理物W的被处理面Wa的整个区域被设置成一定大小的状态下进行处理。因此，能够使照射到被处理物W的被处理面Wa的真空紫外线的强度实质上均匀，并且能够使通过真空紫外线生成的臭氧的浓度实质上均匀，其结果能够对被处理物W均匀地进行处理。
[0065]此外，通过透光性窗构件30的突部35在透光性窗构件30的基体部31的光射出面32与被处理物W的被处理面Wa之间形成的间隙中流通处理用气体，因此能够使被处理物W的被处理面Wa上的氧浓度大致一定，因此能够稳定地生成臭氧及活性氧，能够稳定地进行被处理物W的处理。
[0066]此外，通过压力调整机构维持灯收容室SI内的压力比处理室S2内的压力高的状态，从而除了透光性窗构件30的自重的按压力以外，还通过该压力差所引起的按压力来按压被处理物W，从而矫正被处理物W的变形，因此能够更切实地得到上述效果。
[0067]以上，说明了本发明的光照射装置的实施方式，但本发明不限定于上述实施方式，能够实施各种变更。
[0068]例如，图1所示的光照射装置是所谓的一齐照射型的结构，但如图2所示也可以是扫描型的结构。
[0069]该光照射装置具备保持被处理物W的保持装置40、具备紫外线射出灯25a的光源单元20a、以及使光源单元20a及保持装置40中的一方相对于另一方在水平方向上相对移动的驱动机构(未图示)。在该例子中，例如是保持装置40通过驱动机构相对于光源单元20a在水平方向上移动的结构。用空心箭头表示保持装置40的移动方向。
[0070]在具有平坦的被处理物载置面11的处理台10上装卸自如地安装划分具有向上方开口的开口部的处理室S2的透光窗保持框41，进一步构成透光窗的透光性窗构件30被设置成气密地堵塞透光窗保持框41的开口部的状态，从而构成保持装置40。在处理台10中，向处理室S2内供给预定的氧浓度的处理用气体的处理用气体供给用贯通孔12及气体排出用贯通孔13形成于在保持装置40的移动方向(传送方向)上彼此分离的位置。在此，被处理物W配置在处理用气体供给用贯通孔12与气体排出用贯通孔13之间的位置。
[0071]透光性窗构件30例如使用具有与图1所示的光照射装置的透光性窗构件相同结构的透光性窗构件，省略具体说明。
[0072]光源单元20a具备一方(图示的例子中为下方)开口的壳体21a、以及在该壳体21a内以灯中心轴水平延伸的姿势配置的紫外线射出灯25a。在壳体21a上设置有用于向壳体21a内流通惰性气体(例如氮气N2)的气体流路管22。
[0073]在这种扫描型的光照射装置中，为了得到高输出，作为紫外线射出灯25a，优选使用例如向特定方向照射光的方形的准分子灯。
[0074]在该光照射装置中，能够通过调整保持装置40的移动速度，优化真空紫外线对被处理物W的照射曝光量。
[0075]在这种扫描型的光照射装置中，可以设置成具备多个保持装置(处理台)的结构。在这种结构中，能够在对由一个保持装置保持的被处理物进行基于光源单元的真空紫外线的照射处理之前，预先通过其他工序在其他保持装置上进行被处理物的安装及处理用气体的供给，因此能够对多个被处理物进行连续的紫外线照射处理，能够提高生产率。
[0076]此外，在本发明的光照射装置中，透光窗不限定于图1及图2所示的结构。
[0077]例如，透光性窗构件中的突部可以是具有随着朝向前端、突部的通过与高度方向垂直的切面得到的截面积减小的形状的结构。具体地说，如图3(a)所示，也可以是将透光性窗构件30a中的突部35a设置成球状或半球状的结构，或者如图3(b)所示，也可以是将透光性窗构件30b中的突部35b设置成锥状(例如圆锥状)的结构。在这种结构的突部35a、35b中，突部35a、35b的前端部在被处理物W的被处理面Wa上实质上为点接触，因此能够减小突部35a、35b与被处理物W的接触面积，能够增大被处理面Wa上的通过真空紫外线及臭氧等能够处理的区域(有效处理区域)。
[0078]此外，透光窗不需要整体由平板状的透光性窗构件构成，例如如图4所示，也可以是具有整体弯曲成弧状的形态的结构。该透光性窗构件30c构成为，在弯曲成厚度t为一定大小的弧状的基体部31a的凸侧的表面(光射出面)32上，设置以按压状态与被处理物W的被处理面Wa抵接的多个突部35。该透光性窗构件30c如图4中虚线所示那样，在与被处理物W抵接的状态下成为平板状的形态。
[0079]这种透光性窗构件30c能够通过将在平面状的基体部的表面形成有突部的透光窗形成材料例如载置在向上方凸起的碳模中，并以预定的加热条件进行加热处理来得到。
