实施例中，具体的，所述的喷洒除尘装置8包括水箱81，放置桶82，注水管83，喇叭管84和水泵85，所述的放置桶82螺栓连接在水箱81的上端位置；所述的注水管83焊接在水箱81的上端右侧位置；所述的喇叭管84焊接在注水管83的上端位置；所述的水泵85螺栓连接在水箱81的上端左侧位置。

上述实施例中，具体的，所述的水泵85包括进水管851，出水管852，冲洗软管853和喷头854，所述的进水管851螺栓连接在水泵85的下端左侧位置；所述的出水管852螺纹连接在水泵85的上端左侧位置；所述的冲洗软管853的一端抱箍连接在出水管852的上部外壁位置；所述的冲洗软管853的另一端抱箍连接在喷头854的上部外壁位置。

上述实施例中，具体的，所述的灯珠725采用led灯珠；所述的灯珠725设置有多个。

上述实施例中，具体的，所述的冲洗软管853采用橡胶软管；所述的水泵85具体采用电压为220v的增压泵。

上述实施例中，具体的，所述的计算机9电性连接plc10的输入端。

上述实施例中，具体的，所述的电源开关11电性连接plc10的输入端。

上述实施例中，具体的，所述的指示灯12电性连接plc10的输出端。

上述实施例中，具体的，所述的灯珠725电性连接plc10的输出端。

上述实施例中，具体的，所述的水泵85电性连接plc10的输出端。

工作原理

本发明专利中，工作时，打开电源开关11，接通电源，操作计算机9通过plc10控制工作箱5内部的设备开始工作，把移动底座61移动至柜座1和工作箱5的中间位置，通过吸附磁铁块3和夹持磁铁块4固定好移动底座61，工作时，可以通过观察孔63和观察片64观察工作进度，必要时，抬动塑料罩71，使支撑杆75旋转移动固定磁铁块76至工作箱5上端开设的凹槽前面位置，进行设备维修保养，光线黑暗时，通过plc10控制灯珠725进行照明工作，进行清洗时，通过plc10控制水泵85开始工作，把水箱81内部的水通过进水管851和出水管852注入冲洗软管853内部，抓住喷头854，对准工作箱5和塑料罩71进行冲洗从而完成工作。

利用本发明专利所述的技术方案，或本领域的技术人员在本发明专利技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明专利的保护范围。