技术特征:
技术总结
本发明公开了一种有机半导体薄膜晶体管的制备方法,该方法的有源层和绝缘层是通过化学旋凃工艺一步完成。分别将有机半导体材料和绝缘聚合物同时溶解到同一溶剂中,形成前驱体溶液,然后直接将前驱体溶液旋凃在薄膜晶体管的栅电极层之上,由于不同组分间的化学不相容性,薄膜沿垂直方向发生相分离,导致绝缘聚合物形成在旋涂薄膜底层并与栅电极接触,而有机半导体位于绝缘聚合物上面,从而一步获得有机薄膜晶体管的有源层和绝缘层。该工艺可以同时制备有源层和绝缘层,能够简化制备工艺,降低界面态缺陷,提高薄膜晶体管的电学性能。本发明制备方法简单、生产成本低,因此在大面积、低成本有机薄膜晶体管的制备中具有很重大的应用价值。
技术研发人员:张新安;杨光;张朋林;郑海务;张伟风
受保护的技术使用者:河南大学
技术研发日:2018.07.07
技术公布日:2018.12.14