技术总结
本实用新型公开了一种半导体设备，包括腔室和真空泵，还包括柔性密封管和真空泵支架，其中，所述柔性密封管连接在所述腔室的出口和所述真空泵的入口之间，以减小所述真空泵传递给所述腔室的震动；所述真空泵支架用于支撑所述真空泵。本实用新型将腔室与真空泵之间通过柔性密封管进行连接，并通过真空泵支架单独支撑真空泵，使得真空泵产生的震动和力不会传到腔室，避免了由于真空泵本身的震动引起的腔室震动，增加了半导体设备的稳定性。
技术研发人员：武学伟;董博宇;郭冰亮;李丽;徐宝岗;刘玉杰;武树波;杨依龙
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2018.07.25
技术公布日：2019.02.05