一种半导体封装件及其生产方法与流程

文档序号:35865597发布日期:2023-10-26 23:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体封装件,其特征在于,所述半导体封装件包括半导体芯片、铜箔和电路基板,所述半导体芯片和电路基板的至少部分表面上设有镀层,所述半导体芯片的镀层中含过渡金属,所述电路基板的镀层中含有金属和/或金属氧化物;

2.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,所述电路基板选自衬底、有源器件或无缘器件。

3.一种半导体封装件的生产方法,其特征在于,所述生产方法包括:

4.如权利要求3所述的生产方法,其特征在于,步骤s1中,所述溶剂包括多元醇、聚乙二醇、松油醇、多元醇醚、多元醇胺和酰胺的至少一种。

5. 如权利要求3所述的生产方法,其特征在于,步骤s1所述溶液中,助剂的浓度为1-100 mg/ml。

6.如权利要求3所述的生产方法,其特征在于,步骤s1所述溶液中,还含有还原剂;

7.如权利要求6所述的生产方法,其特征在于,步骤s1中,所述还原剂包括抗坏血酸、抗坏血酸盐、柠檬酸、柠檬酸盐、次亚磷酸、次亚磷酸盐和葡萄糖的至少一种;

8.如权利要求3所述的生产方法,其特征在于,步骤s2中,所述铜箔的厚度为10-1000μm;

9.如权利要求3所述的生产方法,其特征在于,步骤s3中,所述保护气体包括氮气、氩气、氦气和氖气中的至少一种。

10.如权利要求3所述的生产方法,其特征在于,步骤s3中,所述保温的温度为180-320℃,保压的压力1-20mpa,保温保压处理的时长为1-60min。


技术总结
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种半导体封装件及其生产方法。该半导体封装件包括半导体芯片、铜箔和电路基板,半导体芯片和电路基板的至少部分表面上设有镀层;半导体芯片的镀层中含过渡金属,电路基板的镀层中含金属和/或金属氧化物;铜箔通过铜与半导体芯片的镀层中包含的过渡金属形成金属键,进而与半导体芯片键合;铜箔通过铜与电路基板的镀层中包含的金属和/或金属氧化物形成金属键,进而与电路基板键合。本发明中,铜与半导体芯片及电路基板上的镀层中包含的金属和/或金属氧化物形成金属键,进而实现铜箔与半导体芯片及电路基板之间的键合,铜箔与半导体芯片及电路基板之间的结合强度高。

技术研发人员:王晓,任真伟
受保护的技术使用者:深圳平创半导体有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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