一种用于硅片贴片机的冷却装置的制作方法

本实用新型涉及硅片贴片机技术领域，特别是涉及一种用于硅片贴片机的冷却装置。

背景技术：

硅片贴片是在硅片加工过程中必不可少的程序，目前主要人工借助定制的工装夹具手工操作工作效率低，贴片速度慢，贴片质量不稳定，影响产品质量及企业发展。

在贴片过程中，其中一个工序是将硅片和陶瓷盘进行冷却，目前没有这类能自动冷却的装置，导致生产效率较低。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于硅片贴片机的冷却装置，结构简单，使用方便，自动化程度较高。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种用于硅片贴片机的冷却装置，包括工作台、下冷却盘和上冷却盘，所述的工作台上端中部安装有升降气缸，该升降气缸上端的活塞杆与下冷却盘相连，所述的工作台上端位于升降气缸的两侧均竖直安装有直线轴承，该直线轴承内安装有上下滑动的导向轴，所述的导向轴的上端与下冷却盘的下端一侧固定，所述的工作台位于下冷却盘的上方水平布置有横梁，该横梁上安装有上冷却盘基板，所述的上冷却盘基板的两侧均竖直安装有吊柱套，每个吊柱套内安装有上下浮动的吊柱，所述的吊柱的下端与上冷却盘相连。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的下冷却盘下端安装有下冷却盘背板，该下冷却盘背板与导向轴和升降气缸的活塞杆相连。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的上冷却盘上端安装有上冷却盘背板，该上冷却盘背板与吊柱相连。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的下冷却盘和上冷却盘均呈圆盘状，且内部设置有呈蚊香状结构的冷却管路。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的工作台的下部设置有储藏柜。

有益效果：本实用新型涉及一种用于硅片贴片机的冷却装置，首先机械手将贴好硅片的陶瓷盘放到下冷却盘，随后启动升降气缸，直线轴承以及导向轴配合，保证下冷却盘上下运动的稳定性，升降气缸控制下冷却盘上升，随后下冷却盘与上冷却盘一起压紧陶瓷盘和硅片，接着下冷却盘和上冷却盘的冷却管路均通入冷却水，使得陶瓷盘和硅片快速降温。冷却管路呈蚊香状结构，大大提高冷却效率。上冷却盘基板与上冷却盘之间通过吊柱和吊柱套连接，使得上冷却盘有一定的上升余量，防止升降气缸推着下冷却盘顶坏上冷却盘。本实用结构简单，使用方便，自动化程度较高。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型图1的局部放大图；

图3是本实用新型所述的冷却管路的布置图。

图示：1、工作台，2、直线轴承，3、下冷却盘背板，4、下冷却盘，5、上冷却盘，6、上冷却盘背板，7、吊柱，8、上冷却盘基板，9、吊柱套，10、导向轴，11、升降气缸，12、储藏柜，13、冷却管路，14、横梁。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

本实用新型的实施方式涉及一种用于硅片贴片机的冷却装置，如图1-3所示，包括工作台1、下冷却盘4和上冷却盘5，所述的工作台1上端中部安装有升降气缸11，该升降气缸11上端的活塞杆与下冷却盘4相连，所述的工作台1上端位于升降气缸11的两侧均竖直安装有直线轴承2，该直线轴承2内安装有上下滑动的导向轴10，所述的导向轴10的上端与下冷却盘4的下端一侧固定，所述的工作台1位于下冷却盘4的上方水平布置有横梁14，该横梁14上安装有上冷却盘基板8，所述的上冷却盘基板8的两侧均竖直安装有吊柱套9，每个吊柱套9内安装有上下浮动的吊柱7，所述的吊柱7的下端与上冷却盘5相连。

所述的下冷却盘4下端安装有下冷却盘背板3，该下冷却盘背板3与导向轴10和升降气缸11的活塞杆相连。

所述的上冷却盘5上端安装有上冷却盘背板6，该上冷却盘背板6与吊柱7相连。

所述的下冷却盘4和上冷却盘5均呈圆盘状，且内部设置有呈蚊香状结构的冷却管路13。

所述的工作台1的下部设置有储藏柜12。

实施例

首先机械手将贴好硅片的陶瓷盘放到下冷却盘4，随后启动升降气缸11，直线轴承2以及导向轴10配合，保证下冷却盘4上下运动的稳定性，升降气缸11控制下冷却盘4上升，随后下冷却盘4与上冷却盘5一起压紧陶瓷盘和硅片，接着下冷却盘4和上冷却盘5的冷却管路13均通入冷却水，使得陶瓷盘和硅片快速降温。冷却管路13呈蚊香状结构，大大提高冷却效率。上冷却盘基板8与上冷却盘5之间通过吊柱7和吊柱套9连接，使得上冷却盘5有一定的上升余量，防止升降气缸11推着下冷却盘4顶坏上冷却盘5。