显示面板及其制造方法、显示装置与流程

文档序号:16238979发布日期:2018-12-11 22:53阅读:174来源:国知局
显示面板及其制造方法、显示装置与流程

本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示面板及其制造方法、显示装置。

背景技术

随着显示技术的发展,显示装置的使用越来越广泛。常用的显示装置有智能手机、平板电脑、电视机和显示器等。

显示装置包括显示面板和驱动电路,驱动电路与显示面板连接,显示面板可以根据驱动电路输入的驱动信号进行图像显示。目前,可以将显示面板的驱动电路与磁场测量仪连接,磁场测量仪可以测量磁场测量仪所在环境的磁场,得到磁场信号,并将磁场信号传输至驱动电路,以由驱动电路向显示面板输入磁场信号,显示面板根据磁场信号显示测量得到的磁场。示例地,在医学领域中,磁场测量仪可以测量人体的生物磁场得到生物磁场信号,并将测量得到的生物磁场信号传输至驱动电路,以由驱动电路向显示面板输入生物磁场信号,显示面板根据生物磁场信号显示生物磁场。

但是,上述显示面板在显示磁场时,需要显示面板与磁场测量仪连接,导致磁场的显示过程复杂。



技术实现要素:

本发明提供一种显示面板及其制造方法、显示装置,可以解决磁场的显示过程复杂的问题。本发明的技术方案如下:

第一方面,提供一种显示面板,所述显示面板包括:

层叠设置的感应组件和显示组件,所述显示组件包括多个显示单元,所述感应组件包括多个感应单元,所述多个感应单元与所述多个显示单元一一对应连接;

所述多个感应单元中的每个感应单元用于:感应所述每个感应单元周围的外界磁场,对感应到的外界磁场和所述每个感应单元的初始磁场进行叠加得到叠加磁场,根据所述叠加磁场和输入至所述每个感应单元的参考电流得到叠加感应电压,并将所述叠加感应电压输入至相应的显示单元;

所述多个显示单元中的每个显示单元用于:根据相应的感应单元输入的叠加感应电压发光,使所述显示组件进行图像显示,每个显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对所述相应的感应单元的初始磁场的影响引起的所述相应的感应单元的初始磁场的变化。

可选地,所述多个感应单元中的每个感应单元还用于:根据所述每个感应单元的初始磁场和输入至所述每个感应单元的参考电流得到初始感应电压,并将所述初始感应电压输入至相应的显示单元;

所述多个显示单元中的每个显示单元还用于:根据相应的感应单元输入的初始感应电压发光,使所述显示组件进行图像显示,每个显示单元的发光亮度用于表征相应的感应单元的初始磁场的大小。

可选地,所述多个感应单元中的每个感应单元包括:依次设置在衬底基板上的磁体、磁绝缘层、栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,所述源漏极层包括源极、漏极和感应电极,所述源极和所述漏极用于承载参考电流;

所述多个显示单元中的每个显示单元包括:依次设置在相应的感应单元上的栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,所述源漏极层包括源极和漏极;

所述多个显示单元中的每个显示单元的栅极与相应的感应单元的感应电极连接。

可选地,所述显示面板还包括:设置在所述感应组件与所述显示组件之间的降噪层,所述降噪层上设置有与所述多个感应单元中的每个感应单元对应的第一通孔,所述多个显示单元中的每个显示单元的栅极通过相应的第一通孔与相应的感应单元的感应电极连接。

可选地,所述显示面板还包括:设置在所述感应组件与所述降噪层之间的中间绝缘层,所述中间绝缘层上设置有与所述多个感应单元中的每个感应单元对应的第二通孔,每个感应单元对应的第一通孔和第二通孔连通,所述多个显示单元中的每个显示单元的栅极依次通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元的感应电极连接。

可选地,所述每个感应单元周围的外界磁场为生物体上与所述每个感应单元接触部位的生物磁场。

第二方面,提供一种显示面板的制造方法,所述方法包括:

形成层叠设置的感应组件和显示组件,所述显示组件包括多个显示单元,所述感应组件包括多个感应单元,所述多个感应单元与所述多个显示单元一一对应连接;

其中,所述多个感应单元中的每个感应单元用于:感应所述每个感应单元周围的外界磁场,对感应到的外界磁场和所述每个感应单元的初始磁场进行叠加得到叠加磁场,根据所述叠加磁场和输入至所述每个感应单元的参考电流得到叠加感应电压,并将所述叠加感应电压输入至相应的显示单元;

所述多个显示单元中的每个显示单元用于:根据相应的感应单元输入的叠加感应电压发光,使所述显示组件进行图像显示,每个显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对所述相应的感应单元的初始磁场的影响引起的所述相应的感应单元的初始磁场的变化。

可选地,形成层叠设置的感应组件和显示组件,所述显示组件包括多个显示单元,所述感应组件包括多个感应单元,所述多个感应单元与所述多个显示单元一一对应连接,包括:

在衬底基板上形成多个感应单元,所述多个感应单元中的每个感应单元包括依次设置的磁体、磁绝缘层、栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,所述源漏极层包括源极、漏极和感应电极,所述源极和所述漏极用于承载参考电流;

