一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用与流程

文档序号:23729265发布日期:2021-01-26 19:27阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种金属氧化物微纳结构的制备方法,其特征在于,包含如下步骤:(1)采用溶胶凝胶法制备得到金属氧化物前驱体溶胶凝胶;(2)向步骤(1)得到的金属氧化物前驱体溶胶凝胶中加入醇类有机改性剂,混合均匀得到改性的前驱体溶胶凝胶;(3)将步骤(2)获得的改性的前驱体溶胶凝胶涂覆在衬底上,得到金属氧化物前驱体溶胶凝胶薄膜;(4)采用飞秒激光对所述前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写,利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物,同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构。2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)将金属氧化物前驱体、溶剂以及稳定剂混合,采用溶胶凝胶法制备得到金属氧化物前驱体溶胶凝胶。3.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述金属氧化物为二氧化锡、氧化锌或二氧化钛;所述金属氧化物的前驱体为所述金属氧化物对应的氯盐、醋酸盐或醇盐;所述溶剂为乙二醇甲醚、乙醇、二甲基亚砜和二甲基甲酰胺中的一种或多种。4.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述稳定剂选自单乙醇胺、二乙醇胺和柠檬酸。5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述溶胶凝胶中金属氧化物前驱体对应的金属阳离子的浓度为0.5-1mol/l。6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述醇类有机改性剂为甘油和/或聚乙二醇;所述醇类有机改性剂的体积与所述改性的前驱体溶胶凝胶的体积比为(1~30):100,优选为(3~20):100,进一步优选为(6.7~15):100。7.如权利要求1至6任一项所述的制备方法制备得到的金属氧化物微纳结构。8.如权利要求7所述的金属氧化物微纳结构的应用,其特征在于,用于制备微纳紫外光电探测器。9.如权利要求8所述的应用,其特征在于,在所述金属氧化物微纳结构表面旋涂光刻胶,按照金属电极掩膜图形在所述光刻胶表面形成金属电极图案,根据该图案淀积金属电极,将光刻胶清洗除去,得到微纳紫外光电探测器。10.一种微纳紫外光电探测器,其特征在于,包含如权利要求7所述的金属氧化物微纳结构,还包括位于该微纳结构表面的金属电极。
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