一种清洗干燥晶片用的花篮的制作方法

本发明属于晶片领域，具体涉及一种清洗干燥晶片用的花篮。

背景技术：

在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。花篮装置作为清洗时固定晶圆片的装置而使用。目前的花篮装置通常自一侧进气干燥，另一相对侧出气，干燥不均匀，干燥效率低。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种清洗干燥晶片用的花篮，本发明能够将晶片稳定承置，并通过通气管道的布设，提高干燥效果和效率。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽的侧板，两两相对的所述凹槽之间放置所述晶片，所述花篮还包括：通气管道，所述通气管道设置在所述侧板的中部位置，所述通气管道上开设有若干出气孔。

优选地，所述通气管道的两端均超出所述侧板的边缘，所述通气管道的两端均通入干燥用气体。

优选地，所述通气管道的数量为2个，分别布设在两个所述侧板上。

优选地，所述出气孔均匀分布在所述通气管道上。

优选地，所述花篮还包括：锁定装置，用来锁定或者松开所述晶片。

优选地，所述锁定装置包括：转轴，所述转轴上设置缺口段；旋转气缸，所述旋转气缸的旋转部与所述转轴固定连接。

优选地，所述锁定装置的数量为2个，所述锁定装置分别设置在两个所述侧板内。

优选地，所述花篮底部外侧还包括：轮子，用来整体移动所述花篮。

优选地，所述气体为氮气。

一种晶片干燥机，所述干燥机包括有任一上述的清洗干燥晶片用的花篮。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

1、通气管道设置在侧板的中部，使得氮气自晶片中部向晶片两端进行干燥；

2、通气管道的两端均通入氮气，侧板两侧均布设通气管道，使得氮气的干燥更趋向全面均匀，从而进一步提高干燥效果和效率；

3、通过锁定装置，当转轴缺口段的缺口面朝向花篮内部时，晶片处于松开的状态，当转轴的缺口段的其他弧面朝向花篮内部时，晶片处于锁定状态；

4、通过两个锁定装置实现更稳定的锁定晶片，通过旋转气缸实现对转轴的转动，快捷简便。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的整体结构示意图。

图2为本发明的俯视示意图。

图3为图2中d-d处的剖面示意图。

图4为转轴的侧视示意图。

图5为本发明的侧视示意图。

图6为图5中b-b处的剖面示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1-6所示，一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽11的侧板1，两两相对的凹槽11之间放置晶片，花篮还包括：通气管道2，通气管道2设置在侧板1的中部位置，通气管道2上开设有若干出气孔21。

通气管道2的两端均超出侧板1的边缘，通气管道2的两端均通入干燥用气体。气体为氮气，或者空气。

通气管道2的数量为2个，分别布设在两个侧板1上。

出气孔21均匀分布在通气管道2上。

花篮还包括：锁定装置，用来锁定或者松开晶片。

锁定装置包括：转轴3，转轴3上设置缺口段31；旋转气缸4，旋转气缸4的旋转部与转轴3固定连接。缺口段可以通过切削等加工方式将圆柱体的原转轴加工成截面为带有缺角的圆。

锁定装置的数量为2个，锁定装置分别设置在两个侧板1内。

花篮底部外侧还包括：轮子5，用来整体移动花篮。轮子的数量为4个，分别设置在花篮的左右两侧各一对。因为花篮只是干燥机中的一部分，该部分在安装拆卸或者执行其他整体移动晶片的工序时，通过轮子可以方便快捷地完成移动。

本实施例还提供一种晶片干燥机，干燥机包括有任一的清洗干燥晶片用的花篮。

本实施例的通气管道设置在侧板的中部，使得氮气自晶片中部向晶片两端进行干燥；通气管道的两端均通入氮气，侧板两侧均布设通气管道，使得氮气的干燥更趋向全面均匀，从而进一步提高干燥效果和效率；通过锁定装置，当转轴缺口段的缺口面朝向花篮内部时，晶片处于松开的状态，当转轴的缺口段的其他弧面朝向花篮内部时，晶片处于锁定状态。

尽管上述实施例已对本发明作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本发明的精神以及范围之内基于本发明公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本发明的精神以及范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽的侧板，两两相对的所述凹槽之间放置所述晶片，所述花篮还包括：通气管道，所述通气管道设置在所述侧板的中部位置，所述通气管道上开设有若干出气孔。本发明的有益效果为能够将晶片稳定承置，并通过通气管道的布设，提高干燥效果和效率。

技术研发人员：陈景韶;葛林五;葛林新;李杰;丁高生;林生海
受保护的技术使用者：上海提牛机电设备有限公司
技术研发日：2019.01.22
技术公布日：2019.05.03