显示器件及其制备方法与流程

本技术涉及半导体器件，尤其涉及一种显示器件及其制备方法。

背景技术：

1、微型发光二极管显示器件又称micro-led，因其每一个led单元都能自发光而被广泛应用于近眼头戴式显示器和大面积自发光显示器中。相对于传统显示器件，micro-led具有高分辨率、高对比度、发光效率高和工作寿命长等优点。同时micro-led还可用于可见光通信，具有高调制带宽、高通信速率、有潜力实现双向通信和智能显示等优点。目前micro-led存在像素亮度无法调控的问题。因此，如何实现micro-led像素亮度的调控是目前亟待解决的问题。

技术实现思路

1、发明目的：本技术的目的在于提供一种显示器件，可以实现micro-led像素亮度的调控。本技术的另一目的在于提供一种显示器件的制备方法，制备得到的显示器件，可以实现micro-led像素亮度的调控。

2、本技术提供一种显示器件，包括：

3、驱动基板，所述驱动基板包括多个第一触点；

4、多个led单元，所述led单元阵列排布在所述驱动基板上，所述led单元发出第一颜色光；

5、所述led单元包括第一led子单元和至少一个环绕所述第一led子单元的第二led子单元，所述第一led子单元和所述第二led子单元与对应的所述第一触点连接且单独被驱动；

6、其中，所述第一led子单元与所述第二led子单元之间相互断开且电隔离，且相邻两个所述第二led子单元之间相互断开且电隔离。

7、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

8、波长转换层，所述波长转换层包括多个波长转换单元，多个所述波长转换单元包括多个第一波长转换单元，所述第一波长转换单元将所述第一颜色光转换为第二颜色光，所述第一波长转换单元与部分所述led单元对应设置。

9、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

10、栅格层，所述栅格层位于所述led单元远离所述驱动基板一侧，所述栅格层具有阵列排布的栅格孔，所述栅格孔相对所述led单元设置；多个所述第一波长转换单元填充至少部分所述栅格孔。

11、在一些实施方式中，所述波长转换单元还包括多个透明单元，所述透明单元透过所述第一颜色光，所述第一波长转换单元以及所述透明单元与部分所述led单元对应设置。

12、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

13、滤光层，所述滤光层包括多个第一滤光单元，所述第一滤光单元相对所述第一波长转换单元设置，所述第一滤光单元过滤其他颜色光并允许所述第二颜色光通过。

14、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

15、第一透射反射层，所述第一透射反射层至少覆盖所述第一波长转换单元；

16、所述第一透射反射层对所述第一颜色光反射并对其他颜色光透射。

17、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

18、第二透射反射层，所述第二透射反射层位于所述led单元和所述波长转换层之间，所述第二透射反射层对所述第一颜色光透射，所述第二透射反射层对其他颜色光反射。

19、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

20、反光层，所述反光层至少覆盖所述栅格孔的侧壁。

21、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

22、透镜层，所述透镜层包括多个微透镜单元，所述微透镜单元相对所述led单元设置。

23、在一些实施方式中，所述显示器件还包括：

24、反光罩，所述反光罩位于所述驱动基板上且环绕所述led单元设置，所述反光罩用于防止相邻所述led单元发出的光串扰。

25、在一些实施方式中，所述led单元为台阶结构，所述台阶结构包括第一掺杂型半导体层、第二掺杂型半导体层和位于两者之间的有源层；所述台阶结构至少使相邻的所述led单元的第一掺杂型半导体层相互断开且电隔离；

26、所述第一触点分别与对应的所述第一led子单元和所述第二led子单元的第一掺杂型半导体层电性连接。

27、相应的，本技术还提供一种显示器件的制备方法，包括：

28、提供驱动基板，所述驱动基板包括多个第一触点；

29、在所述驱动基板上形成多个led单元，所述led单元阵列排布在所述驱动基板上，所述led单元发出第一颜色光，

30、所述led单元包括第一led子单元和至少一个环绕所述第一led子单元的第二led子单元，所述第一led子单元和所述第二led子单元与对应的所述第一触点连接且单独被驱动；

31、其中，所述第一led子单元与所述第二led子单元之间相互断开且电隔离，且相邻两个所述第二led子单元之间相互断开且电隔离。

32、在一些实施方式中，形成多个led单元的步骤包括：形成多个led台阶，对所述led台阶图案化处理形成所述led单元。

33、在一些实施方式中，在形成所述led单元之后，在所述led单元远离所述驱动基板一侧形成波长转换层，所述波长转换层包括多个波长转换单元，多个所述波长转换单元包括多个第一波长转换单元，所述第一波长转换单元将所述第一颜色光转换为第二颜色光，所述第一波长转换单元与部分所述led单元对应设置。

34、在一些实施方式中，在形成所述波长转换层之前，在所述led单元远离所述驱动基板一侧形成栅格层；

35、对所述栅格层图案化处理形成阵列排布的栅格孔，所述栅格孔相对所述led单元设置；

36、多个所述第一波长转换单元填充至少部分所述栅格孔。

37、在一些实施方式中，在所述驱动基板上形成多个所述led单元包括：

38、提供衬底，所述衬底的一侧表面上具有led外延层；

39、将所述衬底具有所述led外延层的一侧与所述驱动基板通过第一导电层键合连接，并去除所述衬底；

40、对所述led外延层刻蚀以形成多个led单元。

41、本技术通过将led单元设置为第一led子单元和至少一个环绕第一led子单元的多个第二led子单元，且第一led子单元和第二led子单元与对应的第一触点连接可以单独被驱动，因此通过控制点亮的第一led子单元和第二led子单元的数量，可以实现控制像素点亮面积，进而实现对像素亮度的调控，一方面，还可以缓解注入电流的阈值范围，另一方面，还可以降低由于大电流造成的led波长红移，更进一步地，还可以调节量子点光刻胶（quantum dot photoresist，qdpr）转换效率与器件寿命之间矛盾。

42、本技术通过对led台阶图案化处理形成led单元，led单元包括第一led子单元和至少一个环绕第一led子单元的第二led子单元，且第一led子单元和第二led子单元与对应的第一触点连接可以单独被驱动，整体结构无需实现光隔离，通过控制点亮的第一led子单元和第二led子单元的数量，可以实现控制像素点亮面积，进而实现对像素亮度的调控，且制备工艺简单。