、动斜块73、定斜块74和连接件75均有三个，每个所述动斜块基座72、动斜块73、定斜块74和连接件75组成一组，三组在所述轨道部件71的上表面上以及所述基座底板53的下表面上沿圆周方向均匀布置，相互之间各为120度夹角，如图8所示，图8中示出了定斜块74在基座底板53上布置的情况。
[0035]所述轨道部件71放置在所述底座6上，优选地，在所述轨道部件上还设置有上盖63，所述轨道部件71与所述动力输入装置相连接。在所述轨道部件71上形成有阿基米德螺旋形轨道711，如图9所示。所述上盖63盖合在所述轨道711上，所述上盖63为圆形盘，相对于底座6位置固定，上盖63的外径与底座6外径相同，在其上均布有三个通槽，三个通槽呈120°分布，当锥齿轮齿圈704转动时，能够限制动斜块基座72，使其只能在该通槽内移动。所述动斜块基座72的下端与所述轨道711相连接，并能够沿着所述轨道711移动。当所述轨道部件71转动时，所述动斜块基座72能够在所述轨道部件71上的轨道711的作用下沿所述轨道部件的半径方向向内或者向外移动。在所述轨道部件71下表面的边缘处设置有所述锥齿轮齿圈704，所述锥齿轮齿圈704与所述锥齿轮703相啮合，所述锥齿轮703通过联轴器702与所述电机701相连接。所述电机701为无级变速电极，可以实现对锥齿轮703转速的无级调速。所述锥齿轮703在所述电机701的带动下转动，从而带动所述轨道部件71转动。
[0036]所述动斜块73设置在所述动斜块基座72的上方，并与所述动斜块基座72固定连接，在另外一个实施例中，所述动斜块73与所述动斜块基座72为一体结构。在所述动斜块73的上端设置有动倾斜表面731。所述连接件75固定连接在所述基座底板53的下侧表面上，优选地，所述连接件75与所述基座底板53之间通过螺栓进行连接。在所述连接件75上设置有盲孔751以及和所述盲孔751垂直设置的气孔752，所述气孔752与所述盲孔751相连通，所述气孔与所述基座底板53上的通气孔531相连通，优选地，所述连接件75以所述气孔752正对所述通气孔531的方式安装在所述基座底板53的下表面上。所述定斜块74与所述连接件75固定连接，优选地，通过螺栓进行连接。在所述定斜块74的下侧设置有定倾斜表面741，所述动倾斜表面721与定倾斜表面741相互配合。如图8所示，所述定斜块74上的定倾斜表面741与水平表面之间的夹角为B，角度B满足条件0° <B<45°。所述动倾斜表面721与竖直方向呈夹角A，角度A与角度B满足条件A+B = 90°。这样，在所述轨道部件71在所述电机701的作用下转动时，所述动斜块基座72沿所述轨道部件71的半径方向向内或者向外移动，所述动斜块73在动斜块基座72的带动下也向内或者向外移动，通过所述动倾斜表面721和定倾斜表面741之间的相互配合，所述定斜块74会在上下方向上上下移动，从而带动所述连接件75、进一步带动所述静电卡盘支撑结构5上下移动，由此可以调节所述静电卡盘4在竖直方向上的位置。由于所述三个动斜块基座72同步运动，这样可以保证所述静电卡盘4在上下移动时的水平度。
[0037]优选地，在所述连接件75和基座底板53之间通过密封圈保证气密性。
[0038]在所述底座6的下方设置有与外界相连的气体管道10，所述气体管道10由下向上穿过所述底座6的中心，通过法兰固定在所述上盖63上，在所述气体管道10的上方连接有伸缩管101，所述伸缩管101的一端与所述气体管道10的上端相连接，另外一端与三分管102的输入端相连接，所述三分管102具有三个输出端，分别连接至所述连接件75上的三个盲孔751上，优选地，通过法兰和螺栓进行连接。
[0039]所述气体管道10、伸缩管101、三分管102、连接件上的盲孔751、气孔752、基座底板上的通气孔531、间隙54、基座51上的布气孔511、间隙42和静电卡盘4上的气孔43构成本申请中的气路8。
[0040]经过气体管道10进入的气体，通过伸缩管101进入三分管102，所述伸缩管102能够满足静电卡盘支撑结构5在竖直方向运动时保证气路的连通。通过所述三分管102的气体分别进入到三个不同的连接件75中，通过连接件75上的盲孔751、气孔752进入基座底板53上的通气孔531中，然后进入所述基座51和基座底板53之间形成的间隙54中，通过基座51上的布气孔511进入静电卡盘4和基座51之间形成的间隙42中，最后通过静电卡盘4上的气孔43作用在晶片9上。气体在本装置中的流通气路如图1中箭头所示，通过向本装置中输入不同温度的气体实现对基座51、静电卡盘4以及晶片9的温度的控制，并通过控制输入气体的流量也可以对温度进行调节。
[0041]最后应说明的是:显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
【主权项】
1.一种真空腔室静电卡盘调节装置，包括静电卡盘支撑结构、底座和高度调节结构，所述静电卡盘支撑结构设置在所述静电卡盘的下侧，用于支撑所述静电卡盘，所述底座固定在所述真空腔室的下盖上，所述高度调节结构与所述底座和静电卡盘支撑结构相连接，用于调节所述静电卡盘的高度，在调节高度的同时能够保证所述静电卡盘的水平度。
