一种半导体晶片清洗花篮的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种半导体晶片清洗花篮，包括一个中部设有晶片槽的底座、两个与底座侧壁通过螺钉连接套合的侧支架、一个固定于侧支架上部的提杆和两个固定于侧支架中部的档杆，其中晶片槽两侧的底座上分别设有与晶片相配的晶片齿，侧支架的中间部位设有与提杆相连的提杆架，提杆架的两侧设有对称于提杆架的挡杆架，挡杆架的上部设有与挡杆相配的挡杆槽，挡杆通过螺母固定于挡杆架的挡杆槽内，该挡杆上设有与晶片相配的晶片齿。本实用新型的花篮载片量显著增加，减少了人员反复清洗的作业量；挡杆可自由从支架上取出，方便晶片的装载和取出；晶片槽的旁边设有导流孔，尽可能少的使清洗液残留在花篮上，提高清洗质量。
【专利说明】
一种半导体晶片清洗花篮
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体晶片清洗装置技术领域，具体涉及一种半导体晶片清洗提候
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【背景技术】
[0002]半导体生产过程中对硅片的清洗过程是必不可少的。所谓清洗是指硅片表面杂质的清除、定点定向腐蚀等。目前，硅片生产过程中专用的方形聚四氟乙烯花篮，因其结构固定，容量小，生产效率低，占用大量的空间且成本较高;而且硅片边缘接触面积大，在一些清洗环节又会引起大范围的边缘腐蚀印记，导致产品失效。
【发明内容】
[0003]本实用新型解决的技术问题是提供了一种适用于静止和抖动状态下的半导体晶片清洗花篮。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题采用如下技术方案，一种半导体晶片清洗花篮，其特征在于包括一个中部设有晶片槽的底座、两个与底座侧壁通过螺钉连接套合的侧支架、一个固定于侧支架上部的提杆和两个固定于侧支架中部的档杆，其中晶片槽两侧的底座上分别设有与晶片相配的晶片齿，侧支架的中间部位设有与提杆相连的提杆架，提杆架的两侧设有对称于提杆架的挡杆架，挡杆架的上部设有与挡杆相配的挡杆槽，挡杆通过螺母固定于挡杆架的挡杆槽内，该挡杆上设有与晶片相配的晶片齿。
[0005]进一步优选，所述的半导体晶片为圆形半导体晶片。
[0006]进一步优选，所述的底座上设有漏液孔。
[0007]进一步优选，所述提杆架的上部设有固定槽，提杆的两侧分别通过设置于提杆上的通孔活动安装于提杆架的固定槽内。
[0008]本实用新型与现有技术相比具有以下优点:花篮载片量显著增加，减少了人员反复清洗的作业量;挡杆可自由从侧支架上取出，方便晶片的装载和取出；晶片槽的旁边设有漏液孔，尽可能少的使清洗液残留在花篮上，提高清洗质量;镂空设计的侧支架使得清洗液能更好的在硅片上流动，清洗效果比目前常用标准花篮更佳，且花篮与硅片的接触面更小，在一定程度降低了失效率，从而提高产品的成品率。另外采用螺钉套合侧支架与底板，以及提杆和侧支架的卡套方式使得花篮更结实牢固，承重量大大提高。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图；
[0010]图2是图1的侧视图；
[0011]图3是本实用新型中侧支架的结构示意图；
[0012]图4是本实用新型中提杆的结构示意图；
[0013]图5是本实用新型中挡杆的结构示意图；
[0014]图6是本实用新型中底座的结构示意图。
[0015]图中:1、底座，2、侧支架，201、提杆架，202、挡杆架，3、提杆，4、挡杆，5、螺钉，6、漏液孔，7、螺母。
【具体实施方式】
[0016]结合附图详细描述本实用新型的具体内容。一种半导体晶片清洗花篮，包括一个中部设有晶片槽的底座1、两个与底座I侧壁通过螺钉5连接套合的侧支架2、一个固定于侧支架2上部的提杆3和两个固定于侧支架2中部的档杆4，其中晶片槽两侧的底座I上分别设有与晶片相配的晶片齿，侧支架2的中间部位设有与提杆3相连的提杆架201，提杆架201的两侧设有对称于提杆架201的挡杆架202，挡杆架202的上部设有与挡杆4相配的挡杆槽，挡杆4通过螺母7固定于挡杆架202的挡杆槽内，该挡杆4上设有与晶片相配的晶片齿。所述的半导体晶片为圆形半导体晶片。所述的底座I上设有漏液孔6。所述提杆架201的上部设有固定槽，提杆3的两侧分别通过设置于提杆3上的通孔活动安装于提杆架201的固定槽内。
[0017]本实用新型的具体操作过程为:首先将两个侧支架通过设置于提杆架上部的固定槽插入提杆两侧的通孔内，分别旋转侧支架实现侧支架与提杆的活动连接，然后根据硅片尺寸的大小先将一根挡杆固定于挡杆架上，开始安装硅片，装好硅片后，由于三个点的支撑，硅片基本固定，再将另一个挡杆通过螺母固定于挡杆架上，挡杆上的晶片齿和底座上的晶片齿使得硅片上下与花篮各保持两个固定点，从而避免了硅片粘附在一起，然后放入清洗液体中进行清洗，如需抖动，可晃动提杆使清洗反应更均匀，清洗效果更佳。
[0018]本实用新型增加了清洗花篮的载片数，提高了硅片的清洗效率，降低了工人作业量和生产成本，同时防止了因硅片间距缩小带来的硅片间粘附损坏问题的发生，并且适用于某些场合提拉抖动花篮时防止硅片脱落。由于采用晶片齿的方式，缩小了硅片与花篮的接触面积，降低了产品的失效比例，并且侧边完全镂空，便于清洗液体的流动，使得清洗效果更佳。
[0019]以上显示和描述了本实用新型的基本原理，主要特征和优点，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围。
【主权项】
1.一种半导体晶片清洗花篮，其特征在于包括一个中部设有晶片槽的底座、两个与底座侧壁通过螺钉连接套合的侧支架、一个固定于侧支架上部的提杆和两个固定于侧支架中部的档杆，其中晶片槽两侧的底座上分别设有与晶片相配的晶片齿，侧支架的中间部位设有与提杆相连的提杆架，提杆架的两侧设有对称于提杆架的挡杆架，挡杆架的上部设有与挡杆相配的挡杆槽，挡杆通过螺母固定于挡杆架的挡杆槽内，该挡杆上设有与晶片相配的晶片齿。2.根据权利要求1所述的半导体晶片清洗花篮，其特征在于:所述的半导体晶片为圆形半导体晶片。3.根据权利要求1所述的半导体晶片清洗花篮，其特征在于:所述的底座上设有漏液孔。4.根据权利要求1所述的半导体晶片清洗花篮，其特征在于:所述提杆架的上部设有固定槽，提杆的两侧分别通过设置于提杆上的通孔活动安装于提杆架的固定槽内。
【文档编号】H01L21/673GK205508774SQ201620223468
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年3月22日
【发明人】杜志民, 王宇, 王一宇, 郭立洲
【申请人】河南芯睿电子科技有限公司