一种制作LED晶圆专用的硅晶棒智能加工设备的制作方法

本发明涉及led封装设备领域，具体的说是一种制作led晶圆专用的硅晶棒智能加工设备。

背景技术

晶圆是制作led的主要材料，晶圆是由硅晶棒经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，硅晶棒在滚磨工序的前后都需要人工对其规格尺寸进行测量检测，从而保证硅晶棒做成的晶圆符合标准，同时需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理，需要人工对硅晶棒进行固定，针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具，操作复杂，人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律，无法保证硅晶棒滚磨的精确性，需要对滚磨后的硅晶棒进行二次检测，影响硅晶棒的使用效果，劳动强度大与工作效率低。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本发明提供了一种制作led晶圆专用的硅晶棒智能加工设备，可以解决现有硅晶棒在滚磨加工过程中在的需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理，需要人工对硅晶棒进行检测，需要人工对硅晶棒进行固定，针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具，人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律，无法保证硅晶棒滚磨的精确性，影响硅晶棒的使用效果，劳动强度大与工作效率低等难题，可以实现了机械化智能加工硅晶棒的功能，无需人工操作，能够保证硅晶棒滚磨的精确性，且具有操作简单、劳动强度小与工作效率高等优点。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案来实现：一种制作led晶圆专用的硅晶棒智能加工设备，包括底板，底板上通过电机座安装有转动电机，转动电机的输出轴上安装有滚磨转动板，滚磨转动板的右端安装有滚磨执行装置，滚磨转动板中部安装有滚磨固定装置，底板的左端安装有滚磨辅助装置，所述滚磨转动板的下端设置有滚磨转动杆，滚磨转动杆的下端通过滑动配合方式与滚磨滑槽相连，滚磨滑槽安装在底板上，通过现有设备将硅晶棒放置到滚磨固定装置上，滚磨固定装置可以对硅晶棒的下端进行固定，滚磨辅助装置对硅晶棒的上端进行抵紧，转动电机工作带动滚磨执行装置转动，滚磨执行装置在转动的过程中对硅晶棒的表面进行滚磨作业，无需人工操作，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

所述滚磨固定装置包括通过轴承安装在滚磨转动板上的固定旋转柱，固定旋转柱为空壳结构，固定旋转柱上沿其周向方向均匀设置有固定调节槽，固定调节槽内设置有固定调节机构，固定旋转柱的内壁上安装有固定推动气缸，固定推动气缸的顶端通过法兰安装在固定驱动架上，固定驱动架与固定调节机构之间相互配合运动。所述固定调节机构包括通过滑动配合方式安装在固定调节槽内的固定进给架，固定进给架的下端安装有固定调节块，固定调节块从内往外为向上倾斜结构，固定调节块与固定旋转柱的内壁之间安装有固定伸缩杆，固定伸缩杆上套设有固定复位弹簧，固定伸缩杆对固定调节块起到了限位的作用，固定进给架的上端安装有固定立板，固定立板上设置有固定作业槽，固定立板的侧壁上安装有固定作业气缸，固定作业气缸的顶端通过法兰安装在固定工作架，固定工作架位于固定工作槽内，固定工作架位于固定工作槽内侧的一端为圆弧状结构，且固定工作架的侧壁上设置有橡胶块，所述固定驱动架呈十字形结构，固定驱动架的顶端处均通过轴承安装有固定驱动辊，且固定驱动辊抵靠在固定调节块上，通过现有设备将硅晶棒放置到固定旋转柱上，固定推动气缸控制固定驱动架进行升降运动，固定驱动架在运动的过程中与固定复位弹簧之间相互配合作业带动固定进给架进行调节运动，固定作业气缸带动固定工作架工作对硅晶棒的下端进行夹持固定作业，确保硅晶棒能够稳定的进行滚磨作业，能够有效的提高工作的效率，降低了工作人员的劳动强度。

