度移动(图25的时刻t24?t25的期间)。因此，中央机械手CR经过比较长的时间来在清洗处理单元SS与反转单元RT1、基板载置部PASSl之间进行往复移动。
[0246]如上所述，就中央机械手CR在转接部50 (反转单元RT1、基板载置部PASS以及反转交接单元RT2)和清洗处理单元SS之间进行往复移动所需的时间而言，第二任务的时间大于第一任务的时间。
[0247]在假设中央机械手CR在转接部50和清洗处理单元SS之间进行往复移动所需的时间恒定的情况下，每个清洗处理单元SS的等待搬出时间的长度不会不同。但是，若中央机械手CR在转接部50和清洗处理单元SS之间进行往复移动所需的时间变长，则越是在后面搬出基板的清洗处理单元SS，等待搬出时间的长度变得越长。
[0248]例如，在第一个清洗处理单元SSl中的等待搬出时间为，从图24的时刻tlO至时刻til为止的期间，但是在第二个清洗处理单元SS2中的等待搬出时间为，从时刻tl2至时刻tl4为止的期间，在第三个清洗处理单元SS3中的等待搬出时间为，从时刻tl4到时刻tl7为止的期间，在第四个清洗处理单元SS4中的等待搬出时间为，从时刻tl6至时刻t20为止的期间，越是在后面搬出基板的清洗单元SS，等待搬出时间变得越长。
[0249]这样的等待搬出时间的延长与并行单元数的数量成比例。因此，越是后面搬出基板的清洗处理单元SS，其基板W暴露在单元内的雾中的时间更长，从而可能使基板W的清洗品质下降。
[0250]因此，在该第三实施方式中，在执行前一任务的最终搬运周期之前，预测在并行地执行前一任务的最终搬运周期和下一任务的第一搬运周期的情况下的前一任务的基板的等待搬出时间。然后，在预测为前一任务的基板的等待搬出时间超过规定的允许时间的情况下，变更前一任务的最终回收周期的内容。具体地说，减小与前一任务的最终回收周期同时执行的下一任务的第一搬运周期中的并行单元数。
[0251]图26是用于说明第三实施方式的基板处理的流程的流程图。步骤STl?ST9，与上述第二实施方式的处理的流程相同，因此省略说明。在第三实施方式中，管理表功能部71与通过处理执行部72进行基板处理(步骤ST10)并行地，监视新的任务的追加(步骤ST11)。然后，当追加新的任务时，转移至步骤ST12。在步骤ST12中，通过执行上述步骤ST2?ST9的工序，暂时确定用于执行下一任务的管理表数据SD0在图24的例子中，将并行处理单元数设定为“4”，来制作用于所追加的任务(第二任务)的基板处理管理表。
[0252]接着，管理表功能部71制作在并行地执行在执行中的任务(第一任务)的最终搬运周期搬运的基板的最终回收周期、和下一任务(第二任务)的第一搬运周期的情况下的管理表数据SD (步骤ST13)。由此，制作图24的时刻tlO?时刻t22的基板搬运管理表。在该期间内，与向基板载置部PASSl回收第一任务用的基板Wl?W4并行地，向清洗处理单元SSl?SS4依次供给第二任务用的第一搬运周期的基板W5?W8。
[0253]接着，管理表功能部71参照在步骤ST12中制作的管理表数据SD，判断在时刻tlO?时刻t22的期间是否产生等待搬出时间超过允许时间的清洗处理单元SS(步骤ST14) ο在不存在等待搬出时间超过允许时间的清洗处理单元SS的情况下，步骤ST14为“否”，转移至步骤ST10，根据在步骤ST12以及步骤ST13中制作的管理表数据SD，同时执行第一任务的最终回收周期和第二任务的第一搬运周期。
[0254]另一方面，步骤ST14中判断为“是”的情况下，减少第二任务的第一搬运周期中的并行处理单元数，来变更第一任务的最终回收周期(步骤ST15)。例如，如图27所示，第二任务的第一搬运周期(时刻tlO?时刻t20)的并行处理单元数从“4”变为“2”。由此，变更第一任务的最终回收周期的基板处理。
[0255]具体地说，根据图24所示的原来的基板处理管理表，在向基板载置部PASSl搬运(时刻tl5)第一任务的基板W2之后，从反转单元RTl搬运第二任务的第一搬运周期的第三张基板W7(时刻tl6)。相对于此，在图27所示的基板处理管理表中，以如下方式变更管理表，g卩，在向基板载置部PASSl搬运(时刻tl5)第一任务的基板W2之后，取代开始搬运第二任务的基板W7，而从清洗处理单元SS3回收第一任务的最终回收周期的第三张基板W3(图27的时刻tl6)。
[0256]另外，以如下方式变更管理表，即，取代从反转单元RTl搬运(图24的时刻tl9)第二任务的第一搬运周期的第四张基板W8，而从清洗处理单元SS4回收第一任务的最终回收周期的第四张基板W4(图27的时刻tl8)。
[0257]这样变更第一任务的最终回收周期，提前执行第一任务的最终回收周期的第三张基板W3以及第四张基板W4的回收时刻，能够减少在清洗处理单元SS3、SS4中的等待搬出时间。由此，能够抑制或者防止该单元SS3、SS4中的基板W3、W4的清洗品质下下降。
