本实用新型涉及光伏电池制备技术领域，特别涉及一种硅基电池片干法制绒设备工艺反应腔。
背景技术：
由于市场上标准铝板毛坯尺寸的限制，如果干法制绒设备工艺反应腔只是传统的采用一件上盖，针对高产能干法制绒设备的工艺腔，其上盖必须专门定制大尺寸铝料毛坯，成本会比市场上常用尺寸铝料大幅上升，而且加工周期也大幅延长。
同时，针对单件大尺寸上盖，在真空环境下需要很大尺寸的上盖厚度才能将上盖的变形控制在合理范围内，因此进一步增大了上盖的制作难度及制作成本。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种干法制绒设备工艺反应腔，包括：
腔体，所述腔体由四个侧板和一个底板围成，并由设置在所述腔体内的隔板将所述腔体分为两个连通的腔室；
两个上盖，分别通过连接轴转动连接至对应两个所述腔室的上方，以通过所述连接轴分别实现两个所述上盖的单独侧向掀开；
所述上盖的盖体上加工有多道并列的工艺槽。
进一步的，为了实现所述上盖与腔体的紧密结合，两个所述腔室对应所述上盖的一侧分别设置有一圈开设于侧板及所述隔板上的密封槽，所述密封槽内设置有耐腐蚀耐高温材质的密封圈；所述上盖对应所述腔体的一侧设置有一圈高精度台阶平面，所述台阶平面与对应腔室侧板及隔板上的密封圈贴合形成密封腔室。
进一步的，为了增强腔体的机械强度，所述腔体的侧板及底板下侧两端均设置有加强板。
通过上述技术方案，本实用新型具有如下优点：
①双上盖结构设计，用两件独立开关的上盖代替传统的一件大尺寸大厚度上盖，解决了由于一件上盖尺寸过大而市场上没有合适尺寸铝料的问题，有效的控制了上盖的制作成本和加工周期；
②双上盖结构，两件上盖通过腔体中间的隔板和四周侧板实现密封且均可独自实现开盖，且由于腔体中间隔板的支撑作用，两件小尺寸上盖可以具有比传统单个大尺寸上盖更小的厚度，有效的控制了上盖在真空环境下的变形，进一步的降低了制作及使用成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型实施例所公开的工艺反应腔立体结构示意图；
图2为本实用新型实施例所公开的上盖立体结构示意图；
图3为图1中A部放大结构示意图。
图中数字表示：
10.侧板 11.底板 20.隔板
30.连接轴 40.上盖 41.盖体
42.工艺槽 50.加强板 60.密封槽
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
参考图1-3，本实用新型提供的干法制绒设备工艺反应腔，包括：由四个侧板10和一个底板11围成的腔体，设置在腔体内并将腔体分为两个腔室的隔板20，两个分别通过连接轴30转动连接至腔体的上方并可单独侧向开盖的上盖40，上盖40由一体的盖体上加工多道并列的工艺槽42形成。
为了实现两个上盖40与腔体的紧密结合，腔体对应两个上盖40的一侧分别设置有一圈开设于侧板10及隔板20上的密封槽60，密封槽60内设置有耐腐蚀耐高温材质的密封圈；上盖40对应腔体的一侧设置有一圈高精度台阶平面，台阶平面与对应腔体侧板10及隔板20上的密封圈贴合，形成密封腔室。
为了增强腔体的机械强度，腔体的侧板10及底板11下侧两端均设置有加强板50。
本实用新型采用双上盖40结构设计，用两件独立开关的上盖40代替传统的一件大尺寸大厚度上盖40，解决了由于一件上盖40尺寸过大而市场上没有合适尺寸铝料的问题，有效的控制了上盖40的制作成本和交货期；两件上盖40通过腔体中间的隔板20、四周侧板10和底板11实现密封且均可独自实现开盖，且由于腔体中间隔板20的支撑作用，两件小尺寸上盖40可以具有比传统单个大尺寸上盖40更小的厚度，有效的控制了上盖40在真空环境下的变形，进一步的降低了制作及使用成本。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。