所述滚磨执行装置包括安装在滚磨转动板上的滚磨参照架，滚磨参照架的中部设置有滚磨调节槽，滚磨调节槽内设置有滚磨调节机构，滚磨参照架与滚磨转动板之间通过滑动配合方式连接有执行安装架，执行安装架与滚磨参照架的内壁之间连接有执行弹簧，执行安装架的内壁上通过电机座安装有执行驱动电机，执行驱动电机的输出轴上通过联轴器与执行丝杠的下端相连，执行丝杠的上端通过轴承安装在执行安装架上，执行丝杠上设置有执行滑块，执行滑块通过滑动配合方式与执行安装架相连，执行滑块上安装有执行作业架，执行作业架上设置有执行机构，所述滚磨调节机构包括安装在执行滑块上的调节联动杆，调节联动杆位于滚磨调节槽内，调节联动杆上通过销轴连接有调节从动杆，调节从动杆通过轴承安装在调节转动板上，调节转动板安装在调节工作电机的输出轴上，调节工作电机通过电机座安装在滚磨参照架上。所述执行机构包括安装在执行作业架上的两个执行固定架，两个执行固定架对称位于执行作业架的前后两侧，每个执行固定架上均通过轴承安装有一个执行滚磨辊，安装在两个执行滚磨架上的执行滚磨辊之间设置有执行滚磨带，位于执行作业架前端的执行滚磨辊通过联轴器与执行滚磨电机的输出轴相连，执行滚磨电机通过电机座安装在执行固定架上，滚磨参照架在滚磨硅晶棒的过程中起到了参照的作用，执行驱动电机控制执行滑块进行上下移动，执行滑块在移动的过程中带动执行机构对硅晶棒的表面进行滚磨作业，执行滚磨电机控制执行滚磨带对硅晶棒表面进行加工，且在滚磨作业的过程中，根据实际作业情况，调节工作电机通过调节转动板控制调节从动杆进行转动调节，调节从动杆与调节联动杆之间相互配合从而控制执行滚磨带对硅晶棒进行有效的滚磨作业，确保经过滚磨后硅晶棒的误差能够控制在有效的范围内，自动化调节作业，无需人工操作，提高了硅晶棒滚磨的精度，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

所述滚磨辅助装置包括通过电机座安装在底板上辅助支撑架上，辅助支撑架上设置有辅助作业孔，辅助作业孔内通过滑动配合方式安装有辅助抵靠架，辅助抵靠架呈倒t型结构，且辅助抵靠架的下端包裹有橡胶，辅助抵靠架与辅助支撑架之间设置有辅助复位弹簧，辅助抵靠架的上端通过轴承设置有辅助辊，辅助支撑架上通过销轴设置有辅助工作板，辅助工作板抵靠在辅助辊的外壁上，且辅助工作板与辅助支撑架之间通过销轴连接有辅助工作气缸。所述辅助抵靠架的直径小于辅助作业孔的直径，辅助工作气缸控制辅助工作板进行调节作业，辅助工作板与辅助复位弹簧之间相互配合作业带动辅助抵靠架对硅晶棒的上端进行抵紧固定作业，无需人工操作，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

工作时，首先通过现有设备将硅晶棒放置到固定旋转柱上，固定推动气缸控制固定驱动架进行升降运动，固定驱动架在运动的过程中与固定复位弹簧之间相互配合作业带动固定进给架进行调节运动，固定作业气缸带动固定工作架工作对硅晶棒的下端进行夹持固定作业，确保硅晶棒能够稳定的进行滚磨作业，滚磨辅助装置上的辅助工作气缸控制辅助工作板进行调节作业，辅助工作板与辅助复位弹簧之间相互配合作业带动辅助抵靠架对硅晶棒的上端进行抵紧固定作业，滚磨执行装置工作，滚磨参照架在滚磨硅晶棒的过程中起到了参照的作用，执行驱动电机控制执行滑块进行上下移动，执行滑块在移动的过程中带动执行机构对硅晶棒的表面进行滚磨作业，执行滚磨电机控制执行滚磨带对硅晶棒表面进行加工，且在滚磨作业的过程中，根据实际作业情况，调节工作电机通过调节转动板控制调节从动杆进行转动调节，调节从动杆与调节联动杆之间相互配合从而控制执行滚磨带对硅晶棒进行有效的滚磨作业，确保经过滚磨后硅晶棒的误差能够控制在有效的范围内，可以实现机械化智能加工硅晶棒的功能。

本发明的有益效果是：

1、本发明可以解决现有硅晶棒在滚磨加工过程中在的需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理，需要人工对硅晶棒进行检测，需要人工对硅晶棒进行固定，针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具，人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律，无法保证硅晶棒滚磨的精确性，影响硅晶棒的使用效果，劳动强度大与工作效率低等难题，可以实现了机械化智能加工硅晶棒的功能，无需人工操作，能够保证硅晶棒滚磨的精确性，且具有操作简单、劳动强度小与工作效率高等优点。