在形成有所述多个感应单元的衬底基板上形成多个显示单元,所述多个显示单元中的每个显示单元包括依次设置在相应的感应单元上的栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,所述源漏极层包括源极和漏极,所述多个显示单元中的每个显示单元的栅极与相应的感应单元的感应电极连接。

可选地,在形成有所述多个感应单元的衬底基板上形成多个显示单元之前,所述方法还包括:

在形成有所述多个感应单元的衬底基板上形成中间绝缘层;

在形成有所述中间绝缘层的衬底基板上形成降噪层;

通过一次构图工艺对所述降噪层和所述中间绝缘层进行处理,使所述降噪层上形成与所述多个感应单元中的每个感应单元对应的第一通孔,所述中间绝缘层上形成与所述多个感应单元中的每个感应单元对应的第二通孔,且每个感应单元对应的第一通孔和第二通孔连通;

在形成有所述多个感应单元的衬底基板上形成多个显示单元,包括:

在形成有所述降噪层的衬底基板上形成多个显示单元,所述多个显示单元中的每个显示单元的栅极通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元的感应电极连接。

第三方面,提供一种显示装置,所述显示装置包括第一方面或第一方面的任一可选方式所述的显示面板。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是:

本发明提供的显示面板及其制造方法、显示装置,显示面板的每个感应单元能够感应自身周围的外界磁场,对感应到的外界磁场和自身的初始磁场进行叠加得到叠加磁场,根据叠加磁场和输入至自身的参考电流得到叠加感应电压,并将叠加感应电压输入至相应的显示单元,显示单元能够根据相应的感应单元输入的叠加感应电压发光,使显示组件进行图像显示,每个显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对该相应的感应单元的初始磁场的影响引起的该初始磁场的变化,也即是,显示面板可以间接的显示外界磁场,由于感应组件设置在显示面板中,因此无需将显示面板与磁场测量仪连接,有助于解决相关技术中磁场的显示过程复杂的问题,简化磁场显示过程。

应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的,并不能限制本发明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的方案所涉及的原理图;

图2是本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图;

图3是本发明实施例提供的另一种显示面板的结构示意图;

图4是本发明实施例提供的一种感应组件的俯视图;

图5是本发明实施例提供的一种感应组件的剖面图;

图6是本发明实施例提供的一种磁场与感应电压的关系图;

图7是本发明实施例提供的一种tft的栅电压与漏电流的关系图;

图8是本发明实施例提供的一种显示面板的制造方法的方法流程图;

图9是本发明实施例提供的一种在衬底基板上形成多个感应单元后的示意图;

图10是本发明实施例提供的一种在形成多个感应单元的衬底基板上形成中间绝缘层后的示意图;

图11是本发明实施例提供的一种在形成中间绝缘层的衬底基板上形成降噪层后的示意图;

图12是本发明实施例提供的一种在降噪层和中间绝缘层上形成通孔后的示意图;

图13是本发明实施例提供的一种在形成降噪层的衬底基板上形成栅极后的示意图。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。

生物磁场是一种存在于生物体中的磁场。目前,研究最多的生物磁场为人体磁场,人体磁场主要由人体组织的电流产生,例如,由心脏电流产生的心磁场,由脑电流产生的脑磁场等。此外,人体磁场还可以来源于人体组织中强磁物质,例如,石棉工人和钢铁工人吸入肺部的强磁物质的剩磁产生的肺磁场等。人体磁场低于地磁场和环境磁场(环境磁场包括空间的电磁辐射产生的磁场和家用电器产生的磁场),人体磁场的磁感强度约为10-5t(特斯拉),环境磁场的磁感强度约为5×10-7t,因此,相比于环境磁场,人体磁场极其微弱,需要采用极高灵敏度的检测仪器来测量,且测量过程需要消除地磁场和环境磁场的干扰。

相关技术中,由磁场测量仪测量磁场得到磁场信号之后,将磁场信号传输至显示装置,以由显示装置进行显示。该方法需要将磁场测量仪与显示装置连接,因此磁场显示过程复杂。本发明实施例提供的显示面板可以对外界磁场进行感应并间接显示,可以简化磁场显示过程。本发明提供的显示面板的详细描述请参考下述实施例。

在对本发明实施例提供的方案进行详细描述之前,先对本发明所涉及的原理进行简单介绍。

图1是本发明实施例提供的方案所涉及的原理图,参见图1,对于一形状为长方体的半导体试样,在该半导体试样的水平方向上施加电流i,竖直方向上施加磁场b,半导体试样中运动的带电粒子(包括电子和空穴)在磁场b中受洛仑兹力而偏转,且电子和空穴向相反方向偏转,电子和空穴偏转之后,最终聚集在半导体试样垂直于电流i和磁场b的两个侧面上,且电子和空穴聚集在不同的面上形成附加的横向电场,使带电粒子(电子或空穴)受到横向的电场力,该电场力阻止带电粒子继续偏转,当带电粒子所受的横向电场力与其受到的洛仑兹力相等时,半导体试样两侧的电荷累积达到平衡,产生一个固定的电压u,该电压u可以采用下述公式计算:

u=s×i×b;