2.根据权利要求1所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，还包括气路，所述气路穿过所述底座、高度调节结构、静电卡盘支撑结构和静电卡盘，在对所述静电卡盘提供气体的同时能够对位于所述静电卡盘上的晶片的温度进行调节。
3.根据权利要求1或2所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，所述静电卡盘支撑结构包括基座，基座环和基座底板，所述基座和基座底板呈圆盘状，所述基座环呈圆环状，并位于所述基座和基座底板之间；所述基座设置在所述静电卡盘的下侧，在所述静电卡盘的下端面的边缘位置设置有凸环，该凸环使得在所述静电卡盘和基座之间形成有间隙，所述基座环使得在所述基座和基座底板之间也形成有间隙。
4.根据权利要求1-3任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，在所述静电卡盘上设置有气孔，所述气孔为斜孔通孔，气孔的纵向中心线与所述静电卡盘的纵向中心线之间具有角度为D，所述角度D满足条件0° <D<90°，其中位于静电卡盘轴心处的气孔为直通孔。
5.根据权利要求1-4任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，在所述基座上均布有布气孔，所述布气孔为阶梯孔，包括大径部和小径部，所述大径部位于基座的上侧，其上端与所述间隙42相连通；所述小径部位于所述大径部的下侧，其下端与所述间隙54相连通，所述大径部优选为锥形孔，所述锥形孔具有锥形角度C，所述锥形角度C满足条件90° <C〈180° 。
6.根据权利要求1-5任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，所述高度调节结构设置在所述底座和静电卡盘支撑结构之间；所述高度调节结构包括动力输入装置、轨道部件、动斜块、定斜块和连接件；所述轨道部件设置在所述底座上，所述轨道部件与所述动力输入装置相连接，并能够在所述动力输入装置的作用下转动；在所述轨道部件上形成有螺旋形轨道；所述动斜块的下端与所述轨道相连接，并能够沿着所述轨道移动，当所述轨道部件转动时，所述动斜块能够在所述轨道部件上的轨道的作用下沿所述轨道部件的半径方向向内或者向外移动，在所述动斜块的上端设置有动倾斜表面；所述定斜块与所述连接件固定连接，所述连接件固定连接在所述基座底板的下侧表面上；在所述定斜块的下侧设置有定倾斜表面，所述动倾斜表面与定倾斜表面相互配合。
7.根据权利要求1-6任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，在所述连接件上设置有盲孔以及和所述盲孔相连通的气孔，所述气孔与所述基座底板上的通气孔相连通。
8.根据权利要求1-7任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，所述动斜块、定斜块和连接件均有三个，每个所述动斜块、定斜块和连接件组成一组，三组在所述轨道部件的上表面上沿圆周方向均匀布置。
9.根据权利要求1-8任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，所述动力输入装置包括电机、联轴器、锥齿轮和锥齿轮齿圈，在所述轨道部件下表面的边缘处设置有所述锥齿轮齿圈，所述锥齿轮与所述锥齿轮齿圈相啮合，所述锥齿轮通过联轴器与所述电机相连接。
10.根据权利要求1-9任一所述的静电卡盘调节装置，其特征在于，在所述底座的下方设置有与外界相连的气体管道，所述气体管道由下向上穿过所述底座的中心，在所述气体管道的上方连接有伸缩管，所述伸缩管的一端与所述气体管道的上端相连接，另外一端与三分管的输入端相连接，所述三分管具有三个输出端，分别连接至三个所述连接件上的盲孑L1:。
【专利摘要】本发明涉及一种真空腔室静电卡盘调节装置，包括静电卡盘支撑结构、底座和高度调节结构，所述静电卡盘支撑结构设置在所述静电卡盘的下侧，用于支撑所述静电卡盘，所述底座固定在所述真空腔室的下盖上，所述高度调节结构与所述底座和静电卡盘支撑结构相连接，用于调节所述静电卡盘的高度，在调节高度的同时能够保证所述静电卡盘的水平度。本发明中的静电卡盘调节装置能够实现静电卡盘的竖直方向运动，并能够保证在运动过程中静电卡盘的水平平衡，同时还能够实现对静电卡盘及晶片温度的调节。
【IPC分类】H01L21-67, H01L21-683
【公开号】CN104538341
【申请号】CN201410785568
【发明人】杨义勇, 刘伟峰, 季林红, 程嘉
【申请人】中国地质大学（北京）
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月17日