用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置的制作方法

本实用新型涉及半导体器件的破坏性物理分析，具体而言是用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置。

背景技术：

陶瓷腔体玻璃盖板结构器件是一种将半导体芯片粘接在陶瓷腔体空腔底部，然后在陶瓷腔体上粘接一块玻璃盖板的密封器件，此种封装结构器件多为光电半导体器件，广泛应用于生产和生活。军工、航空以及航天等领域对陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的装配要求高可靠性和高安全性，因此，使用前必须对其进行破坏性物理分析。器件开封作为破坏性物理分析中不可或缺的一道关键工序，它将直接影响后续试验的开展，特别是影响对陶瓷腔体玻璃盖板结构器件可靠性的分析评价。器件开封需要在不破坏其基本结构尤其是器件内部结构的前提下，将玻璃盖板去掉。目前，常用机械开封和化学开封两种方法对陶瓷腔体玻璃盖板结构器件进行开封。前者用机械方式让玻璃盖板与陶瓷腔体剥离，难免使玻璃盖板破碎，而碎片容易掉入陶瓷腔体，往往对器件内部结构造成破坏；后者采用氢氟酸将玻璃盖板腐蚀掉，虽然不大可能因玻璃碎片导致器件毁损，但恰到好处的把控不易，氢氟酸若流入陶瓷腔体后会腐蚀破坏半导体芯片，同时近距离使用氢氟酸还存在一定危险性。

针对现有技术的上述不足，本实用新型提出了一种结构简单、操作方便、控制精准、安全可靠的用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置。采用本实用新型，既能保证开封质量，又能提高工作效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、控制精准、安全可靠的用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，包括底座和垂直固定在底座上的支架，其特征是还包括直线模组、连杆、拉力传感器、磁铁块、转接组件、操作台和溶剂盒，直线模组包括导轨、滑块、丝杆和电机，导轨固定在支架上，滑块由电机通过丝杆驱动沿导轨移动或停止，滑块通过连杆与拉力传感器的上端连接，拉力传感器的下端面为信号感知端，转接组件包括基板和转接头，一个以上的转接头固定在基板的下端面上，磁铁块的上、下端面分别与拉力传感器的下端面和基板的上端面连接，转接头的下端面为待开封器件工位，溶剂盒位于转接组件的正下方，溶剂盒的垂直投影形状与基板相应，操作台包括可编程控制器、显示屏和警报器，拉力传感器的信号输出端与可编程控制器的信号输入端连接，可编程控制器的信号输出端分别与警报器和电机的控制信号输入端连接。

进一步地，所述底座为u形结构。

进一步地，所述转接头为圆柱状结构，两个转接头在基板上沿x方向布置，两个转接头的中轴线之间的距离大于或等于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件x方向的最大尺寸。

进一步地，所述警报器为声光报警单元，所述显示屏为触摸屏。

本实用新型采用直线模组结构并使之垂直于底座，将待开封器件倒置固定于转接头的下端面，由可编程控制器根据拉力传感器的信号控制电机，精准掌控待开封器件的垂直下降位移，从而有效保证玻璃盖板完全被氢氟酸浸没而待开封器件的其余部分不接触氢氟酸。

本实用新型的转接组件可以是单转接头，也可以是多转接头，根据需要灵活选择。

本实用新型结构简单、操作方便、控制精准、安全可靠。

采用本实用新型，既能保证开封质量，又能提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的转接组件结构示意图；

图3为本实用新型的转接组件与磁铁块和待开封器件连接状态示意图；

图4为本实用新型的直线模组结构示意图；

图5为本实用新型的工作状态示意图；

图6为本实用新型的工作完成状态示意图。

图中，1-底座；2-支架；3-直线模组；3.1-导轨；3.2-滑块；3.3-丝杆；3.4-电机；4-连杆；5-拉力传感器；6-磁铁块；7-转接组件；7.1-基板；7.2-转接头；8-操作台；8.1-可编程控制器；8.2-显示屏；8.3-警报器；9-溶剂盒；10-待开封器件；10.1-玻璃盖板；10.2-陶瓷腔体；10.3-引脚。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步的说明，但该实施例不应理解为对本实用新型的限制。

