技术特征：
1.一种衬底处理方法，使形成有图案的衬底干燥，所述衬底处理方法包含以下步骤：固化膜形成液供给步骤，向衬底供给包含升华性物质与溶剂的固化膜形成液；整面涂布步骤，使所述衬底旋转，将所述固化膜形成液摊涂到所述衬底的整个上表面，由此形成所述固化膜形成液的液膜；固化膜形成步骤，使所述溶剂从所述固化膜形成液的所述液膜蒸发，从而使所述升华性物质从所述固化膜形成液的所述液膜析出，由此在所述衬底的整个上表面形成包含所述升华性物质的固化膜；及升华步骤，使所述固化膜升华，将所述固化膜从所述衬底去除；且所述整面涂布步骤基于所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度、目标固化膜厚及固化膜形成转数的关系性，使所述衬底以所述固化膜形成转数旋转，所述目标固化膜厚是通过使所述升华性物质从所述固化膜形成液的所述液膜析出而形成在所述衬底的整个上表面的所述固化膜的膜厚，且是所希望的膜厚，固化膜形成转数是在所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度为指定浓度的情况下，用来形成所述目标固化膜厚的固化膜的所述衬底的转数。2.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中所述关系性是所述浓度、所述目标固化膜厚及所述固化膜形成转数的相关关系，所述相关关系通过近似式来表示，所述近似式表示所述目标固化膜厚面对所述浓度与所述固化膜形成转数中任一者的变化而发生的变化，所述固化膜形成转数基于所述近似式而决定。3.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中在所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度由所述指定浓度发生了变动的情况下，基于所述关系性，对应于所述浓度的变动而决定所述固化膜形成转数。4.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中所述整面涂布步骤在使所述衬底以所述固化膜形成转数旋转之前，先使所述衬底以低于所述固化膜形成转数的转数旋转，用来使所述固化膜形成液遍布于所述衬底的整个上表面。5.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中在所述固化膜形成液供给步骤之前，测定所述固化膜形成液的所述浓度。6.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中所述固化膜形成液供给步骤中，在所述衬底的上表面测定所述固化膜形成液的所述浓度。7.一种衬底处理方法，使形成有图案的衬底干燥，所述衬底处理方法包含以下步骤：固化膜形成液供给步骤，向衬底供给包含升华性物质与溶剂的固化膜形成液；整面涂布步骤，使所述衬底旋转，将所述固化膜形成液摊涂到所述衬底的整个上表面，由此形成所述固化膜形成液的液膜；固化膜形成步骤，使所述溶剂从所述固化膜形成液的所述液膜蒸发，从而使所述升华性物质从所述固化膜形成液的所述液膜析出，由此在所述衬底的整个上表面形成包含所述升华性物质的固化膜；及升华步骤，使所述固化膜升华，将所述固化膜从所述衬底去除；且
所述整面涂布步骤基于所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度、目标液膜厚及液膜形成转数的关系性，使所述衬底以所述液膜形成转数旋转，所述目标液膜厚是所述固化膜形成液的所述液膜的膜厚，且是所希望的膜厚，所述液膜形成转数是在所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度为指定浓度的情况下，用来形成所述目标液膜厚的液膜的所述衬底的转数。8.根据权利要求7所述的衬底处理方法，其中所述关系性是所述浓度、所述目标液膜厚及所述液膜形成转数的相关关系，所述相关关系通过近似式来表示，所述近似式表示所述目标液膜厚面对所述浓度与所述液膜形成转数中任一者的变化而发生的变化，所述液膜形成转数基于所述近似式而决定。9.根据权利要求7所述的衬底处理方法，其中在所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度由所述指定浓度发生了变动的情况下，基于所述关系性，对应于所述浓度的变动而决定所述液膜形成转数。10.根据权利要求7所述的衬底处理方法，其中所述整面涂布步骤在使所述衬底以所述液膜形成转数旋转之前，先使所述衬底以低于所述液膜形成转数的转数旋转，用来使所述固化膜形成液遍布于所述衬底的整个上表面。11.根据权利要求7所述的衬底处理方法，其中在所述固化膜形成液供给步骤之前，测定所述固化膜形成液的所述浓度。