柔性衬底、柔性显示面板及柔性显示面板的制作方法与流程

本发明涉及电子显示领域，尤其涉及一种柔性衬底、柔性显示面板及柔性显示面板的制作方法。

背景技术：

在柔性自发光有机显示屏的制造工艺中，通常使用硬质材料(例如玻璃、金属等)作为基板，之后在基板上涂布一层柔性衬底，再依次在所述柔性衬底上形成各个膜层并封装，形成显示面板。之后，再通过使用激光剥离技术(llo，laserlift-off)将基板与柔性衬底分开，实现柔性。

激光剥离技术耗能大、耗时长、影响产能，且价格昂贵，同时会影响柔性显示面板的性能，降低产品良率。

技术实现要素：

本发明提供一种柔性衬底、柔性显示面板及柔性显示面板的制作方法，能够替代柔性面板制作过程中的激光剥离技术，显著改善了上述问题。

本发明提供的技术方案如下：

一种柔性显示面板的制作方法，其包括以下步骤：

提供柔性衬底；

在所述柔性衬底的一侧表面形成相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；

将所述柔性衬底贴合在硬质基板上，具有凹槽的表面与所述硬质衬底相贴合；

抽出凹槽中的空气，在柔性衬底与硬质基板之间形成真空腔和/或低压腔，通过凹槽和外部的气压差将所述柔性衬底固定在硬质基板上；

在所述柔性衬底上形成各个膜层并封装，形成显示面板；

向凹槽中注入空气，消除凹槽和外部的气压差，使显示面板与硬质基板分离。

根据本发明的一个具体实施例，其中，通过至少一个位于所述柔性衬底侧面的连通孔抽出凹槽中的空气，所述连通孔用于穿过所述柔性衬底的侧面，将位于柔性衬底内部的凹槽端口与外侧连通。

根据本发明的一个具体实施例，其中，通过至少一个贯穿所述硬质基板的下连通孔抽出凹槽中的空气。

根据本发明的一个具体实施例，其中，显示面板与硬质基板分离后，还包括以下步骤：

加热所述柔性衬底具有凹槽的表面，使该表面上的柔性材料融化，消除表面的凹槽。

根据本发明的一个具体实施例，其中，显示面板与硬质基板分离后，还包括以下步骤：

在所述柔性衬底具有凹槽的表面上贴合聚合物薄膜，填充表面的凹槽。

根据本发明的一个具体实施例，其中，所述相互连通的凹槽的深度不超过所述柔性衬底厚度的十分之一。

根据本发明的一个具体实施例，其中，所述柔性衬底还包括位于所述相互连通的凹槽的交汇处的深孔。

根据本发明的一个具体实施例，其中，所述深孔为半球形，其深度不超过所述柔性衬底厚度的二分之一。

相应的，本发明还提供了一种柔性衬底，其中所述柔性衬底的一侧表面具有相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；当与硬质基板贴合时，所述凹槽被硬质基板封合，在硬质基板和柔性衬底之间形成一个封闭腔。

根据本发明的一个具体实施例，其中，与所述柔性衬底贴合的硬质基板上具有至少一个贯穿所述硬质基板的下连通孔，用于抽出所述凹槽中的空气。

根据本发明的一个具体实施例，其中，所述柔性衬底还包括至少一个位于侧面的连通孔，用于穿过所述柔性衬底的侧面，将位于柔性衬底内部的凹槽端口与外侧连通。

根据本发明的一个具体实施例，其中，所述柔性衬底还包括与所述连通孔对应的插塞，用于闭合柔性衬底内部的凹槽端口与外侧的连通通道。

相应的，本发明还提供了一种柔性显示面板，其中包含柔性衬底，所述柔性衬底的一侧表面具有相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；当与硬质基板贴合时，所述凹槽被硬质基板封合，在硬质基板和柔性衬底之间形成一个封闭腔。

本发明的有益效果为：本发明在柔性衬底一侧的表面设置凹槽，当与硬质基板贴合时，所述凹槽被硬质基板封合，在硬质基板和柔性衬底之间形成一个封闭腔，通过抽出所述封闭腔中的空气即可将柔性衬底和硬质基板固定在一起，相应的，只需要在封闭腔中注入空气即可将二者分离。本发明能够替代柔性面板制作过程中的激光剥离技术，降低了生产成本，提高了产品良率。

附图说明

图1至图4为现有技术中柔性显示面板的制作过程中，不同步骤中的显示面板的结构示意图；

图5至图7为本发明中柔性显示面板的制作过程中，不同步骤中的显示面板的结构示意图；

图8为本发明的一个具体实施例中的柔性衬底的仰视图；

图9为图8中的柔性衬底的左视图；

图10为本发明的另一个具体实施例中的柔性衬底的仰视图；

图11为图10中的柔性衬底的左视图；

图12为本发明的一个具体实施例中的柔性显示面板的制作流程图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

