质量分析装置的制造方法_4

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压力回到大气压。操作者从质量分析装置100取下加入了试样4的试样容器29(步骤S15)。然后,控制电路21判断试样容器29是否被取下。并且,在判断为取下试样容器29时则结束该流程,但直到判断为取下试样容器29之前不让流程结束。在测定其它试样4的情况下,可再次从安装试样容器29的步骤(步骤SI)开始。
[0078]第二实施方式
[0079]图6A表示本发明的第二实施方式的质量分析装置100的构成图。第二实施方式的质量分析装置100与第一实施方式的质量分析装置100不同之处在于,电介质容器I和试样容器29的排列顺序相反。即,不同之处在于,试样容器29与第一实施方式同样地相对于脉冲阀8和毛细管9配置在大气(空气)的气流23和试样分子(气体)的气流28的下游侧,但相对于离子源101 (电介质容器I)配置在大气(空气)的气流23和试样分子(气体)的气流28的上游侧。
[0080]在第一实施方式中,从毛细管9导入的大气内的水分(H2O)和氧气分子(O2)由阻挡放电部10离子化而成为反应离子,该反应离子与已气化的试样4发生离子分子反应而生成试样分子离子。与之相对,在第二实施方式中,由于已气化的试样4也通过阻挡放电部10,因此可使已气化的试样4由阻挡放电部10直接离子化。因此,比第一实施方式可产生更多的试样分子离子。此外,与第一实施方式相比,第二实施方式中产生离子的阻挡放电部10的位置更接近与质量分析部102连通的节流孔5,因此可减少已产生的离子的输送损失。但是,当通过阻挡放电而使已气化的试样4直接离子化时有产生碎片(试样分子的分割)的情况,因此在易于产生碎片的情况下第一实施方式较理想。此外,由于电介质容器I还存在因已气化的试样4和试样分子离子而污染的可能性,因此,在将试样4与试样容器29 —同更换时,如图6B所示,也需要更换电介质容器I。因此,试样容器29在与电介质容器(电介质隔壁)I一体化且互相连接的状态下可一起进行装卸。
[0081]第二实施方式的变形例I
[0082]图6C表示的是本发明的第二实施方式的变形例I的质量分析装置100的一部分。在第二实施方式的变形例I中,使产生阻挡放电部10的阻挡放电电极2的一个电极兼做节流孔5。因此,不仅可简化结构,而且使节流孔5露出到电介质容器I的内部空间,即露出到阻挡放电部10,因此可通过节流孔5来接近阻挡放电部10,能减少已产生的离子的传输损失。
[0083]第二实施方式的变形例2
[0084]图6D表示的是本发明的第二实施方式的变形例2的质量分析装置100的一部分。在第二实施方式的变形例2中,将产生阻挡放电部10的阻挡放电电极2的一个电极配置在电介质容器I的内部空间中而使其露出,即配置在阻挡放电部10内而使其露出。这样,也能产生阻挡放电部10。此外,第二实施方式的变形例2不仅可在第二实施方式中使用,还能在第一实施方式和后述的第三实施方式中使用。
[0085]第二实施方式的变形例3
[0086]图6E表示的是本发明的第二实施方式的变形例3的质量分析装置100的一部分。第二实施方式的变形例3的质量分析装置100与第二实施方式的质量分析装置100的不同之处在于,在试样分子(气体)的气流28上没有产生阻挡放电部10。因此,在第二实施方式的变形例3中,设有试样离子化容器33。试样离子化容器33为筒状且在第二实施方式中配置在配置有电介质容器I的位置、即节流孔5和试样容器29之间的位置,与节流孔5和试样容器29连接。此外,在试样离子化容器33的侧壁,连接有筒状的电介质容器I。筒状的电介质容器I的中心轴的延长线和筒状的试样离子化容器33的中心轴相交、正交。在电介质容器I上,连接有毛细管9a和脉冲阀8a。
[0087]脉冲阀8a与脉冲阀8同步地开闭,可经毛细管9a和脉冲阀8a向电介质容器I内导入大气(水分、氧气分子)。导入的大气中的水分和氧气分子在电介质容器I内的阻挡放电部10中被离子化而成为反应离子。由电介质容器I内的阻挡放电部10生成的反应离子因压力差而向试样离子化容器33移动。在试样离子化容器33中,随着试样分子(气体)的气流28而从试样容器29流入的试样分子与从电介质容器I流入的反应离子进行离子分子反应,生成试样分子离子。已生成的试样分子离子成为试样分子离子的气流25,从试样离子化容器33通过节流孔5而流入真空舱17中。这样,阻挡放电部10从试样分子(气体)的气流28远离,因此已气化的试样4没有由阻挡放电部10直接离子化,与第一实施方式同样地,可通过在阻挡放电部10被离子化的大气内的水分和氧气分子的反应离子所进行的离子分子反应来生成试样分子离子。此外,第二实施方式的变形例3不仅可在第二实施方式中使用,也可在第一实施方式和后述的第三实施方式中使用。再有,毛细管9a和脉冲阀8a也可省略,以下也同样。
[0088]第二实施方式的变形例4