[0258]接着，以与在这样的步骤ST15中的第一任务的最终回收周期的变更对应的方式，修正在步骤ST13中制作的第二任务的基板处理管理表(图24的步骤ST16)。然后，根据这样确定的管理表数据SD，与第一任务的最终回收周期并行地执行第二任务的第一搬运周期(时刻tlO?时刻t20)，接着，依次执行第二任务的第二搬运周期(时刻t20?时刻t32)以及第二任务的第三搬运周期(时刻t32?时刻t45)(步骤ST10)。
[0259]如上所述，在第一实施方式至第三实施方式的基板处理装置中，能够防止将进行了基板处理之后的基板W不必要地长时间放置于清洗处理单元SS(SSR)内的情况。因此，不会使基板W长时间暴露在清洗处理单元SS (SSR)内的清洗液的雾等中。因此，能够确保尚的基板处理性能。
[0260]尤其，如第二实施方式以及第三实施方式的基板处理装置那样，与基板处理并行地修正基板处理管理表，从而能够总是更新基板处理管理表的内容。
[0261]另外，根据第三实施方式的基板处理装置，能够防止在任务切换的时刻，前一任务的进行清洗处理之后的基板长时间放置于清洗处理单元内的情况。
[0262]此外，在第一实施方式至第三实施方式中，说明了中央机械手CR搬运一张未处理基板W以及一张已处理基板W的情况，但是在中央机械手CR同时搬运两张未处理基板W、两张已处理基板W的情况(参照图7A、图7B)下，也能够实施本发明。
[0263]另外，在第一实施方式至第三实施方式中，作为基板处理装置1，将刷洗处理装置举为例子，来对于制作管理表的结构进行了说明，但是本发明的基板处理装置I并不限定于刷洗处理装置，能够用于不进行刷洗的单张基板清洗装置、冷却处理装置、干燥处理装置等各种基板处理装置。
【主权项】
1.一种基板处理装置， 具有: 多个基板处理单元，能够并行使用， 基板搬运部，能够向所述多个基板处理单元搬运基板，并能够从所述多个基板处理单元搬出实施基板处理之后的基板； 其特征在于， 该基板处理装置具有: 选择部，以不使等待搬出时间超过规定的允许时间的方式，从所述多个基板处理单元之中选择并行使用的两个以上的基板处理单元，所述等待搬出时间为，在所述基板处理单元中实施基板处理之后的基板，等待被所述基板搬运部从所述基板处理单元搬出的时间；管理表制作部，制作基板处理的基板处理管理表，该基板处理包括通过所述基板搬运部向所述并行使用的两个以上的基板处理单元搬运基板的基板搬运处理、在所述并行使用的两个以上的基板处理单元中的基板处理、通过所述基板搬运部从所述并行使用的两个以上的基板处理单元搬出基板的基板搬出处理； 控制部，根据通过所述管理表制作部制作的所述基板处理管理表，控制所述基板处理单元和所述基板搬运部，依次对多个基板实施基板处理。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 所述基板搬运部用于相对所述并行使用的两个以上的基板处理单元依次搬运多个基板， 在根据将向所述并行使用的两个以上的所有基板处理单元都搬运过基板的搬运周期反复执行的基板处理管理表，所述控制部控制所述基板处理单元和所述基板搬运部时，所述管理表制作部在执行前一搬运周期的过程中且在下一搬运周期开始之前，制作用于所述下一搬运周期的基板处理管理表。
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于， 所述基板处理装置还具有用于支撑所述基板的基板支撑部， 所述基板搬运部在用于支撑所述基板的基板支撑部和所述基板处理单元之间进行往复移动， 在所述基板搬运部连续执行所述前一搬运周期和所述下一搬运周期的情况下，在所述下一搬运周期中的所述基板搬运部在所述基板支撑部和所述基板处理单元之间进行往复移动所需的时间，大于在所述前一搬运周期中的所述基板搬运部在所述基板支撑部和所述基板处理单元之间进行往复移动所需的时间时，所述管理表制作部以使在所述下一搬运周期中并行使用的两个以上的基板处理单元的第二数量，小于在所述前一搬运周期中并行使用的两个以上的基板处理单元的第一数量的方式，设定该第二数量，并基于该第二数量来制作所述基板处理管理表。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于， 所述基板处理单元包括用于清洗所述基板的基板清洗处理单元。
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于， 所述多个基板处理单元包括用于清洗所述基板的表面的表面清洗处理单元和用于清洗所述基板的背面的背面清洗处理单元， 利用了所述背面清洗处理单元的基板处理管理表中的所述允许时间设定为，小于利用了所述表面清洗处理单元的基板处理管理表中的所述允许时间。
