一种IGBT器件的制作方法

文档序号:15657756发布日期:2018-10-13 00:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种IGBT器件,其特征在于,包括:发射区金属层、P型集电区、N-漂移区以及P+型体区;

所述P型集电区、N-漂移区以及所述P+型体区形成PNP三层硅结构;所述发射区金属层与所述P+型体区接触连接;其中,少子空穴电流直接通过所述P+型体区流入所述发射区金属层。

2.根据权利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,还包括:N型终止场层;

所述N型终止场层位于所述N-漂移区以及所述P型集电区之间。

3.根据权利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,还包括:与所述P型集电区接触连接的金属集电层。

4.根据权利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,还包括:栅区;

所述PNP硅结构形成有沟槽,所述栅区位于所述沟槽以及所述发射区金属层之间。

5.根据权利要求4所述的IGBT器件,其特征在于,所述栅区包括:

形成在所述沟槽表面的栅氧化层,

形成在所述栅氧化层上的多晶硅栅,以及形成在所述多晶硅栅与所述发射区金属层之间的栅源隔离层。

6.根据权利要求5所述的IGBT器件,其特征在于,所述栅源隔离层的材料为硼磷硅玻璃。

7.根据权利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,所述发射区金属层为一层金属。

8.根据权利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,所述发射区金属层包括堆叠连接的多层金属。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的IGBT器件,其特征在于,所述发射区金属层为合金。

10.根据权利要求9所述的IGBT器件,其特征在于,所述发射区金属层为以下任意两者或者三者的合金:钛、镍、铂金、铝、硅以及铜。

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