2、本发明设计了滚磨固定装置与滚磨辅助装置，滚磨固定装置与滚磨辅助装置之间相互配合运动可以针对不同规格的硅晶棒进行固定夹持作业，可以确保硅晶棒在滚磨作业过程中的稳定性，无需人工控制固定夹具，且操作简单。

3、本发明设计了滚磨执行装置，滚磨执行装置上的滚磨参照架在滚磨硅晶棒的过程中起到了参照的作用保证硅晶棒可以一次滚磨成型，确保硅晶棒滚磨的精确度，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明滚磨转动板与滚磨执行装置之间的结构示意图；

图3是本发明滚磨转动板与滚磨固定装置之间的结构示意图；

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。

如图1到图3所示，一种制作led晶圆专用的硅晶棒智能加工设备，包括底板1，底板1上通过电机座安装有转动电机2，转动电机2的输出轴上安装有滚磨转动板3，滚磨转动板3的右端安装有滚磨执行装置4，滚磨转动板3中部安装有滚磨固定装置5，底板1的左端安装有滚磨辅助装置6，所述滚磨转动板3的下端设置有滚磨转动杆31，滚磨转动杆31的下端通过滑动配合方式与滚磨滑槽32相连，滚磨滑槽32安装在底板1上，通过现有设备将硅晶棒放置到滚磨固定装置5上，滚磨固定装置5可以对硅晶棒的下端进行固定，滚磨辅助装置6对硅晶棒的上端进行抵紧，转动电机2工作带动滚磨执行装置4转动，滚磨执行装置4在转动的过程中对硅晶棒的表面进行滚磨作业，无需人工操作，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

所述滚磨固定装置5包括通过轴承安装在滚磨转动板3上的固定旋转柱51，固定旋转柱51为空壳结构，固定旋转柱51上沿其周向方向均匀设置有固定调节槽，固定调节槽内设置有固定调节机构52，固定旋转柱51的内壁上安装有固定推动气缸53，固定推动气缸53的顶端通过法兰安装在固定驱动架54上，固定驱动架54与固定调节机构52之间相互配合运动。所述固定调节机构52包括通过滑动配合方式安装在固定调节槽内的固定进给架521，固定进给架521的下端安装有固定调节块522，固定调节块522从内往外为向上倾斜结构，固定调节块522与固定旋转柱51的内壁之间安装有固定伸缩杆523，固定伸缩杆523上套设有固定复位弹簧524，固定伸缩杆523对固定调节块522起到了限位的作用，固定进给架521的上端安装有固定立板525，固定立板525上设置有固定作业槽，固定立板525的侧壁上安装有固定作业气缸526，固定作业气缸526的顶端通过法兰安装在固定工作架527，固定工作架527位于固定工作槽内，固定工作架527位于固定工作槽内侧的一端为圆弧状结构，且固定工作架527的侧壁上设置有橡胶块，所述固定驱动架54呈十字形结构，固定驱动架54的顶端处均通过轴承安装有固定驱动辊541，且固定驱动辊541抵靠在固定调节块522上，通过现有设备将硅晶棒放置到固定旋转柱51上，固定推动气缸53控制固定驱动架54进行升降运动，固定驱动架54在运动的过程中与固定复位弹簧524之间相互配合作业带动固定进给架521进行调节运动，固定作业气缸526带动固定工作架527工作对硅晶棒的下端进行夹持固定作业，确保硅晶棒能够稳定的进行滚磨作业，能够有效的提高工作的效率，降低了工作人员的劳动强度。

