一种湿法设备的补液系统的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池刻蚀技术领域，尤其涉及一种湿法设备的补液系统。

背景技术：

近年来，随着太阳能电池片生产技术不断进步，生产成本不断降低，电池效率不断提高，人们对高效太阳能电池越来越重视。其中，选择性发射极结构是P-N结晶体硅太阳能电池目前使用的制备高效太阳能电池的主流技术之一。实现选择性发射极可通过多种方式，其中回刻技术是目前较成熟的工艺，其工艺流程主要分为扩散重掺杂区域、在金属区域用丝网印刷的方式将与前栅线图案相同的石蜡作为掩膜，然后用HF/HNO3的混合溶液将掩膜以外的重掺杂层表层刻蚀掉几十纳米的薄层形成轻掺区域，然后将石蜡用碱溶液清洗掉。

现有的回刻设备主要由酸刻槽-水洗槽-碱粗洗槽-碱精洗槽-水洗槽-烘干槽组成。其中，酸刻槽主要用来对硅片正表面没有石蜡保护的区域进行刻蚀形成轻掺杂区域，碱洗槽主要用来去除表面印有的石蜡。和传统的用于背面刻蚀的湿法设备一样，回刻设备主要通过进料端的感应器来对硅片进行计数，当计数达到设定的值时，将对各个槽体进行设定的药液补充。对于回刻设备，单纯通过对进料硅片计数进行补液的方式存在弊端，在工艺调试的初期，需要对酸刻槽内的药液进行激活，此过程不需要使用印有石蜡的硅片，只需要使用大量扩散后硅片与酸刻槽中药液反应逐步激活药液活性即可。该弊端是：

1)对于碱洗槽来说，大量没有印有石蜡的硅片并不会消耗碱溶液，实际碱溶液浓度变化不大，但仅通过进料端对硅片计数的方式来补充碱溶液时，会造成碱洗槽实际碱溶液浓度偏高，浪费药液且对工艺调试造成影响；

2)无法做到精准补液，浪费药液。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种湿法设备的补液系统，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种湿法设备的补液系统，能够根据槽内溶液图片的RGB值控制药液的添加，可精准的控制药液浓度，同时节约药液成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种湿法设备的补液系统，包括槽体、照明机构及图像处理机构，其中：

所述槽体用于容置溶液；

所述照明机构设置于所述槽体的顶部，用能够对所述槽体的内部进行照明；

所述图像处理机构包括设置于所述槽体的顶部的图片获取装置、与所述图片获取装置通信连接的图像处理器，所述图像处理器能够分析所述图片获取装置获得的图片的RGB数值，且所述图像处理器与所述湿法设备的进液系统通信连接。

进一步地，所述槽体的侧壁上涂覆有避光涂层。

进一步地，所述照明机构包括安装于所述槽体顶部的灯板、多个设置于所述灯板上的灯体。

进一步地，所述灯板与所述槽体的顶部可拆卸连接。

进一步地，所述槽体的两个相对的侧壁的顶部上设有相平行的滑槽，所述灯板两端设有能够滑进或滑出所述滑槽的滑块。

进一步地，所述灯板的两端上均设有限制所述滑块相对所述滑槽滑动的制动件。

进一步地，所述制动件为贯穿所述灯板的端部及所述滑块的螺杆，且所述螺杆与所述灯板的端部及所述滑块螺纹连接。

进一步地，所述灯体为LED灯。

进一步地，所述图片获取装置安装于所述灯板上。

进一步地，所述图片获取装置为CCD相机。

本实用新型的有益效果为：通过对槽内的溶液拍照，利用图像处理器分析图片的RGB数值，根据RGB数值判断溶液的浓度，从而控制湿法设备的进液系统是否向槽内添加药液，达到精准地控制槽内溶液的浓度的目的，也避免了过量添加药液造成的药液浪费，降低了成本。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的湿法设备的补液系统的结构示意图。

图中：10-槽体，11-避光涂层，20-照明机构，21-灯板，22-灯体，23-滑块，24-制动件，30-图像处理机构，31-图片获取装置，32-图像处理器。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1所示，本实用新型的湿法设备的补液系统包括槽体10、照明机构20及图像处理机构30。其中，槽体10用于容置溶液；照明机构20设置于槽体10的顶部，用于对槽体10的内部进行照明；图像处理机构30包括设置于槽体10的顶部的图片获取装置31、与图片获取装置31通信连接的图像处理器32，图像处理器32用于分析图片获取装置31获得的图片的RGB数值，且图像处理器32与湿法设备的进液系统(未图示)通信连接。本实用新型通过对槽内的溶液拍照，利用图像处理器分析图片的RGB数值，并与设定的RGB上限值比较，根据RGB数值判断溶液的浓度，从而控制湿法设备的进液系统是否向槽内添加药液，达到精准地控制槽内溶液的浓度的目的，也避免了过量添加药液造成的药液浪费，降低了成本。

另外，作为本实用新型的优选实施方式，本实用新型在槽体10的侧壁上涂覆有避光涂层11。利用避光涂层11可避免外界环境光对槽体10的内部光线的干扰，从而确保图片获取装置31获得的溶液的图片的RGB数值可靠。

具体的，照明机构20包括安装于槽体10顶部的灯板21、多个设置于灯板21上的灯体22，灯体22为LED灯，LED灯高亮度、低热量，照明效果好。

为了方便安装、拆卸、维护照明机构20，本实用新型将灯板21与槽体10的顶部可拆卸连接。为实现可拆卸连接，可在槽体10的两个相对的侧壁的顶部上开设相平行的滑槽，在灯板21的两端设置能够滑进或滑出滑槽的滑块23。如此，安装方便，可将照明机构20拆卸下来进行维护，同时还能使照明机构20在槽体10上移动，以便槽体10内的每个方位的溶液都能得到充足的照明，从而确保图片获取装置31获取溶液图片的效果。进一步地，本实用新型中的图片获取装置31为CCD相机，可安装在灯板21上。如此，图片获取装置31即可随灯板21移动，拍摄效果最佳，获得的溶液的图片的RGB数值更可靠。

为了将照明机构20限制在所需位置处，以避免外力作用导致灯板21滑动，本实用新型在灯板21的两端上均设有限制滑块23相对滑槽滑动的制动件24，制动件24为贯穿灯板21的端部及滑块23的螺杆，且螺杆与灯板21的端部及滑块23螺纹连接。旋转螺杆，使螺杆的端部伸出滑块23并抵紧滑槽，灯板21便不可移动；松开螺杆，可滑动灯板21。制动的操作方便，且机构简单。

综上，本实用新型的湿法设备的补液系统，能够根据槽体10内溶液图片的RGB值控制药液的添加，可精准的控制药液浓度，同时节约药液成本。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。