本发明涉及一种太阳能电池及其制备方法，具体的说是一种mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，属于太阳能电池加工
技术领域：
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背景技术：
：现有硅片在经过扩散工序处理后，硅片再经过激光se后，表层的psg变的疏松和稀薄。在经过碱抛光前的去psg时，由于没有表层的氧化膜保护，槽体内的酸气更容易对绒面金字塔尖进行腐蚀。同时在碱抛光时，碱液koh会进一步对绒面金字塔尖进行腐蚀。虽碱抛添加剂有一定保护，但去psg阶段依然无法保护，且如果保护效碱抛槽果太好也不利于背面抛光效果影响整体增益。技术实现要素：发明目的：针对现有技术中存在的问题与不足，本发明提供一种mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，通过增加氧气流量、温度和时间使氧化层变厚，然后在激光工序通过调整激光功率和脉冲宽度使得激光对氧化层损伤最低还能兼顾同样的能量使得方阻下降值不变。本发明提出的一种mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，包括以下步骤：低温沉积-升温-高温沉积-高温推进-后氧-激光se-去psg-碱抛光；所述后氧工序中分为三个阶段进行处理，所述三个阶段的工艺参数按如下执行：第一步后氧工序控制温度为780-800℃，氧气流量900-1100scccm，时间180-220秒；第二步后氧工序控制温度为720-750℃，氧气流量2300-2600scccm，时间250-350秒；第三步后氧工序控制温度为700-750℃，氧气流量2800-2900sccm，时间450-550秒；所述激光se工序中激光功率调整至25w-28w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。本发明的进一步的限定技术方案，前述的mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，所述后氧工序中的三个阶段的工艺参数按如下执行：第一步后氧工序控制温度为780℃，氧气流量900scccm，时间180秒；第二步后氧工序控制温度为720℃，氧气流量2300scccm，时间250秒；第三步后氧工序控制温度为700℃，氧气流量2800sccm，时间450秒；所述激光se工序中激光功率调整至25w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。前述的mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，所述后氧工序中的三个阶段的工艺参数按如下执行：第一步后氧工序控制温度为800℃，氧气流量1100scccm，时间220秒；第二步后氧工序控制温度为750℃，氧气流量2600scccm，时间350秒；第三步后氧工序控制温度为750℃，氧气流量2900sccm，时间550秒；所述激光se工序中激光功率调整至28w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。进一步的，前述的mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，所述后氧工序中的三个阶段的工艺参数按如下执行：第一步后氧工序控制温度为790℃，氧气流量1000scccm，时间200秒；第二步后氧工序控制温度为730℃，氧气流量2500scccm，时间300秒；第三步后氧工序控制温度为720℃，氧气流量2900sccm，时间500秒；所述激光se工序中激光功率调整至26w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。有益效果：本发明可以保证不增加成本和微影响效率的前提下，通过增加氧气流量、温度和时间使氧化层变厚，然后在激光工序通过调整激光功率和脉冲宽度使得激光对氧化层损伤最低还能兼顾同样的能量使得方阻下降值不变。将激光se搭配碱抛光工艺成为可能，发挥激光se和碱抛光工艺兼容的优势。具体实施方式下面以具体实施例，进一步阐明本发明。实施例1本实施例提供一种mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，包括如下步骤：低温沉积-升温-高温沉积-高温推进-后氧-激光se-去psg-碱抛光；其中后氧工序中分为三个阶段进行处理，扩散后氧和激光调整变化参数如下：第一步后氧工序控制温度为780℃，氧气流量900scccm，时间180秒；第二步后氧工序控制温度为720℃，氧气流量2300scccm，时间250秒；第三步后氧工序控制温度为700℃，氧气流量2800sccm，时间450秒；所述激光se工序中激光功率调整至25w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。实施例2本实施例提供一种mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，包括如下步骤：低温沉积-升温-高温沉积-高温推进-后氧-激光se-去psg-碱抛光；其中后氧工序中分为三个阶段进行处理，扩散后氧和激光调整变化参数如下：第一步后氧工序控制温度为800℃，氧气流量1100scccm，时间220秒；第二步后氧工序控制温度为750℃，氧气流量2600scccm，时间350秒；第三步后氧工序控制温度为750℃，氧气流量2900sccm，时间550秒；所述激光se工序中激光功率调整至28w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。实施例3本实施例提供一种mwt太阳能电池激光se+碱抛光扩散工艺，包括如下步骤：低温沉积-升温-高温沉积-高温推进-后氧-激光se-去psg-碱抛光；其中后氧工序中分为三个阶段进行处理，扩散后氧和激光调整变化参数如下：第一步后氧工序控制温度为790℃，氧气流量1000scccm，时间200秒；第二步后氧工序控制温度为730℃，氧气流量2500scccm，时间300秒；第三步后氧工序控制温度为720℃，氧气流量2900sccm，时间500秒；所述激光se工序中激光功率调整至26w，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。以158.75*158.75mm尺寸的晶片为例，晶片通过以下工序生产：激光打孔—制绒—扩散—激光se—去psg—碱抛光—退火—背钝化—背膜（sinx）—正膜（sinx）—丝网印刷；晶片制绒后的硅片分五组实验，每组1200片：第一组产线现有量产扩散+现有量产激光工艺+后道；第二组为改变扩散后氧化工艺+现有量产激光工艺+后道；第三-五组为改变后氧化工艺+调整激光后的工艺+后道，工艺参数分别对应实施例1-3。检测后，测得实验数据平均值见下表。效率（%）开路电压短路电流填充因子串联电阻并联电阻漏电原工艺配方21.8600.675210.20179.982.367720.08激光参数优化21.9010.675110.20680.122.338270.08实施例122.0190.675810.19880.502.158520.09实施例222.0250.675510.18680.512.168550.08实施例322.0510.675310.19380.432.158510.08通过上述实验检测数据可以看出，通过本申请方案制备的电池组，光电转换效率有明显的提升，该工序对氧化层损伤最低还能兼顾同样的能量使得方阻下降值基本保持不变，发挥激光se和碱抛光工艺兼容的优势。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本
技术领域：
的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。当前第1页12