技术特征:
技术总结
本发明提供一种不依赖于焊料的涂敷量的控制而使凸块高度对齐的半导体芯片。半导体芯片具备:半导体基板,具有主面;第一电极,形成在半导体基板的主面上;第二电极,形成在半导体基板的主面上;第一绝缘层,形成在第一电极的一部分上;第一凸块,形成在第一电极的另一部分以及第一绝缘层上,并且与第一电极电连接;以及第二凸块,形成在第二电极上,并且在半导体基板的主面的俯视下具有比第一凸块的面积大的面积,通过第一绝缘层对半导体基板的主面的法线方向上的从半导体基板的主面到第一凸块的上表面的距离进行调整。
技术研发人员:柴田雅博;德田大辅;黑川敦;德矢浩章;梅本康成
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2018.06.27
技术公布日:2019.01.04