如图所示的一种用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，包括底座1和垂直固定在底座1上的支架2，还包括直线模组3、连杆4、拉力传感器5、磁铁块6、转接组件7、操作台8和溶剂盒9，直线模组3包括导轨3.1、滑块3.2、丝杆3.3和电机3.4，导轨3.1固定在支架2上，滑块3.2由电机3.4通过丝杆3.3驱动沿导轨3.1移动或停止，滑块3.2通过连杆4与拉力传感器5的上端连接，拉力传感器5的下端面为信号感知端，转接组件7包括基板7.1和转接头7.2，一个以上的转接头7.2固定在基板7.1的下端面上，磁铁块6的上、下端面分别与拉力传感器5的下端面和基板7.1的上端面连接，转接头7.2的下端面为待开封器件工位，溶剂盒9位于转接组件7的正下方，溶剂盒9的垂直投影形状与基板7.1相应，操作台8包括可编程控制器8.1、显示屏8.2和警报器8.3，拉力传感器5的信号输出端与可编程控制器8.1的信号输入端连接，可编程控制器8.1的信号输出端分别与警报器8.3和电机3.4的控制信号输入端连接。

优选的实施例是：在上述方案中，所述底座1为u形结构。

优选的实施例是：在上述方案中，所述转接头7.2为圆柱状结构，两个转接头7.2在基板7.1上沿x方向布置，两个转接头7.2的中轴线之间的距离大于或等于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件x方向的最大尺寸。

优选的实施例是：在上述方案中，所述警报器8.3为声光报警单元，所述显示屏8.2为触摸屏。

本说明书中未作详细描述的内容，属于本领域技术人员公知的现有技术。

技术特征：

1.一种用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，包括底座(1)和垂直固定在底座(1)上的支架(2)，其特征在于：还包括直线模组(3)、连杆(4)、拉力传感器(5)、磁铁块(6)、转接组件(7)、操作台(8)和溶剂盒(9)，直线模组(3)包括导轨(3.1)、滑块(3.2)、丝杆(3.3)和电机(3.4)，导轨(3.1)固定在支架(2)上，滑块(3.2)由电机(3.4)通过丝杆(3.3)驱动沿导轨(3.1)移动或停止，滑块(3.2)通过连杆(4)与拉力传感器(5)的上端连接，拉力传感器(5)的下端面为信号感知端，转接组件(7)包括基板(7.1)和转接头(7.2)，一个以上的转接头(7.2)固定在基板(7.1)的下端面上，磁铁块(6)的上、下端面分别与拉力传感器(5)的下端面和基板(7.1)的上端面连接，转接头(7.2)的下端面为待开封器件工位，溶剂盒(9)位于转接组件(7)的正下方，溶剂盒(9)的垂直投影形状与基板(7.1)相应，操作台(8)包括可编程控制器(8.1)、显示屏(8.2)和警报器(8.3)，拉力传感器(5)的信号输出端与可编程控制器(8.1)的信号输入端连接，可编程控制器(8.1)的信号输出端分别与警报器(8.3)和电机(3.4)的控制信号输入端连接。

2.根据权利要求1所述的用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，其特征在于：所述底座(1)为u形结构。

3.根据权利要求1或2所述的用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，其特征在于：所述转接头(7.2)为圆柱状结构，两个转接头(7.2)在基板(7.1)上沿x方向布置，两个转接头(7.2)的中轴线之间的距离大于或等于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件x方向的最大尺寸。

4.根据权利要求1或2所述的用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，其特征在于：所述警报器(8.3)为声光报警单元，所述显示屏(8.2)为触摸屏。

5.根据权利要求3所述的用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，其特征在于：所述警报器(8.3)为声光报警单元，所述显示屏(8.2)为触摸屏。

技术总结
本实用新型涉及用于陶瓷腔体玻璃盖板结构器件的开封装置，包括底座、支架、直线模组、连杆、拉力传感器、磁铁块、转接组件、操作台和溶剂盒，直线模组包括导轨、滑块、丝杆和电机，导轨固定在支架上，滑块与丝杆配合沿导轨移动，滑块经连杆与拉力传感器上端连接，转接组件包括基板和转接头，磁铁块的上、下端面分别与拉力传感器下端面和基板上端面连接，转接头下端面为待开封器件工位，溶剂盒位于转接组件的正下方，操作台包括可编程控制器、显示屏和警报器，拉力传感器的信号输出端与可编程控制器的信号输入端连接，可编程控制器的信号输出端分别与警报器和电机的控制信号输入端连接。本实用新型结构简单、操作方便、控制精准、安全可靠。

技术研发人员：田健;李先亚;张勇;赵飞宇;王瑞崧;袁云华;马清桃;王伯淳;陆洋;杨帆
受保护的技术使用者：湖北航天技术研究院计量测试技术研究所
技术研发日：2020.09.18
技术公布日：2021.01.12