12.根据权利要求7所述的衬底处理方法，其中所述固化膜形成液供给步骤中，在所述衬底的上表面测定所述固化膜形成液的所述浓度。13.一种衬底处理装置，具备：旋转保持部，将形成有图案的衬底以水平姿势保持，使所述衬底在水平面内旋转；及固化膜形成液供给部，向保持在所述旋转保持部的所述衬底的上表面供给包含升华性物质与溶剂的固化膜形成液；且对于从所述固化膜形成液供给部供给到所述衬底的上表面的所述固化膜形成液，使所述旋转保持部旋转来使所述衬底旋转，由此将所述固化膜形成液摊涂到所述衬底的整个上表面，形成所述固化膜形成液的液膜，使所述溶剂从所述固化膜形成液的所述液膜蒸发，从而使所述升华性物质从所述固化膜形成液的所述液膜析出，在所述衬底的整个上表面形成包含所述升华性物质的固化膜，使所述固化膜升华而将所述固化膜从所述衬底去除，使所述衬底干燥，所述衬底处理装置包含以下要素：存储部，预先存储所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度、目标固化膜厚及固化膜形成转数的关系性，所述目标固化膜厚是通过使所述升华性物质从所述固化膜形成液的所述液膜析出而形成在所述衬底的整个上表面的所述固化膜的膜厚，且是所希望的膜厚，所述固化膜形成转数是在所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度为指定浓度的情况下，用来形成所述目标固化膜厚的固化膜的所述衬底的转数；及控制部，基于所述存储部中存储的所述关系性，以使所述衬底按所述固化膜形成转数旋转的方式控制所述旋转保持部。
14.根据权利要求13所述的衬底处理装置，其中由所述存储部存储的所述关系性是所述浓度、所述目标固化膜厚及所述固化膜形成转数的相关关系，所述相关关系是通过近似式来表示的相关关系，所述近似式表示所述目标固化膜厚面对所述浓度与所述固化膜形成转数中任一者的变化而发生的变化，所述控制部从所述存储部读出所述浓度、所述目标固化膜厚及所述固化膜形成转数的所述相关关系，基于所述相关关系来决定所述固化膜形成转数。15.根据权利要求13所述的衬底处理装置，其中所述控制部在以使所述衬底按所述固化膜形成转数旋转的方式控制所述旋转保持部之前，先以使所述衬底按低于所述固化膜形成转数的转数旋转的方式控制所述旋转保持部，用来使所述固化膜形成液遍布于所述衬底的整个上表面。16.根据权利要求13所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理装置还具备浓度检测部，该浓度检测部检测所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度，所述控制部在根据所述浓度检测部的检测结果，发现所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度由所述指定浓度发生了变动的情况下，基于所述存储部中存储的所述关系性，对应于所述浓度的变动而决定所述固化膜形成转数。17.根据权利要求16所述的衬底处理装置，其中所述浓度检测部检测存在于所述固化膜形成液供给部的所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度。18.根据权利要求16所述的衬底处理装置，其中所述浓度检测部检测供给到被保持在所述旋转保持部的所述衬底的上表面的所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度。19.根据权利要求17所述的衬底处理装置，其中所述浓度检测部检测供给到被保持在所述旋转保持部的所述衬底的上表面的所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度。20.根据权利要求13所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理装置还具备蒸发促进部，该蒸发促进部促进所述溶剂从所述固化膜形成液的所述液膜蒸发，所述控制部以所述溶剂从所述液膜蒸发能被促进的方式，控制所述蒸发促进部。21.根据权利要求13所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理装置还具备升华促进部，该升华促进部促进所述固化膜从所述衬底升华，所述控制部以所述固化膜从所述衬底升华能被促进的方式，控制所述升华促进部。22.一种衬底处理装置，具备：旋转保持部，将形成有图案的衬底以水平姿势保持，使所述衬底在水平面内旋转；及固化膜形成液供给部，向保持在所述旋转保持部的所述衬底的上表面供给包含升华性物质与溶剂的固化膜形成液；且对于从所述固化膜形成液供给部供给到所述衬底的上表面的所述固化膜形成液，使所
