图像感测设备及其制造方法与流程

文档序号:17321101发布日期:2019-04-05 21:32阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种制造图像感测设备的方法,包含:形成包含像素区域的第一区域的第一衬底结构,第一衬底结构具有第一表面和第二表面;形成包含用于驱动像素区域的电路区域的第二衬底结构,第二衬底结构具有第三表面和第四表面;将第一衬底结构结合到第二衬底结构,以使得第一表面连接到第三表面;在第二表面上形成像素区域的第二区域;形成第一连接通孔,第一连接通孔从第二表面延伸以穿过第一衬底结构;使用导电凸块将半导体芯片安装在第四表面上;以及将第一衬底结构、第二衬底结构以及半导体芯片的堆叠结构分离成单元图像感测设备。

技术研发人员:尹惺铉;权杜原;金宽植;白寅圭;宋泰荣
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.09.27
技术公布日:2019.04.05
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