6.一种基板处理方法，为基板处理装置的基板处理方法， 该基板处理装置具有: 多个基板处理单元，能够并行使用， 基板搬运部，能够向所述多个基板处理单元搬运基板，并能够从所述多个基板处理单元搬出实施基板处理之后的基板； 其特征在于， 该基板处理方法包括: 选择步骤，以不使等待搬出时间超过规定的允许时间的方式，从所述多个基板处理单元之中选择并行使用的两个以上的基板处理单元，所述等待搬出时间为，在所述基板处理单元中实施基板处理之后的基板，等待被所述基板搬运部从所述基板处理单元搬出的时间； 管理表制作步骤，制作基板处理的基板处理管理表，该基板处理包括通过所述基板搬运部向所述并行使用的两个以上的基板处理单元搬运基板的基板搬运处理、在所述并行使用的两个以上的基板处理单元中的基板处理、通过所述基板搬运部从所述并行使用的两个以上的基板处理单元搬出基板的基板搬出处理； 管理表执行步骤，根据所述基板处理管理表，控制所述基板处理单元和所述基板搬运部，依次对多个基板实施基板处理。
7.根据权利要求6所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板搬运部用于相对所述并行使用的两个以上的基板处理单元依次搬运多个基板， 在根据将向所述并行使用的两个以上的所有基板处理单元都搬运过基板的搬运周期反复执行的基板处理管理表，来控制所述基板处理单元和所述基板搬运部时，在执行前一搬运周期的过程中且在下一搬运周期开始之前，制作用于所述下一搬运周期的基板处理管理表。
8.根据权利要求7所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板搬运部在用于支撑所述基板的基板支撑部和所述基板处理单元之间进行往复移动， 在所述基板搬运部连续执行所述前一搬运周期和所述下一搬运周期的情况下，在所述下一搬运周期中的所述基板搬运部在所述基板支撑部和所述基板处理单元之间进行往复移动所需的时间，大于在所述前一搬运周期中的所述基板搬运部在所述基板支撑部和所述基板处理单元之间进行往复移动所需的时间时，以使在所述下一搬运周期中并行使用的两个以上的基板处理单元的第二数量，小于在所述前一搬运周期中并行使用的两个以上的基板处理单元的第一数量的方式，设定该第二数量，基于该第二数量来制作所述基板处理管理表。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的基板处理方法，其特征在于， 所述基板处理单元包括用于清洗所述基板的基板清洗处理单元。
10.根据权利要求9所述的基板处理方法，其特征在于， 所述多个基板处理单元包括用于清洗所述基板的表面的表面清洗处理单元和用于清洗所述基板的背面的背面清洗处理单元， 利用了所述背面清洗处理单元的基板处理管理表中的所述允许时间设定为，小于利用了所述表面清洗处理单元的基板处理管理表中的所述允许时间。
11.一种基板处理方法，为基板处理装置的基板处理方法， 该基板处理装置具有: 多个基板处理单元，能够并行使用， 基板搬运部，相对所述多个基板处理单元搬运基板； 其特征在于， 该基板处理方法包括: 设定步骤，以出现搬运限速状态的方式，设定并行使用的两个以上的基板处理单元的数量，所述搬运限速状态指，在各所述基板处理单元中的所述基板的停留时间，不超过所述基板搬运部的一次搬运周期所需的时间的状态； 制作步骤，基于所述并行使用的基板处理单元的数量来制作基板处理管理表； 计算步骤，计算等待搬出时间，该等待搬出时间指，根据所述基板处理管理表在所述基板处理单元中实施基板处理之后的基板，等待被所述基板搬运部从所述基板处理单元搬出的时间； 修正步骤，若所述等待搬出时间超过允许时间，则再次设定所述并行使用的两个以上的基板处理单元的数量，基于再次设定之后的所述并行使用的两个以上的基板处理单元的数量，来修正所述基板处理管理表； 处理步骤，基于在所述修正步骤中修正的所述基板处理管理表，控制所述基板处理单元以及所述基板搬运部，来依次对多个基板进行基板处理。
【专利摘要】本发明提供基板处理方法及装置，在利用能并行使用的多个基板处理单元进行基板处理的情况下，不使由基板处理单元处理后的基板等待从被基板处理单元搬出的等待搬出时间变长。以不使由基板处理单元处理后的基板，等待被基板搬运部从基板处理单元搬出的时间超过允许时间的方式，从多个基板处理单元中选择并行使用的两个以上的基板处理单元。制作基板处理的基板处理管理表，该基板处理包括通过基板搬运部向两个以上的基板处理单元搬运基板的基板搬运处理、在两个以上的基板处理单元中的基板处理、通过基板搬运部从两个以上的基板处理单元搬出基板的基板搬出处理。根据该基板处理管理表来控制基板处理单元和基板搬运部，依次对多个基板进行基板处理。
【IPC分类】H01L21-677, H01L21-67
【公开号】CN104867847
【申请号】CN201510087840
【发明人】冈田吉文
【申请人】斯克林集团公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年2月25日
【公告号】US20150243536