其中,s为施加电流i的器件的电流相关灵敏度,s由器件的结构因子g、有效量子深度t、多数载流子霍尔细数rh和载流子浓度q决定。

请参考图2,其示出了本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图,参见图2,该显示面板包括:层叠设置的感应组件10和显示组件20,显示组件20包括多个显示单元200,感应组件10包括多个感应单元100,多个感应单元100与多个显示单元200一一对应连接。

多个感应单元100中的每个感应单元100用于:感应每个感应单元100周围的外界磁场,对感应到的外界磁场和每个感应单元100的初始磁场进行叠加得到叠加磁场,根据叠加磁场和输入至每个感应单元100的参考电流得到叠加感应电压,并将叠加感应电压输入至相应的显示单元200;

多个显示单元200中的每个显示单元200用于:根据相应的感应单元100输入的叠加感应电压发光,使显示组件20进行图像显示,每个显示单元200的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元100周围的外界磁场对该相应的感应单元100的初始磁场的影响引起的该相应的感应单元100的初始磁场的变化。示例地,感应单元a1与显示单元a2对应,显示单元a2的发光亮度的变化用于表征感应单元a1周围的外界磁场对感应单元a1的初始磁场的影响引起的感应单元a1的初始磁场的变化。

综上所述,本发明实施例提供的显示面板,由于显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对该相应的感应单元的初始磁场的影响引起的该相应的感应单元的初始磁场的变化,因此显示组件可以间接显示外界磁场,并且由于感应组件设置在显示面板中,因此显示面板可以感应并间接显示外界磁场,有助于解决磁场的显示过程复杂的问题,简化磁场显示过程。

可选地,在本发明实施例中,外界磁场可以为生物磁场,且具体可以为人体的生物磁场,每个感应单元100周围的外界磁场可以为生物体上与每个感应单元100接触部位的生物磁场。例如,感应单元100周围的外界磁场可以为人体上的手臂或心脏部位的磁场,本发明实施例对此不作限定。

可选地,多个感应单元100中的每个感应单元100还用于:根据每个感应单元100的初始磁场和输入至每个感应单元100的参考电流得到初始感应电压,并将初始感应电压输入至相应的显示单元200;多个显示单元200中的每个显示单元200用于:根据相应的感应单元100输入的初始感应电压发光,使显示组件20进行图像显示,每个显示单元200的发光亮度用于表征相应的感应单元100的初始磁场的大小。示例地,感应单元a1与显示单元a2对应,显示单元a2的发光亮度用于表征感应单元a1的初始磁场的大小。

进一步地,请参考图3,其示出了本发明实施例提供的另一种显示面板的结构示意图,该图3以显示组件20包括一个显示单元200,感应组件10包括一个感应单元100,且以该感应单元100与该显示单元200对应为例进行说明。结合图2和图3,多个感应单元100中的每个感应单元100包括:依次设置在衬底基板00上的磁体101、磁绝缘层102、栅极(英文:gate)103、栅绝缘层(英文:gateinsulator;简称:)104、有源层(英文:active)105和源漏极层106,源漏极层106包括源极1061、漏极(图3中未示出)和感应电极1062,每个感应单元100的栅极103、源极1061和漏极构成一个薄膜晶体管(英文:thinfilmtransistor;简称:tft),tft的源极1061和漏极用于承载参考电流;多个显示单元200中的每个显示单元200包括:依次设置在与该显示单元200对应的感应单元100上的栅极201、栅绝缘层202、有源层203和源漏极层204,源漏极层204包括源极2041和漏极2042,每个显示单元200的栅极201、源极2041和漏极2042构成一个tft;多个显示单元200中的每个显示单元200的栅极201与相应的感应单元100的感应电极1062连接。需要说明的是,本发明实施例是以感应单元100的源极1061、漏极和感应电极1062位于同一层为例进行说明的,实际应用中,感应单元100的源极1061、漏极可以位于同一层中,感应电极1062与源极1061可以位于不同层中,本发明实施例对此不作限定。

如图3所示,显示组件20还包括设置在源漏极层204上的钝化层(英文:passivation;简称:pvx)205以及设置在钝化层205上的其他膜层结构206,根据显示组件20的不同,该其他膜层结构206不同,例如,在液晶显示器(英文:liquidcrystaldisplay;简称:lcd)显示组件中,该其他膜层结构206可以包括像素电极、液晶和彩膜基板等,彩膜基板包括衬底基板以及设置在衬底基板上的公共电极、色阻层和黑矩阵等结构;在有机发光二极管(英文:organiclight-emittingdiode;简称:oled)显示组件中,该其他膜层结构206可以包括阳极、有机发光层和阴极等结构,本发明实施例在此不再赘述。