述旋转保持部旋转来使所述衬底旋转，由此将所述固化膜形成液摊涂到所述衬底的整个上表面，形成所述固化膜形成液的液膜，使所述溶剂从所述固化膜形成液的所述液膜蒸发，从而使所述升华性物质从所述固化膜形成液的所述液膜析出，在所述衬底的整个上表面形成包含所述升华性物质的固化膜，使所述固化膜升华而将所述固化膜从所述衬底去除，使所述衬底干燥，所述衬底处理装置包含以下要素：存储部，预先存储所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度、目标液膜厚及液膜形成转数的关系性，所述目标液膜厚是形成在所述衬底的上表面的所述固化膜形成液的所述液膜的膜厚，且是所希望的膜厚，所述液膜形成转数是在所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度为指定浓度的情况下，用来形成所述目标液膜厚的液膜的所述衬底的转数；及控制部，基于所述存储部中存储的所述关系性，以使所述衬底按所述液膜形成转数旋转的方式控制所述旋转保持部。23.根据权利要求22所述的衬底处理装置，其中由所述存储部存储的所述关系性是所述浓度、所述目标液膜厚及所述液膜形成转数的相关关系，所述相关关系是通过近似式来表示的相关关系，所述近似式表示所述目标液膜厚面对所述浓度与所述液膜形成转数中任一者的变化而发生的变化，所述控制部从所述存储部读出所述浓度、所述目标液膜厚及所述液膜形成转数的所述相关关系，基于所述相关关系来决定所述液膜形成转数。24.根据权利要求22所述的衬底处理装置，其中所述控制部在以使所述衬底按所述液膜形成转数旋转的方式控制所述旋转保持部之前，先以使所述衬底按低于所述液膜形成转数的转数旋转的方式控制所述旋转保持部，用来使所述固化膜形成液遍布于所述衬底的整个上表面。25.根据权利要求22所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理装置还具备浓度检测部，该浓度检测部检测所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度，所述控制部在根据所述浓度检测部的检测结果，发现所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度由所述指定浓度发生了变动的情况下，基于所述存储部中存储的所述关系性，对应于所述浓度的变动而决定所述液膜形成转数。26.根据权利要求25所述的衬底处理装置，其中所述浓度检测部检测存在于所述固化膜形成液供给部的所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度。27.根据权利要求25所述的衬底处理装置，其中所述浓度检测部检测供给到被保持在所述旋转保持部的所述衬底的上表面的所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度。28.根据权利要求26所述的衬底处理装置，其中所述浓度检测部检测供给到被保持在所述旋转保持部的所述衬底的上表面的所述固化膜形成液中的所述升华性物质的浓度。
29.根据权利要求22所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理装置还具备蒸发促进部，该蒸发促进部促进所述溶剂从所述固化膜形成液的所述液膜蒸发，所述控制部以所述溶剂从所述液膜蒸发能被促进的方式，控制所述蒸发促进部。30.根据权利要求22所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理装置还具备升华促进部，该升华促进部促进所述固化膜从所述衬底升华，且所述控制部以所述固化膜从所述衬底升华能被促进的方式，控制所述升华促进部。
技术总结
本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。本发明是一种使形成有图案的衬底干燥的衬底处理方法，所述衬底处理方法包含以下步骤。也就是包含固化膜形成液供给步骤、整面涂布步骤、固化膜形成步骤及升华步骤，所述整面涂布步骤基于升华性物质的浓度、目标固化膜厚及固化膜形成转数的关系性，使所述衬底以所述固化膜形成转数旋转，所述目标固化膜厚是固化膜的膜厚，且是所希望的膜厚，所述固化膜形成转数是在所述升华性物质的浓度为指定浓度的情况下，用来形成目标固化膜厚的固化膜的所述衬底的转数。衬底的转数。衬底的转数。
技术研发人员：佐佐木悠太 塙洋祐 国枝省吾
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2022.09.15
技术公布日：2023/3/30