半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的制作方法

文档序号:16231524发布日期:2018-12-11 21:20阅读:206来源:国知局
半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的制作方法

本实用新型涉及半导体维修技术领域,特别是涉及半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置。



背景技术:

半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。

半导体在加工过程中,加工设备需要经常性的维护,防止影响加工质量以及防止产生生产事故,目前使用的长条形部件固定装置结构简单,固定效果不佳,并且时间久了专用固定装置上容易产生废料吸附,难以清除。



技术实现要素:

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:

半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置,包括固定杆、夹板、锁紧旋钮,所述固定杆上端设置有所述夹板,所述夹板上方设置有所述锁紧旋钮,所述固定杆两端设置有支撑杆,所述支撑杆下方设置有组合杆,所述组合杆之间设置有稳固杆,所述稳固杆下方设置有横减震垫,所述组合杆下方设置有竖减震垫,所述夹板两端设置有刮料器,所述夹板内侧设置有嵌口。

上述结构中,将长条形部件放置在所述固定杆上端,控制两个所述夹板在所述固定杆上移动,使两个所述夹板夹紧长条形部件,通过所述锁紧旋钮固定,进行电弧溶射以及喷砂处理,处理以后,所述夹板移动,所述刮料器能够将所述固定杆上吸附的废料清理掉,防止影响装置的使用,所述横减震垫与所述竖减震垫能够吸收装置运行过程中产生的震动,保证维修过程中的质量。

为了进一步提高所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,所述嵌口呈矩形,所述刮料器与所述夹板通过螺钉连接。

为了进一步提高所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,所述刮料器共有四个,所述夹板与所述固定杆嵌套连接。

为了进一步提高所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,所述锁紧旋钮与所述夹板通过螺纹连接,所述锁紧旋钮共有两个。

为了进一步提高所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,所述支撑杆与所述固定杆焊接,所述支撑杆共有四个,呈三角形焊接在一起。

为了进一步提高所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,所述组合杆与所述支撑杆焊接,所述组合杆与所述稳固杆焊接。

为了进一步提高所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,所述横减震垫与所述稳固杆通过螺钉连接,所述竖减震垫与所述组合杆通过螺钉连接,所述组合杆共有两个。

本实用新型的有益效果在于:本实用新型结构简单,能够通过夹板将长条形部件牢固的固定在装置上,同时装置结构轻便,移动方便,减震效果好,并且可以清除在电弧溶射、喷砂处理过程中吸附在固定杆上的废料。

附图说明

图1是本实用新型所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的主视图;

图2是本实用新型所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的左视图;

图3是本实用新型所述半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的夹板结构图。

附图标记说明如下:

1、固定杆;2、夹板;3、锁紧旋钮;4、支撑杆;5、稳固杆;6、横减震垫;7、竖减震垫;8、组合杆;9、刮料器;10、嵌口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明:

如图1-图3所示,半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置,包括固定杆1、夹板2、锁紧旋钮3,固定杆1上端设置有夹板2,固定杆1用于放置长条形部件,夹板2用于夹紧固定被维修的部件,夹板2上方设置有锁紧旋钮3,锁紧旋钮3用于锁紧夹板2,固定杆1两端设置有支撑杆4,支撑杆4用于支撑固定杆1,支撑杆4下方设置有组合杆8,组合杆8用于和支撑杆4组成稳定结构,组合杆8之间设置有稳固杆5,稳固杆5用于稳固装置结构,稳固杆5下方设置有横减震垫6,横减震垫6用于减少吸收震动,组合杆8下方设置有竖减震垫7,竖减震垫7用于减少吸收震动,夹板2两端设置有刮料器9,刮料器9用于清理维修中产生的废料,夹板2内侧设置有嵌口10,嵌口10用于方便夹板2与固定杆1配合。

上述结构中,将长条形部件放置在固定杆1上端,控制两个夹板2在固定杆1上移动,使两个夹板2夹紧长条形部件,通过锁紧旋钮3固定,进行电弧溶射以及喷砂处理,处理以后,夹板2移动,刮料器9能够将固定杆1上吸附的废料清理掉,防止影响装置的使用,横减震垫6与竖减震垫7能够吸收装置运行过程中产生的震动,保证维修过程中的质量。

为了进一步提高半导体加工设备长条形部件维护专用固定装置的使用功能,嵌口10呈矩形,刮料器9与夹板2通过螺钉连接,刮料器9共有四个,夹板2与固定杆1嵌套连接,锁紧旋钮3与夹板2通过螺纹连接,锁紧旋钮3共有两个,支撑杆4与固定杆1焊接,支撑杆4共有四个,呈三角形焊接在一起,组合杆8与支撑杆4焊接,组合杆8与稳固杆5焊接,横减震垫6与稳固杆5通过螺钉连接,竖减震垫7与组合杆8通过螺钉连接,组合杆8共有两个。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

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