[0080]根据这种结构的透光性窗构件30c，具有朝向被处理物W侧凸起的弯曲的形态，从而能够以强力按压被处理物W。即，例如若将平板状的透光性窗构件压向被处理物W，则两者虽然成为紧贴的状态，但由于向被处理物W与透光性窗构件之间供给处理用气体，因此向透光性窗构件施加有处理用气体的压力。在处理用气体的压力为与透光性窗构件的灯侧的气氛(灯收容室内)的压力相同或其以上的大小的情况下，透光性窗构件由于通常其周缘部被固定地设置，因此成为该透光性窗构件的中央部向灯侧凸起的形态。因此，通过透光性窗构件按压被处理物的效果减低或无法获得。然而，通过透光性窗构件30c具有朝向被处理物W侧凸起的弯曲的形态，透光性窗构件30c本身具有能够抵抗因处理用气体的供给而发挥作用的气压的按压力，因此能够切实地按压被处理物W。因此，根据这种结构的透光性窗构件30c，能够切实地获得上述效果。
[0081]此外，介于透光窗与被处理物之间的被处理物按压用隔离件不是必须由透光窗的一部分构成，如上所述，例如也可以由与透光窗不同的其他构件构成。
[0082]图5是概略地表示本发明的光照射装置的其他例的保持装置的结构的截面图，(a)是用沿着处理用气体的流通方向的平面切断的铅垂方向截面图，(b)是用与处理用气体的流通方向正交的平面切断的铅垂方向截面图。
[0083]在该光照射装置的保持装置40a中，在处理台1a上所配置的被处理物W的表面(被处理面)Wa上，彼此不重叠地配置有构成被处理物按压用隔离件的多根线材70，构成透光窗的平板状的透光性窗构件45经由线材70相对于被处理物W以按压状态被配置。从而，通过各线材70，透光性窗构件45的光射出面46与被处理物W的被处理面Wa之间的距离h被设为一定的大小。各线材70的两端部被透光性窗构件45和透光窗保持框41a夹持而保持，在该例子中，各线材70在彼此分离的位置被配置成沿着处理用气体的流通方向(图5(a)中左右方向)平行延伸。在图5(a)、(b)中，42为窗固定构件，43为基台。
[0084]各线材70例如可以由金属制的金属线(Wire)构成。
[0085]如上所述考虑到同透光性窗构件45的光射出面46与被处理物W的被处理面Wa之间的距离h的大小的关系，线材70的线径优选为例如Φ1_以下，特别优选Φ0.5_以下。
[0086]以上说明中，在由线材构成被处理物按压用隔离件的情况下，线材的保持方法没有特别限定，例如如图6 (a)、(b)所示，也可以构成通过共同的线材保持构件75保持多根线材70的构造体，并保持该构造体。该例子中的线材保持构件75在向上下方向开口的框体76中的彼此对置的一对周壁的另一个开口缘部形成向外方突出的凸缘部77而成，在框体76的一个开口部拉伸设置有多个线材70。并且，线材保持构件75的凸缘部77被基台43和透光窗保持框41a夹持而固定，由此构成透光窗的平板状的透光性窗构件45经由线材70相对于被处理物W以按压状态被配置。
[0087]此外，线材70不需要拉伸设置成直线状延伸，也可以在同一平面内例如弯曲设置以不阻碍处理用气体的流通。此外，线材70的根数也没有特别限定。
[0088]此外，如图7所示，被处理物按压用隔离件还可以由平板片构成。在该例子中，在处理台1a的四周配置有工件按压构件80a、80b。各工件按压构件80a、80b是具有与处理台1a的周侧面对接而定位的垂直板片81、以及卡止于被处理物W的表面(被处理面)Wa的周缘部的水平板片82的“L”字型的构件。
[0089]如上所述考虑到透光性窗构件45的光射出面46与被处理物W的被处理面Wa之间的距离h的大小的关系，各工件按压构件80a、80b中的水平板片82的厚度优选为例如Φ Imm以下，特别优选Φ0.5mm以下。
[0090]并且，位于处理用气体的流通方向上的彼此对置的一对工件按压构件80a中，在水平板片82上相互分离形成有处理用气体流通用的多个缺口部83，由此，舌片状的按压部84形成为梳的齿状。平板状的透光性窗构件45相对于被处理物W以按压状态被配置，从而各工件按压构件80a、80b的水平板片82被透光性窗构件45和处理台1a夹持而保持。从而，工件按压构件80a、80b中的水平板片82作为被处理物按压用隔离件而发挥作用，并形成有透光性窗构件45的光射出面46与被处理物W的被处理面Wa之间的距离为一定大小的间隙。
[0091]这样，在被处理物按压用隔离件由线材或平板片构成的情况下，也能够矫正被处理物W本身所具有的弯曲等变形，因此能够获得上述效果。
[0092]此外，在本发明的光照射装置中，在更换被处理物时，由于需要使透光窗与被处理物分离，因此例如在图1所