技术特征：
技术总结
本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底报废品的重制方法，涉及LED蓝宝石衬底加工领域，包括：将报废的图形化蓝宝石衬底重制成平面衬底；清洗平面衬底；在平面衬底表面沉积SiO2膜层；将光刻胶掩膜图形转移到SiO2膜层，在SiO2膜层的表面腐蚀出至少一个SiO2微结构，得到图形化衬底；在图形化衬底的表面镀AlN膜层。通过增加SiO2膜层，以SIO2微结构取代AL2O3微结构，改善了光在蓝宝石基LED器件中的传播路径，减少了折射与吸收，增加了全反射，因此有利于提升光效，且能避免对重制得到的蓝宝石衬底进行刻蚀，从而避免刻蚀过程对蓝宝石衬底的伤害，减少衬底应力变化，有利于提高结晶质量以及成品良率。
技术研发人员：冯磊;徐平;王杰
受保护的技术使用者：湘能华磊光电股份有限公司
技术研发日：2019.03.19
技术公布日：2019.06.25