进一步地,请继续参考图3,该显示面板还包括:设置在感应组件10与显示组件20之间的降噪层30,降噪层30上设置有与多个感应单元100中的每个感应单元100对应的第一通孔,多个显示单元200中的每个显示单元200的栅极201通过相应的第一通孔与相应的感应单元100的感应电极1062连接。如图3所示,每个感应单元100包括两个感应电极1062,降噪层30上设置有与每个感应单元100对应的两个第一通孔,每个显示单元200的栅极201的两端通过相应的两个第一通孔与相应的感应单元100的两个感应电极1062连接。在本发明实施例中,降噪层30可以为采用有机树脂材料形成的有机层,且该降噪层30的厚度的取值范围可以为1.5微米~2微米。降噪层30的设置可以将感应组件10与显示组件20隔离,使感应组件10与显示组件20具有较大的距离,防止感应组件10的信号与显示组件20的信号相互干扰;此外,降噪层30的设置还可以使感应组件10的表面平坦化,为显示组件20提供平坦的表面。

进一步地,请继续参考图3,该显示面板还包括:设置在感应组件10与降噪层30之间的中间绝缘层40,中间绝缘层40上设置有与多个感应单元100中的每个感应单元100对应的第二通孔,每个感应单元100对应的第一通孔和第二通孔连通,多个显示单元200中的每个显示单元200的栅极201依次通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元100的感应电极1062连接。如图3所示,中间绝缘层40上设置有与每个感应单元100对应的两个第二通孔,每个感应单元100对应的两个第一通孔和两个第二通孔一一对应连通,每个显示单元200的栅极201的两端依次通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元100的两个感应电极1062连接。在本发明实施例中,中间绝缘层40可以采用氮化硅(sin)、氧化硅(sio)或者二者的混合材料形成,中间绝缘层40可以使感应单元100的源极1061和漏极与显示单元200的栅极201彼此绝缘,避免信号相互影响。

图4是本发明实施例提供的一种感应组件10的俯视图,图5是图4所示的感应组件10的e-e部位的剖面图,结合图4和图5,感应组件10还包括:与栅极103连接的栅线103a,感应组件10的多个感应单元100(图4和图5中仅示出一个)阵列排布在衬底基板00上,且多个感应单元100在衬底基板00上形成多行,感应组件10包括多条栅线103a,每条栅线103a与一行感应单元100的栅极103连接。每个感应单元100的tft的源极1061可以与参考电极线(图4和图5中未示出)连接,可以通过参考电极线向该tft的源极1061施加参考电流,当该tft的栅极103控制该tft开启时,该tft的源极1061上的参考电流传输至该tft的漏极1063,以将参考电流输入至感应单元100。需要说明的是,由于感应单元100的tft的源极1061和漏极1063用于承载参考电流,在一些场景中,感应单元100的tft的源极1061和漏极1063还可以称为参考电极,本发明实施例对此不作限定。

下面结合图2至图5对本发明实施例提供的显示面板的实现原理进行说明。

磁体101的存在使得磁体101周围存在垂直于衬底基板00的板面的初始磁场,当感应单元100与生物体不接触或感应单元100周围不存在环境磁场时,感应单元100感应到的磁场为自身产生的初始磁场,当通过感应单元100的tft的源极1061和漏极1063向感应单元100输入平行于衬底基板00的板面的参考电流时,在初始磁场和该参考电流的作用下,感应单元100产生垂直于初始磁场和参考电流的感应电场,最终在两个感应电极1062之间形成初始感应电压;该初始感应电压作为显示单元200的开关信号施加在显示单元200的tft的栅极201的两端,当该初始感应电压控制显示单元200的tft开启时,该tft的源极2041上的数据信号通过有源层203流向该tft的漏极2042,在显示组件20的其他膜层结构的作用下,最终使显示单元200发光。

磁体101的存在使得磁体101周围存在垂直于衬底基板00的板面的初始磁场,当感应单元100与生物体接触或感应单元100周围存在环境磁场时,感应单元100感应到的磁场为外界磁场(生物磁场或环境磁场)与自身产生的初始磁场的叠加磁场,当通过感应单元100的tft的源极1061和漏极1063向感应单元100输入平行于衬底基板00的板面的参考电流时,在叠加磁场和该参考电流的作用下,感应单元100产生垂直于叠加磁场和参考电流的感应电场,最终在两个感应电极1062之间形成叠加感应电压;该叠加感应电压作为显示单元200的开关信号施加在显示单元200的tft的栅极201的两端,当该叠加感应电压控制显示单元200的tft开启时,该tft的源极2041上的数据信号通过有源层203流向该tft的漏极2042,在显示组件20的其他膜层结构的作用下,最终使显示单元200发光。

根据以上描述不难看出,本发明实施例中,将感应单元100产生的感应电压(包括初始感应电压或叠加感应电压)作为相应的显示单元200的栅电压,因此,显示单元200的栅极201不需要再与其他电路连接,显示单元200原有的阵列基板行驱动(英文:gatedriveronarray;简称:goa)信号可以完全由相应的感应单元100提供。此外,磁体101的强度是决定初始感应电压的重要因素,可以通过控制磁体的强度,来对初始感应电压进行控制。

