Ye在线检测管控方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造检测技术，特别涉及一种半导体制造过程中进行在线检测管控的方法。
【背景技术】
[0002]在半导体集成电路生产过程中，半导体产品从原料最终形成产品需要经过成百上千道工序，晶片所经过的所有工序组成了整个工艺流程。
[0003]因为半导体集成电路属于高精度产品，关键尺寸(⑶，Critical Dimens1n)在亚微米至纳米量级。因此，在半导体生产的生产线上，在生产过程中会使用大量检测手段以跟踪半导体产品生产过程中的各项参数是否符合设计要求，以确保半导体集成电路的产品质量以及生产过程的稳定和制造设备的稳定运行。
[0004]在半导体产品的生产过程中，用来监测生产设备有无异常情况的手段包括有YE(Yield Enhancement,良率提升)在线缺陷检测。半导体产品在YE检测站点经过在线缺陷检测后，便可以通过检测结果得知生产该半导体产品的生产设备是否存在异常。
[0005]在实际生产过程中，在线生产设备发生缺陷的几率，以及所造成缺陷的风险程度是不一样的，因此YE在线缺陷检测的数量对生产过程的可靠性具有重要的作用，YE在线缺陷检测的量测越多，则半导体产品的生产工序的稳定性和安全性越有保障。
[0006]但是YE在线缺陷检测机台的产能是有限的，量测越多，相对的就会造成半导体产品生产周期的延长，对半导体产品的生产所造成的影响却是负面的。同时，目前生产设备的缺陷风险仅有经验判断，而检测派工则依靠制造部门的生产计划等级安排在线检测或跳过检测，进而容易发生需要优先检测的产品被跳货，或者需要优先检测的产品被安排了较低的优先级，而无法有效地控制生产机台的缺陷风险。
[0007]因此，如何在有限的YE在线缺陷检测产能下，更有效率的分配YE检测站点，检测频率，检测优先级等，是YE在线缺陷检测所面临的很大挑战。
【发明内容】
[0008]有鉴于此，本发明提供一种YE在线检测管控方法，以优化YE在线缺陷检测中的缺陷检测抽样，提高YE在线检测机台的检测效率，降低生产机台的缺陷风险。
[0009]本发明的技术方案是这样实现的:
[0010]一种YE在线检测管控方法，包括:
[0011]半导体产品经过生产设备后，在YE检测站点中根据所设定的YE抽样率进行抽样；
[0012]对所抽样的半导体产品所经过的生产设备进行缺陷风险等级量化评估；
[0013]根据所获得的设备缺陷风险等级，确定所抽样的半导体产品的YE在线缺陷检测优先级；
[0014]将获得YE在线缺陷检测优先级的半导体产品，按照所述YE在线缺陷检测优先级的顺序，进行YE在线缺陷检测。
[0015]进一步，所述设备缺陷风险等级为一量化值，其计算参数包括缺陷水平、缺陷杀伤率、缺陷发生率、影响晶圆数量水平和检测难度等级，其中，缺陷水平为缺陷在晶圆上所影响的芯片所占的比率，缺陷杀伤率为缺陷导致芯片故障的概率，缺陷发生率为发生缺陷的时间概率或者发生缺陷的数量概率，影响晶圆数量水平为发生缺陷的晶圆数量，检测难度等级为缺陷被检测到的难度。
[0016]进一步，所述设备缺陷风险等级为:
[0017]Risk F(X) =缺陷水平X缺陷杀伤率X缺陷发生率X影响晶圆数量水平X检测难度等级
[0018]其中，X表示参数缺陷水平、缺陷杀伤率、缺陷发生率、影响晶圆数量水平、检测难度等级，Risk F(X)为设备缺陷风险等级。
[0019]进一步:
[0020]若所述YE在线缺陷检测通过，则更新所述生产设备缺陷检测率，将所抽样的半导体产品送出YE检测站点；
[0021]若所述YE在线缺陷检测未通过，则更新设备缺陷风险等级，更新YE抽样率，并更新所述生产设备缺陷检测率，将所抽样的半导体产品送出YE检测站点。
[0022]进一步，在YE检测站点中根据所设定的YE抽样率进行抽样之后，在对所抽样的半导体产品进行设备缺陷风险等级量化评估之前，还包括:
[0023]获取所抽样的半导体产品的产品信息；
[0024]根据所述产品信息确定所抽样的半导体产品是否为生产计划中已列为的最高优先级广品；