下面将结合附图对本发明的实施例进行详细说明。

首先对现有技术进行简要介绍。参考图1至图4，图1至图4为现有技术中柔性显示面板的制作过程中，不同步骤中的显示面板的结构示意图。

如图1所示，首先，提供硬质基板110，所述硬质基板110可以是玻璃、金属、树脂等各种刚性满足要求，能够承载所述柔性衬底和其上的各个膜层，在本实施例中，选取有机玻璃作为硬质基板110的材料。

之后参见图2，在所述硬质基板110上形成柔性衬底120，所述柔性衬底120可以是聚合物材料，例如聚酰亚胺(pi)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)等。之后，依次在所述柔性衬底120上形成显示面板的各个功能膜层，参见图3，包括薄膜晶体管层130、彩膜层140以及封装层150，图3只是示例性的示出了显示面板中的两个功能膜层，在其他实施例中，所述膜层还包括液晶层、偏光层、oled期间层等膜层，在此不再赘述。

在封装结束之后，参见图4，将封装后的器件从硬质基板110上分离下来。具体的，使用激光照射所述显示面板，使得烧蚀层中包含的氢化非晶硅释放氢气，实现显示面板和硬质基板的分离。这一过程耗能大、耗时长、影响产能，且价格昂贵，同时会影响柔性显示面板的性能，降低产品良率。

下面将结合附图对本发明中柔性显示面板的制作过程中进行详细说明。首先，参加图12，图12为本发明的一个具体实施例中的柔性显示面板的制作流程图，本发明提供了一种柔性显示面板的制作方法，其包括以下步骤：

s110.提供柔性衬底；

s120.在所述柔性衬底的一侧表面形成相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；

s130.将所述柔性衬底贴合在硬质基板上，具有凹槽的表面与所述硬质衬底相贴合；

s140.抽出凹槽中的空气，在柔性衬底与硬质基板之间形成真空腔和/或低压腔，通过凹槽和外部的气压差将所述柔性衬底固定在硬质基板上；

s150.在所述柔性衬底上形成各个膜层并封装，形成显示面板；

s160.向凹槽中注入空气，消除凹槽和外部的气压差，使显示面板与硬质基板分离。

下面将结合图5至图11对为本发明中柔性显示面板的制作过程进行详细说明。

首先，提供硬质基板110，所述硬质基板110可以是玻璃、金属、树脂等各种刚性满足要求，能够承载所述柔性衬底和其上的各个膜层，在本实施例中，选取有机玻璃作为硬质基板110的材料。

接下来，在步骤s110中，提供柔性衬底120。所述柔性衬底120的材质优选的为聚合物材料，例如聚酰亚胺(pi)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)等。

之后，在步骤s120中，在所述柔性衬底120的一侧表面形成相互连通的凹槽160，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底120内部。形成所述凹槽160的方法可以是干法或湿法刻蚀，具体的，在实践中可以根据柔性衬底120的面积和所需凹槽160的形状选择合适的刻蚀方法。

图8示出了本发明的一个实施例中的凹槽160的示意图，所述凹槽160呈“井”字形交叉连通，确保能够通过一个连通孔即可抽出所有凹槽160中的空气。优选的，所述柔性衬底120还包括至少一个位于侧面的连通孔，用于穿过所述柔性衬底120的侧面，将位于柔性衬底120内部的凹槽160的端口与外侧连通，后续步骤中，可以通过所述连通孔将凹槽160中的空气抽出，所述连通孔的数量优选的为一个。

本实施例中的柔性衬底120的侧视图如图9所示，优选的，所述柔性衬底120还包括与所述连通孔对应的插塞，用于闭合柔性衬底120内部的凹槽160的端口与外侧的连通通道。在凹槽160中的空气抽出后，可通过所述插塞填充所述连通孔，避免空气进入导致柔性衬底120脱离。若不设置所述插塞，则需要抽真空设备在显示面板的制造过程中一直保持工作，造成资源浪费。

优选的，在本实施例中，为了增加凹槽160的容积使封闭腔与外界具有更大的气压差，所述凹槽160还包括位于“井”字形交叉处的深孔，所述深孔为半球形，如图10所示，其左视图参考图11。优选的，所述相互连通的凹槽160的深度不超过所述柔性衬底120厚度的十分之一；且所述深孔的深度不超过所述柔性衬底120厚度的二分之一。限制凹槽160的深度是为了避免封闭腔的体积过大，施加在柔性衬底上的压力超过了柔性衬底120所能承受的最大压力导致塌陷。

当然没在其他实施例中，所述凹槽160可以不具有所述连通孔；所述凹槽160的结构也可以为圆形、曲线型或其他任何形状，凹槽160的形状并不影响其作为封闭腔的效果，只限于说明本发明，而不能解释为对本发明的限制。

接下来，在步骤s130中，将所述柔性衬底120贴合在硬质基板110上，具有凹槽160的表面与所述硬质基板110相贴合。由于凹槽160的端口都位于所述柔性衬底120内部，因此当柔性衬底120贴合在硬质基板110上之后，所述凹槽160即在柔性衬底120和硬质基板110之间形成了一个密封腔，如图5所示。