图6是本发明实施例提供的一种磁场与感应电压的关系图,该图6以外界磁场为生物磁场为例进行说明,结合图2至图6,当感应单元100感应到的磁场(叠加磁场或初始磁场)在0.00125~0.01375(单位为特斯拉)的范围变化时,感应单元100的两个感应电极1062之间的形成的感应电压在0.0259~2.25(单位为伏特),目前所采用的半导体材料形成的感应单元的感应电压集中在-2~+2(单位为伏特)之间,本发明实施例提供的感应单元100形成的感应电压在0.0259~2.25之间,大于目前的感应电压范围,因此,本发明实施例的感应单元100感应出的电压能够更好的满足于显示单元200的tft的开关性能,使得相应的显示单元200的亮度具有具有明显的变化,从而明显的体现出外界磁场的变化。

图7是本发明实施例提供的一种显示单元200的tft的栅电压(也即是栅极的电压)与漏电流(也即是漏极的电流)的关系图,在本发明实施例中,显示单元200的tft的栅电压也即是与该显示单元200对应的感应单元100产生的感应电压,在实际生产中,可以控制显示单元200的tft的栅电压(也即是相应的感应单元100产生的感应电压)u集中在图7所示的线性区,以便于在显示单元200的tft开启时,该tft的漏电流能够根据栅电压的变化而变化,从而显示单元200的发光亮度会根据该显示单元200的tft的栅电压的变化而变化,也即是,显示单元200的发光亮度会根据该显示单元200对应的感应单元100的感应电压发生变化,从而可以根据显示组件20显示的图像亮度的变化,确定外界磁场的变化,换句话来说也即是,显示组件20可以间接显示外界磁场。

在本发明实施例中,衬底基板00可以为透明基板,其具体可以是采用玻璃、石英、透明树脂等具有一定坚固性的导光且非金属材料制成的硬质基板,或者,衬底基板00可以为采用聚酰亚胺(英文:polyimide;简称:pi)等柔性材料形成的柔性基板。当衬底基板00为柔性基板时,显示面板可以为柔性显示面板,包括该显示面板的显示装置可以为柔性显示装置,可以直接将柔性显示装置佩戴在手臂或者心脏部位,对人体的生物磁场进行实时监测。此外,可以将显示面板的感应组件10长时间贴附在人体的特定位置,此时显示面板可以实时监控该特定位置的生物磁场。本发明实施例中,由于每个显示单元200均对应一个感应单元100,因此,该显示面板具有较高的监测灵敏度,且信号加载较为广泛。可选地,本发明实施例可以通过增强感应单元100的初始磁场、扩大电路和改变膜层材料等方式来扩大外界磁场引起的感应电压的变化,增强显示面板的感应精度及显示精度。

本发明实施例提供的显示面板中的感应组件10能够感应生物磁场,其本质相当于生物传感器,本发明实施例将感应组件10设置在显示面板中,并设置降噪层30将感应组件10与显示组件20隔离开,避免电路相互影响,该显示面板可以通过显示组件20显示生物磁场的变化,实时监控生物磁场的变化,将生物磁场实时可视化,有利于健康监测及防护。生物体中的生物磁场在不同的生理状态和病理状态下会不同,本发明可以将生物磁场实时可视化,便于利用生物磁场的变化来进行生理和病理方面的研究以及一些疾病的诊断。

综上所述,本发明实施例提供的显示面板,由于显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对该相应的感应单元的初始磁场的影响引起的该相应的感应单元的初始磁场的变化,因此显示组件可以间接显示外界磁场,并且由于感应组件设置在显示面板中,因此显示面板可以感应并间接显示外界磁场,有助于解决磁场的显示过程复杂的问题,简化磁场显示过程。

本发明实施例提供的显示面板可以应用于下文的方法,本发明实施例中显示面板的制造方法和制造原理可以参见下文各实施例中的描述。

本发明实施例提供了一种显示面板的制造方法的方法流程图,该显示面板的制造方法可以用于制造图2或图3所示的显示面板,该方法包括:

形成层叠设置的感应组件和显示组件,显示组件包括多个显示单元,感应组件包括多个感应单元,多个感应单元与多个显示单元一一对应连接;

其中,多个感应单元中的每个感应单元用于:感应该每个感应单元周围的外界磁场,对感应到的外界磁场和该每个感应单元的初始磁场进行叠加得到叠加磁场,根据叠加磁场和输入至该每个感应单元的参考电流得到叠加感应电压,并将叠加感应电压输入至相应的显示单元;

多个显示单元中的每个显示单元用于:根据相应的感应单元输入的叠加感应电压发光,使显示组件进行图像显示,每个显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对该相应的感应单元的初始磁场的影响引起的该相应的感应单元的初始磁场的变化。

可选地,形成层叠设置的感应组件和显示组件,显示组件包括多个显示单元,感应组件包括多个感应单元,多个感应单元与多个显示单元一一对应连接,包括:

在衬底基板上形成多个感应单元,多个感应单元中的每个感应单元包括依次设置的磁体、磁绝缘层、栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,源漏极层包括源极、漏极和感应电极,源极和漏极用于承载参考电流;