所述滚磨执行装置4包括安装在滚磨转动板3上的滚磨参照架41，滚磨参照架41的中部设置有滚磨调节槽，滚磨调节槽内设置有滚磨调节机构7，滚磨参照架41与滚磨转动板3之间通过滑动配合方式连接有执行安装架42，执行安装架42与滚磨参照架41的内壁之间连接有执行弹簧43，执行安装架42的内壁上通过电机座安装有执行驱动电机44，执行驱动电机44的输出轴上通过联轴器与执行丝杠45的下端相连，执行丝杠45的上端通过轴承安装在执行安装架42上，执行丝杠45上设置有执行滑块46，执行滑块46通过滑动配合方式与执行安装架42相连，执行滑块46上安装有执行作业架47，执行作业架47上设置有执行机构49，所述滚磨调节机构7包括安装在执行滑块46上的调节联动杆71，调节联动杆71位于滚磨调节槽内，调节联动杆71上通过销轴连接有调节从动杆72，调节从动杆72通过轴承安装在调节转动板73上，调节转动板73安装在调节工作电机74的输出轴上，调节工作电机74通过电机座安装在滚磨参照架41上。所述执行机构49包括安装在执行作业架47上的两个执行固定架491，两个执行固定架491对称位于执行作业架47的前后两侧，每个执行固定架491上均通过轴承安装有一个执行滚磨辊492，安装在两个执行滚磨架上的执行滚磨辊492之间设置有执行滚磨带493，位于执行作业架47前端的执行滚磨辊492通过联轴器与执行滚磨电机494的输出轴相连，执行滚磨电机494通过电机座安装在执行固定架491上，滚磨参照架41在滚磨硅晶棒的过程中起到了参照的作用，执行驱动电机44控制执行滑块46进行上下移动，执行滑块46在移动的过程中带动执行机构49对硅晶棒的表面进行滚磨作业，执行滚磨电机494控制执行滚磨带493对硅晶棒表面进行加工，且在滚磨作业的过程中，根据实际作业情况，调节工作电机74通过调节转动板73控制调节从动杆72进行转动调节，调节从动杆72与调节联动杆71之间相互配合从而控制执行滚磨带493对硅晶棒进行有效的滚磨作业，确保经过滚磨后硅晶棒的误差能够控制在有效的范围内，自动化调节作业，无需人工操作，提高了硅晶棒滚磨的精度，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

所述滚磨辅助装置6包括通过电机座安装在底板1上辅助支撑架66上，辅助支撑架66上设置有辅助作业孔，辅助作业孔内通过滑动配合方式安装有辅助抵靠架67，辅助抵靠架67呈倒t型结构，且辅助抵靠架67的下端包裹有橡胶，辅助抵靠架67与辅助支撑架66之间设置有辅助复位弹簧68，辅助抵靠架67的上端通过轴承设置有辅助辊69，辅助支撑架66上通过销轴设置有辅助工作板610，辅助工作板610抵靠在辅助辊69的外壁上，且辅助工作板610与辅助支撑架66之间通过销轴连接有辅助工作气缸611。所述辅助抵靠架67的直径小于辅助作业孔的直径，辅助工作气缸611控制辅助工作板610进行调节作业，辅助工作板610与辅助复位弹簧68之间相互配合作业带动辅助抵靠架67对硅晶棒的上端进行抵紧固定作业，无需人工操作，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作的效率。

工作时，首先通过现有设备将硅晶棒放置到固定旋转柱51上，固定推动气缸53控制固定驱动架54进行升降运动，固定驱动架54在运动的过程中与固定复位弹簧524之间相互配合作业带动固定进给架521进行调节运动，固定作业气缸526带动固定工作架527工作对硅晶棒的下端进行夹持固定作业，确保硅晶棒能够稳定的进行滚磨作业，滚磨辅助装置6上的辅助工作气缸611控制辅助工作板610进行调节作业，辅助工作板610与辅助复位弹簧68之间相互配合作业带动辅助抵靠架67对硅晶棒的上端进行抵紧固定作业，滚磨执行装置4工作，滚磨参照架41在滚磨硅晶棒的过程中起到了参照的作用，执行驱动电机44控制执行滑块46进行上下移动，执行滑块46在移动的过程中带动执行机构49对硅晶棒的表面进行滚磨作业，执行滚磨电机494控制执行滚磨带493对硅晶棒表面进行加工，且在滚磨作业的过程中，根据实际作业情况，调节工作电机74通过调节转动板73控制调节从动杆72进行转动调节，调节从动杆72与调节联动杆71之间相互配合从而控制执行滚磨带493对硅晶棒进行有效的滚磨作业，确保经过滚磨后硅晶棒的误差能够控制在有效的范围内，实现了机械化智能加工硅晶棒的功能，解决了现有硅晶棒在滚磨加工过程中在的需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理，需要人工对硅晶棒进行检测，需要人工对硅晶棒进行固定，针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具，人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律，无法保证硅晶棒滚磨的精确性，影响硅晶棒的使用效果，劳动强度大与工作效率低等难题，达到了目的。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。