[0089]图6F表示的是本发明的第二实施方式的变形例4的质量分析装置100的一部分。第二实施方式的变形例4也与第二实施方式同样,将试样4配置并连接在脉冲阀8和电介质容器I之间,但在第二实施方式的变形例4中与第二实施方式不同,试样4进入玻璃瓶31内。在玻璃瓶31内的试样4上侧的顶部空间部32,试样4气化而产生该气体。顶部空间部32和脉冲阀8用毛细管9b连接。此外,顶部空间部32和电介质容器I用毛细管9c连接。毛细管9c的一端从与电介质容器I的节流孔5相对的壁面插入到内部空间中,达到比阻挡放电部10更靠节流孔5侧。毛细管9c呈圆筒形状,其中心轴与圆筒状的电介质容器I的中心轴一致,且将节流孔5设置在该毛细管9c的中心轴的延长线上。再有,毛细管9c被屏蔽并接地,以使从阻挡放电电极2放射的高频不透过内部。
[0090]通过顶部空间法,在脉冲阀8打开时,则产生大气的气流23,大气经由毛细管9、脉冲阀8、毛细管9b而流入顶部空间部32,随着试样4气化了的气体而从毛细管9c流出而产生气体(试样分子)的气流28。通过使试样4气化了的气体通过毛细管9c而不会直接暴露于阻挡放电部10,且不会自己放电而离子化,而从毛细管9c的一端流出到节流孔5的跟前的电介质容器I内。在第二实施方式的变形例3中,在试样分子(气体)的气流28上,也不会产生阻挡放电部10,试样分子(气体)也不会暴露于阻挡放电部10。
[0091]在与电介质容器I的节流孔5相对的壁面及其附近的壁面(不与阻挡放电部10相对的壁面)上,连接有毛细管9a和脉冲阀8a。脉冲阀8a与脉冲阀8同步地开闭,可经毛细管9a和脉冲阀8a而将大气(水分、氧气分子)导入电介质容器I内。被导入的大气中的水分和氧气分子在电介质容器I内的阻挡放电部10中被离子化而成为反应离子。在电介质容器I内的阻挡放电部10生成的反应离子由于压力差而向毛细管9c的一端的周边移动,再移动到节流孔5跟前的电介质容器I内。而且,在节流孔5跟前的电介质容器I内,随着试样分子(气体)的气流28而从毛细管9c流入的气体(试样分子)与反应离子进行离子分子反应而生成试样分子离子。已生成的试样分子离子成为试样分子离子的气流25,从电介质容器I通过节流孔5流入真空舱17中。
[0092]这样,在第二实施方式的变形例4中,因脉冲阀8的开闭动作而通过毛细管9、9b流入玻璃瓶31内的顶部空间部32的大气将已气化的试样4推出到顶部空间部32中,通过毛细管9c而导入阻挡放电部10的下游。已气化的试样4没有直接在阻挡放电部10离子化,与第一实施方式同样地,可通过在阻挡放电部10离子化的大气内的水分和氧气分子的反应离子所进行的离子分子反应来生成试样分子离子。此外,在试样4是液体且包含很多杂质的情况等下,根据该顶部空间法,可减少杂质的影响。
[0093]第二实施方式的变形例5
[0094]图6G表不的是本发明的第二实施方式的变形例5的质量分析装置100的一部分。第二实施方式的变形例5的质量分析装置100与第二实施方式的变形例3的质量分析装置100的不同之处在于,试样4进入玻璃瓶31内。使用该玻璃瓶31的顶部空间法虽与第二实施方式的变形例4相同,但不同点在于,在变形例4中毛细管9c与电介质容器I连接,而在变形例5中毛细管9c与试样离子化容器33连接。在试样离子化容器33内,没有发生阻挡放电部10,因此,即使试样分子(气体)的气流28流入试样离子化容器33内,试样分子(气体)的气流28也不会冲入阻挡放电部10。此外,由于在试样离子化容器33内不产生阻挡放电部10,因此试样离子化容器33内的毛细管9c的端部的位置基本上可以是试样离子化容器33的中心轴上的任一处,但为了提高离子分子反应的效率,离节流孔5比电介质容器I的连接位置更远的位置较理想。
[0095]即使根据第二实施方式的变形例5,由于阻挡放电部10远离试样分子(气体)的气流28,因此已气化的试样4没有直接在阻挡放电部10离子化,与第一实施方式同样,能够通过在阻挡放电部10离子化的大气内的水分和氧气分子的反应离子所进行的离子分子反应来生成试样分子离子。
[0096]第二实施方式的变形例6
[0097]图6H表示的是本发明的第二实施方式的变形例6的质量分析装置100的一部分。第二实施方式的变形例6的质量分析装置100与第二实施方式的变形例5的质量分析装置100的不同之处在于,使用将代替毛细管9b、9c的细管35埋入而一体化的盖34来将脉冲阀8、玻璃瓶31和试样离子化容器33连接。因而,与用毛细管9b、9c连接的情况相比,玻璃瓶31的更换变得容易。此外,盖34的细管35在玻璃瓶31侧的端部设有仅使气体通过的多孔过滤器36,以防止液体和粉末(固体物)进入盖34的细管35。
[0098]第三实施方式
[0099]图7A表示的是本发明的第三实施方式的质量分析装置100的构成图。第三
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