在形成有多个感应单元的衬底基板上形成多个显示单元,多个显示单元中的每个显示单元包括依次设置在相应的感应单元上的栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,源漏极层包括源极和漏极,多个显示单元中的每个显示单元的栅极与相应的感应单元的感应电极连接。

可选地,在形成有多个感应单元的衬底基板上形成多个显示单元之前,该方法还包括:

在形成有多个感应单元的衬底基板上形成中间绝缘层;

在形成有中间绝缘层的衬底基板上形成降噪层;

通过一次构图工艺对降噪层和中间绝缘层进行处理,使降噪层上形成与多个感应单元中的每个感应单元对应的第一通孔,中间绝缘层上形成与多个感应单元中的每个感应单元对应的第二通孔,且每个感应单元对应的第一通孔和第二通孔连通;

在形成有多个感应单元的衬底基板上形成多个显示单元,包括:

在形成有降噪层的衬底基板上形成多个显示单元,多个显示单元中的每个显示单元的栅极通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元的感应电极连接。

综上所述,本发明实施例提供的显示面板的制造方法,由于显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对该相应的感应单元的初始磁场的影响引起的该相应的感应单元的初始磁场的变化,因此显示组件可以间接显示外界磁场,并且由于感应组件设置在显示面板中,因此该显示面板的制造方法制造的显示面板可以感应并间接显示外界磁场,有助于解决磁场的显示过程复杂的问题,简化磁场显示过程。

请参考图8,本发明实施例提供了一种显示面板的制造方法的方法流程图,该显示面板的制造方法可以用于制造图2或图3所示的显示面板,本发明实施例以制造图3所示的显示面板为例进行说明。参见图8,该方法包括:

步骤801、在衬底基板上形成多个感应单元,得到感应组件,多个感应单元中的每个感应单元包括依次设置的磁体、磁绝缘层、栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,源漏极层包括源极、漏极和感应电极,源极和漏极用于承载参考电流。

请参考图9,其示出了本发明实施例提供的一种在衬底基板00上形成多个感应单元100后的示意图,该图9以一个感应单元100为例进行说明。参见图9,在衬底基板00上形成多个感应单元100后得到感应组件10,每个感应单元100包括依次设置的磁体101、磁绝缘层102、栅极103、栅绝缘层104、有源层105和源漏极层106,本发明实施例中,在衬底基板00上形成多个感应单元100可以包括:在衬底基板00上依次形成磁体101、磁绝缘层102、栅极103、栅绝缘层104、有源层105和源漏极层106。其中,衬底基板00可以为透明基板,其具体可以是采用玻璃、石英或透明树脂等具有一定坚固性的导光且非金属材料制成的硬质基板;或者,衬底基板00可以为采用pi形成的柔性基板。

本发明实施例中,在衬底基板00上依次形成磁体101、磁绝缘层102、栅极103、栅绝缘层104、有源层105和源漏极层106可以包括以下六个步骤:

步骤一、在衬底基板00上形成磁体101。可选地,可以采用磁性物质在衬底基板00上形成磁体101,或者,采用透明光学胶将成品的磁体101粘贴在衬底基板00上,本发明实施例对此不作限定。

步骤二、在形成有磁体101的衬底基板00上形成磁绝缘层102。其中,磁绝缘层102可以采用sin、sio或者二者的混合材料形成。可选地,可以采用磁控溅射、热蒸发或者等离子体增强化学气相沉积法(plasmaenhancedchemicalvapordeposition;简称:pecvd)等方法在形成有磁体101的衬底基板00上沉积一层具有一定厚度的sio材料,得到sio材质层,对sio材质层进行烘烤处理得到磁绝缘层102。实际应用中,当磁绝缘层102包括图形时,还可以通过一次构图工艺对sio材质层进行处理后形成磁绝缘层102,本发明实施例对此不作限定。

步骤三、在形成有磁绝缘层102衬底基板00上形成栅极103。其中,栅极103可以采用金属mo(中文:钼)、金属cu(中文:铜)、金属al(中文:铝)及其合金材料形成。可选地,可以采用磁控溅射、热蒸发或者pecvd等方法在形成有磁绝缘层102衬底基板00上沉积一层具有一定厚度的金属mo,得到金属mo材质层,然后通过一次构图工艺对金属mo材质层进行处理得到栅极103。其中,一次构图工艺包括:光刻胶(英文:photoresist;简称:pr)涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离,因此,通过一次构图工艺对金属mo材质层进行处理得到栅极103可以包括:在金属mo材质层上涂覆一层具有一定厚度的光刻胶形成光刻胶层,采用掩膜版对光刻胶层进行曝光,使得光刻胶层形成完全曝光区和非曝光区,之后采用显影工艺处理,使完全曝光区的光刻胶被完全去除,非曝光区的光刻胶全部保留,采用刻蚀工艺对金属mo材质层上完全曝光区对应的区域进行刻蚀,之后剥离非曝光区的光刻胶,金属mo材质层上非曝光区对应的区域形成栅极103。需要说明的是,本发明实施例是以采用正性光刻胶形成栅极103为例进行说明的,实际应用中,还可以采用负性光刻胶形成栅极103本发明实施例对此不作限定。此外,根据图4可知,栅线103a与栅极103连接,且栅线103a与栅极103位于同一层中,因此在形成栅极103的同时,还可以形成与栅极103连接的栅线103a,本发明实施例对此不作限定。

