技术特征：
1.一种脱胶架，用于分离硅片垛与粘胶板以及晶托形成的粘连体，其特征在于，所述脱胶架包括框架本体和承载组件；所述框架本体包括容纳所述粘连体的容纳空间，所述容纳空间具有取放所述粘连体的开口；所述承载组件与所述框架本体活动连接，所述承载组件具有承载所述粘连体的水平承载面；在所述硅片垛与所述粘胶板分离前后，所述水平承载面与所述硅片垛保持接触状态。2.根据权利要求1所述的脱胶架，其特征在于，在所述容纳空间未放置所述粘连体的情况下，所述承载组件位于第一位置；在所述容纳空间放置所述粘连体的情况下，所述承载组件位于第二位置；在所述硅片垛与所述粘胶板在所述容纳空间内分离的情况下，所述承载组件位于第三位置；其中，沿垂直于所述水平承载面的方向，所述第一位置、所述第二位置和所述第三位置依次远离所述开口。3.根据权利要求2所述的脱胶架，其特征在于，所述脱胶架还包括支撑组件；所述支撑组件包括固定件和运动件，所述固定件具有沿垂直于所述水平承载面的方向延伸的滑动槽，所述运动件嵌于所述滑动槽内；所述固定件与所述框架本体固定连接，所述承载组件与所述运动件固定连接，所述运动件相对所述固定件沿垂直于所述水平承载面的方向运动；所述支撑组件支撑所述承载组件分别位于所述第一位置、所述第二位置和所述第三位置。4.根据权利要求3所述的脱胶架，其特征在于，所述运动件为弹性件。5.根据权利要求4所述的脱胶架，其特征在于，所述支撑组件还包括柱塞；所述弹性件与所述柱塞抵接，且所述弹性件的形变方向与所述柱塞的轴线平行；所述柱塞设置有与轴线垂直的安装孔，所述承载组件的两端设置有连接轴，所述连接轴嵌于所述安装孔内以将所述承载组件与所述柱塞连接。6.根据权利要求3所述的脱胶架，其特征在于，所述固定件为第一磁性件，所述运动件为第二磁性件；所述第一磁性件与所述第二磁性件的同性磁极相对。7.根据权利要求1所述的脱胶架，其特征在于，所述承载组件的表面包覆有柔性缓冲介质。8.根据权利要求3所述的脱胶架，其特征在于，所述框架本体包括第一端板、第二端板和连接组件；所述第一端板和所述第二端板平行相对设置，所述连接组件的一端与所述第一端板固定连接，另一端与所述第二端板固定连接形成所述容纳空间。9.根据权利要求8所述的脱胶架，其特征在于，所述第一端板和所述第二端板远离所述容纳空间开口的一端均开设有安装槽；所述固定件开设有插接缝，所述插接缝的宽度与所述第一端板、所述第二端板的厚度相同；每个所述安装槽嵌设有所述固定件，所述第一端板、所述第二端板分别与对应的所述
插接缝卡接配合。10.一种脱胶机，其特征在于，所述脱胶机包括权利要求1至9任一项所述的脱胶架。
技术总结
本实用新型实施例提供了一种脱胶架及脱胶机，用于分离硅片垛与粘胶板以及晶托形成的粘连体，所述脱胶架包括框架本体和承载组件；所述框架本体包括容纳所述粘连体的容纳空间，所述容纳空间具有取放所述粘连体的开口；所述承载组件与所述框架本体活动连接，所述承载组件具有承载所述粘连体的水平承载面；在所述硅片垛与所述粘胶板分离前后，所述水平承载面与所述硅片垛保持接触状态。这种脱胶架使用时，无论硅片尺寸大小如何，粘连体下方的承载组件均可以与硅片垛始终保持接触状态，对硅片垛起到承接作用，无需根据硅片尺寸大小人为手动调节承载组件的位置，这种脱胶架具有良好的自适应性能，有助于提升脱胶效率。有助于提升脱胶效率。有助于提升脱胶效率。
技术研发人员：马小龙 张璞 郭春阳 杨波 李小军 张亮 杨文斌 李小强
受保护的技术使用者：银川隆基硅材料有限公司
技术研发日：2022.04.08
技术公布日：2022/12/1