[0025]若所抽样的半导体产品为最高优先级产品，则所抽样的半导体产品不进行设备缺陷风险等级量化评估，将所抽样的半导体产品作为最高检测优先级率先进行YE在线缺陷检测。
[0026]进一步，所述产品信息包括:生产派工优先级PR1、生产设备编号ID、生产区域。
[0027]进一步，所述生产设备缺陷检测率为生产设备在一段时间内所处理的所有产品中被检测的产品的数量所占的比率。
[0028]进一步，所述YE抽样率根据所述设备缺陷风险等级的增加比率进行更新。
[0029]进一步，所述YE在线缺陷检测优先级包括:多个不同等级的检测优先级，以及普通检测级；其中，普通检测级的优先级低于所述多个不同等级的检测优先级。
[0030]进一步，在所述普通检测级中，若等待进行YE在线缺陷检测的半导体产品的数量超过所设定的普通检测级产品数量，则将超出普通检测级产品数量的半导体产品送出YE检测站点。
[0031]从上述方案可以看出，本发明提供的YE在线检测管控方法，依据设定的YE抽样率对经过生产设备之后的半导体产品进行抽样，通过设备缺陷风险等级量化评估手段以确定设备缺陷风险等级，再根据该设备缺陷风险等级，决定所抽样的半导体产品的YE在线缺陷检测优先级，以进行随后的设备缺陷风险检测，然后依据设备缺陷风险检测的结果，以调整YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、生产设备缺陷检测率。本发明实现了在YE在线缺陷检测中依据每一次的检测结果，进行YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、以及生产设备缺陷检测率的优化，提高了 YE在线检测机台的检测效率，降低生产机台的缺陷风险。
【附图说明】
[0032]图1为本发明的YE在线检测管控方法的实施例示意图；
[0033]图2为本发明的YE在线检测管控方法的实施例流程示意图。
【具体实施方式】
[0034]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本发明作进一步详细说明。
[0035]本发明的主要核心思想为，根据生产设备特性及历史缺陷统计确定设备缺陷风险等级，并根据该设备缺陷风险等级，结合YE在线缺陷检测，确定YE抽样率和YE在线缺陷检测优先级，达到优化YE在线缺陷检测中的缺陷检测抽样，提高YE在线检测机台的检测效率，降低生产机台的缺陷风险的目的。
[0036]依据该思想，如图1所示，本发明的YE在线检测管控方法实施例包括:
[0037]半导体产品经过生产设备后，在YE检测站点中根据所设定的YE抽样率进行抽样；
[0038]对所抽样的半导体产品所经过的生产设备进行缺陷风险等级量化评估，以获得设备缺陷风险等级；
[0039]根据所获得的设备缺陷风险等级，确定所抽样的半导体产品的YE在线缺陷检测优先级；
[0040]将获得YE在线缺陷检测优先级的半导体产品，按照所述YE在线缺陷检测优先级的顺序，进行YE在线缺陷检测。
[0041 ] 进一步地，经过YE在线缺陷检测之后，本发明的YE在线检测管控方法实施例还包括:
[0042]若所述YE在线缺陷检测通过，则更新生产设备缺陷检测率，将所抽样的半导体产品送出YE检测站点；
[0043]若所述YE在线缺陷检测未通过，则更新设备缺陷风险等级评估参数，更新YE抽样率，并更新所述生产设备缺陷检测率，将所抽样的半导体产品送出YE检测站点。
[0044]另外，考虑到在生产中存在一些生产计划中已经被列为最高优先级的产品，并且这些产品不加入优先级排序，这样，根据YE在线缺陷检测需要，在YE检测站点中根据所设定的YE抽样率进行抽样之后，在对所抽样的半导体产品进行设备缺陷风险等级量化评估之前，本发明的YE在线检测管控方法实施例还进一步包括:
[0045]获取所抽样的半导体产品的产品信息；
[0046]根据所述产品信息确定所抽样的半导体产品是否为生产计划中已列为的最高优先级广品；
[0047]若所抽样的半导体产品为最高优先级产品，则所抽样的半导体产品不进行设备缺陷风险等级量化评估，将所抽样的半导体产品作为最高检测优先级率先进行YE在线缺陷检测。
[0048]以下，参见图2所示实施例流程，对本发明的YE在线检测管控