步骤四、在形成有栅极103的衬底基板00上形成栅绝缘层104。形成栅绝缘层104的过程与形成磁绝缘层102的过程相同或类似,本发明实施例在此不再赘述。

步骤五、在形成有栅绝缘层104的衬底基板00上形成有源层105。其中,有源层105可以采用低温多晶硅(英文:lowtemperaturepolycrystallinesilicon;简称:ltps)或铟镓锌氧化物(英文:indiumgalliumzincoxide;简称:igzo)等半导体材料形成。可选地,可以采用磁控溅射、热蒸发或者pecvd等方法在形成有栅绝缘层104的衬底基板00上沉积一层非晶硅,得到非晶硅材质层,然后对非晶硅材质层进行高温退火,使非晶硅转化为多晶硅,得到多晶硅材质层,然后通过一次构图工艺对多晶硅材质层进行处理,得到有源层105。通过一次构图工艺对多晶硅材质层进行处理的过程可以参考上述通过一次构图工艺对金属mo材质层进行处理的过程,本发明实施例在此不再赘述。

步骤六、在形成有有源层105的衬底基板00上形成源漏极层106。结合图4可知,源漏极层106包括源极1061、漏极1063和两个感应电极1062,源极1061和漏极1063的连线与两个感应电极1062的连线垂直。其中,源漏极层106可以采用金属mo、金属cu、金属al及其合金材料形成。可选地,可以采用磁控溅射、热蒸发或者pecvd等方法在形成有有源层105的衬底基板00上沉积一层具有一定厚度的金属mo,得到金属mo材质层,然后通过一次构图工艺对金属mo材质层进行处理得到源漏极层106。通过一次构图工艺对金属mo材质层进行处理的过程可以参考上述步骤三,本实施例在此不再赘述。

参见图9,在衬底基板00上依次形成磁体101、磁绝缘层102、栅极103、栅绝缘层104、有源层105和源漏极层106之后,得到了多个感应单元100,从而得到了感应组件10。

步骤802、在形成有多个感应单元的衬底基板上形成中间绝缘层。

请参考图10,其示出了本发明实施例提供的一种在形成有多个感应单元100的衬底基板00上形成中间绝缘层40后的示意图。其中,中间绝缘层40可以采用sin、sio或者二者的混合材料形成。该中间绝缘层40的形成过程与上述磁绝缘层102的形成过程类似,本实施例在此不再赘述。

步骤803、在形成有中间绝缘层的衬底基板上形成降噪层。

请参考图11,其示出了本发明实施例提供的一种在形成有中间绝缘层40的衬底基板00上形成降噪层30后的示意图。其中,降噪层30可以为采用有机树脂材料形成的有机层,该降噪层30的厚度的取值范围可以为1.5微米~2微米。本发明实施例中,降噪层30的设置一方面可以将感应组件10与后续形成的显示组件20隔离,使感应组件10与显示组件20具有较大的距离,防止感应组件10的信号与显示组件20的信号相互干扰,另一方面可以使感应组件10的表面平坦化,为显示组件20的形成提供平坦的表面。可选地,可以采用磁控溅射、热蒸发或者pecvd等方法在形成有中间绝缘层40的衬底基板00上沉积一层有机树脂材料,形成有机树脂材料,并进行烘烤处理形成降噪层30。

步骤804、通过一次构图工艺对降噪层和中间绝缘层进行处理,使降噪层上形成与多个感应单元中的每个感应单元对应的第一通孔,中间绝缘层上形成与多个感应单元中的每个感应单元对应的第二通孔,且每个感应单元对应的第一通孔和第二通孔连通。

请参考图12,其示出了本发明实施例提供的一种通过一次构图工艺对降噪层30和中间绝缘层40进行处理之后的示意图,参见图12,通过一次构图工艺对降噪层30和中间绝缘层40进行处理之后,降噪层30上形成与多个感应单元100中的每个感应单元100对应的两个第一通孔(图12中未标出),中间绝缘层40上形成与多个感应单元100中的每个感应单元100对应的两个第二通孔(图12中未标出),每个感应单元100对应的第一通孔与第二通孔连通形成通孔k,也即是,对应于同一感应单元100的两个第一通孔与对应于同一感应单元100的两个第二通孔一一对应连通。

可选地,通过一次构图工艺对降噪层30和中间绝缘层40进行处理的过程包括:在降噪层30上涂覆一层具有一定厚度的光刻胶形成光刻胶层,采用掩膜版对光刻胶层进行曝光,使得光刻胶层形成完全曝光区和非曝光区,之后采用显影工艺处理,使完全曝光区的光刻胶被完全去除,非曝光区的光刻胶全部保留,采用刻蚀工艺对降噪层30和中间绝缘层40完全曝光区对应的区域进行刻蚀,以在降噪层30上形成第一通孔,在中间绝缘层40上形成第二通孔,且对应于同一感应单元的第一通孔与第二通孔连通,之后剥离非曝光区的光刻胶。