之后，在步骤s140中，抽出凹槽160中的空气，在柔性衬底120与硬质基板110之间形成真空腔和/或低压腔，通过凹槽160和外部的气压差将所述柔性衬底120固定在硬质基板上。如前所述，所述柔性衬底120还包括至少一个位于侧面的连通孔，和所述连通孔对应的用于闭合所述连通通道的插塞，可通过所述连通孔将所述封闭腔中的气体抽出。在本发明的另一个实施例中，所述凹槽160的端口全部密封在所述柔性衬底120中，此时，与所述柔性衬底120贴合的硬质基板110上具有至少一个贯穿所述硬质基板110的下连通孔，用于抽出所述凹槽160中的空气。相应的，所述硬质基板110也包括一个与所述下连通孔对应的插塞，用于填充所述下连通孔，避免空气进入

在本发明的另一个实施例中，为了提高密封腔的密封效果，在步骤s130中，将柔性衬底120放置到硬质基板110之后，还没有开始抽真空之前，可以在柔性衬底120与硬质基板110的接触面外侧施加密封胶。通常而言，密封胶的的粘合力无法将柔性衬底120固定到硬质基板110之上，但所述密封胶能够消除柔性衬底120与硬质基板110的接触面上的缝隙，使密封腔更容易被抽真空。

之后，在步骤s150中，在所述柔性衬底120上形成各个膜层并封装，形成显示面板。这一步骤的技术与现有技术相同，可通过多种方法实现，在此不再赘述。

最后，在步骤s160中，向凹槽160中注入空气，消除凹槽160和外部的气压差，使显示面板与硬质基板110分离。具体的，拔出所述插塞，即可使空气进入密封腔，实现柔性衬底120与硬质基板110的分离。

优选的，在通过步骤s160使显示面板与硬质基板110分离后，还包括以下步骤：加热所述柔性衬底120具有凹槽的表面，使该表面上的柔性材料融化，消除表面的凹槽160。消除凹槽160能够使显示面板的外侧平滑，更方便的配合后续的安装等步骤。当然，消除所述凹槽160的方法还有很多，例如，在本发明的另一个实施例中，可以通过在所述柔性衬底120具有凹槽160的表面上贴合聚合物薄膜，填充表面的凹槽。

本发明在柔性衬底一侧的表面设置凹槽，当与硬质基板贴合时，所述凹槽被硬质基板封合，在硬质基板和柔性衬底之间形成一个封闭腔，通过抽出所述封闭腔中的空气即可将柔性衬底和硬质基板固定在一起，相应的，只需要在封闭腔中注入空气即可将二者分离。本发明能够替代柔性面板制作过程中的激光剥离技术，降低了生产成本，提高了产品良率。

本发明还提供了一种柔性衬底，其中所述柔性衬底的一侧表面具有相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；当与硬质基板贴合时，所述凹槽被硬质基板封合，在硬质基板和柔性衬底之间形成一个封闭腔。根据本发明的一个具体实施例，其中，与所述柔性衬底贴合的硬质基板上具有至少一个贯穿所述硬质基板的下连通孔，用于抽出所述凹槽中的空气；优选的所述柔性衬底还包括至少一个位于侧面的连通孔，用于穿过所述柔性衬底的侧面，将位于柔性衬底内部的凹槽端口与外侧连通；其中，所述柔性衬底还包括与所述连通孔对应的插塞，用于闭合柔性衬底内部的凹槽端口与外侧的连通通道。

图8示出了本发明的一个实施例中的凹槽160的示意图，所述凹槽160呈“井”字形交叉连通，且所述柔性衬底120还包括至少一个位于侧面的连通孔，用于穿过所述柔性衬底120的侧面，将位于柔性衬底120内部的凹槽160的端口与外侧连通，其侧视图如图9所示，其中，所述柔性衬底120还包括与所述连通孔对应的插塞，用于闭合柔性衬底120内部的凹槽160的端口与外侧的连通通道。

优选的，在本实施例中，为了增加凹槽160的容积使封闭腔与外界具有更大的气压差，所述凹槽160还包括位于“井”字形交叉处的深孔，所述深孔为半球形，如图10所示，其左视图参考图11，其中，所述相互连通的凹槽160的深度不超过所述柔性衬底120厚度的十分之一；且所述深孔的深度不超过所述柔性衬底120厚度的二分之一。限制凹槽160的深度是为了避免封闭腔体积过大，气压差施加在柔性衬底上的压力超过了柔性衬底120所能承受的最大压力导致塌陷。

当然没在其他实施例中，所述凹槽160可以不具有所述连通孔；所述凹槽160的结构也可以为圆形、曲线型或其他任何形状，凹槽160的形状并不影响其作为封闭腔的效果，只限于说明本发明，而不能解释为对本发明的限制。

相应的，本发明还提供了一种柔性显示面板，其中包含柔性衬底，所述柔性衬底的一侧表面具有相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；当与硬质基板贴合时，所述凹槽被硬质基板封合，在硬质基板和柔性衬底之间形成一个封闭腔。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。