技术总结
本实用新型实施例提供了一种晶圆的清洗设备，包括：第一供液管路、第一控制阀门、第二供液管路、第二控制阀门、混液管路、混液槽以及液体pH传感器；所述第一供液管路和第二供液管路连通于所述混液管路，所述第一供液管路设置有所述第一控制阀门，所述第二供液管路设置有所述第二控制阀门，所述混液管路连通于所述混液槽的入液口，所述混液槽的出液口连接晶圆冲洗管道，并设置有所述液体pH传感器。本实用新型实施例的技术方案能够在去离子水的路径中加入显影液，并加上自动流量控制阀，在去离子水清洗流程中利用流量比例控制加入显影液来降低酸碱震荡的影响，将清洗液从13.2逐渐降至7，而不会产生瞬间的变化，解决了晶圆的卫星状缺陷。
技术研发人员：陈琦南
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2018.10.18
技术公布日：2019.07.05