步骤805、在形成有降噪层的衬底基板上形成多个显示单元,得到显示组件,多个感应单元与多个显示单元一一对应,多个显示单元中的每个显示单元包括依次设置在相应的感应单元上的栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极层,源漏极层包括源极和漏极,多个显示单元中的每个显示单元的栅极通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元的感应电极连接。

请参考图3,其示出了本发明实施例提供的一种在形成有降噪层30的衬底基板00上形成多个显示单元200后的示意图,该图3以一个显示单元200为例进行说明。参见图3,在形成有降噪层30的衬底基板00上形成多个显示单元200后得到显示组件20,显示组件20的多个显示单元200与感应组件10的多个感应单元100一一对应,每个显示单元200包括:依次设置在相应的感应单元100上的栅极201、栅绝缘层202、有源层203和源漏极层204,源漏极层204包括源极2041和漏极2042,多个显示单元200中的每个显示单元20的栅极201通过相应的第一通孔和第二通孔与相应的感应单元100的感应电极1062连接。

本发明实施例中,在形成有降噪层30的衬底基板00上形成多个显示单元200可以包括:在形成有降噪层30的衬底基板00上依次形成栅极201、栅绝缘层202、有源层203和源漏极层204。在形成有降噪层30的衬底基板00上形成多个显示单元200可以包括以下四个步骤:

步骤一、在形成有降噪层30的衬底基板00上形成栅极201。图13是本发明实施例提供的一种在形成有降噪层30的衬底基板00上形成栅极201后的示意图,参见图13,栅极201的两端中的每一端依次通过相应的第一通孔与第二通孔与相应的感应单元100的感应电极1062连接。栅极201的形成过程与步骤801中栅极103的形成过程类似,本发明实施例在此不再赘述。但是需要说明的是,由于显示单元200的tft的开关信号来源于相应的感应单元100的感应电压,因此在形成栅极201的过程中,无需形成与栅极201连接的栅线。

步骤二、在形成有栅极201的衬底基板00上形成栅绝缘层202。

步骤三、在形成有栅绝缘层202的衬底基板00上形成有源层203。

步骤四、在形成有有源层203的衬底基板00上形成源漏极层204,源漏极层204包括源极2041和漏极2042。

需要说明的是,栅绝缘层202的形成过程、有源层203的形成过程以及源漏极层204的形成过程均可以参考上述步骤801,本实施例在此不再赘述。

参见图3,在本发明实施例中,显示组件20还包括形成在源漏极层204上的钝化层205以及形成在钝化层205上的其他膜层结构206,因此,在在形成有有源层203的衬底基板00上形成源漏极层204之后,该方法还包括:

步骤五、在形成有源漏极层204的衬底基板00上形成钝化层205。

其中,钝化层205可以采用sin、sio或者二者的混合材料形成。可选地,可以采用磁控溅射、热蒸发或者pecvd等方法在形成有源漏极层204的衬底基板00上沉积一层具有一定厚度的sio材料,得到sio材质层,之后对sio材质层进行烘烤处理得到钝化层205。实际应用中,当钝化层205包括图形时,还可以通过一次构图工艺对sio材质层进行处理后形成钝化层205,本发明实施例对此不作限定。

步骤六、在形成有钝化层205的衬底基板00上形成其他膜层结构206。

本发明实施例中,根据显示组件20的不同,该其他膜层结构206不同,例如,在lcd显示组件中,该其他膜层结构206可以包括像素电极、液晶和彩膜基板,彩膜基板包括衬底基板以及设置在衬底基板上的公共电极、色阻层和黑矩阵等结构;在oled显示组件中,该其他膜层结构206可以包括阳极、有机发光层和阴极等结构。该其他膜层结构206的形成过程可以参考相关技术,本发明实施例在此不再赘述。

本发明实施例中,在形成有降噪层30的衬底基板00上形成显示组件20后,就得到了显示面板。

综上所述,本发明实施例提供的显示面板的制造方法,由于显示单元的发光亮度的变化用于表征相应的感应单元周围的外界磁场对该相应的感应单元的初始磁场的影响引起的该相应的感应单元的初始磁场的变化,因此显示组件可以间接显示外界磁场,并且由于感应组件设置在显示面板中,因此该显示面板的制造方法制造的显示面板可以感应并间接显示外界磁场,有助于解决磁场的显示过程复杂的问题,简化磁场显示过程。

本发明实施例还提供了一种显示装置,该显示装置包括图2或图3所示的显示面板,该显示装置可以为手表或手环等可穿戴设备,或者,该显示装置可以为电子纸、手机、平板电脑、电视机、笔记本电脑、数码相框或导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成,也可以通过程序来指令相关的硬件完成,所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中,上述提到的存储介质可以是只读存储器,磁盘或光盘等。

以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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