一种基于SE的碱抛光高效PERC电池工艺的制作方法

文档序号:18174925发布日期:2019-07-13 10:02阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于SE的碱抛光高效PERC电池工艺,碱抛光:采用优化后的碱抛配方,对硅片进行碱抛光;碱抛光所使用的添加剂和碱补液均按照阶梯式进行补加:第1‑15批次,添加剂补液量为200‑350ml,碱补液量为300‑1000ml,纯水补液量为7‑9L;第16‑30批次,添加剂补液量为250‑400ml,碱补液量为850‑1150ml,纯水补液量为8‑10L;第31‑60批次,添加剂补液量为300‑500ml,碱补液量为1000‑1300ml,纯水补液量为9‑11L。本发明采用优化后的碱抛配方,添加剂和碱补液的补加方式使用阶梯补加方式,有效的延长了碱抛槽的药液寿命达到了产能提升,同时添加剂及碱的耗量大幅度下降,突破碱抛SE的产能瓶颈。

技术研发人员:郑云龙;张玉前;庞三凤;苏世杰;陈世琴
受保护的技术使用者:通威太阳能(合肥)有限公司;通威太阳能(安徽)有限公司
技术研发日:2019.03.22
技术公布日:2019.07.12
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