一种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管及其制备方法
【专利摘要】本发明涉及薄膜晶体管领域，提供了一种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管及其制备方法，由基底、沟道层、介质层、栅(G)电极层、源/漏电极层组成，所述源/漏电极层是由两层透明导电氧化物(TCO)膜及夹在两层透明导电氧化物(TCO)膜之间银(Ag)膜构成的银基透明导电多层膜；其中，透明导电氧化物是包含Sn元素和M元素的高价态掺杂氧化锡基的氧化物SnO2:M；其中，氧化物SnO2:M中M元素的原子量为M/(M+Sn)＝0～0.1，M元素为Cr、Mo、W中至少一种，本发明提供的非晶氧化物薄膜晶体管具备制备工艺温度与柔性透明基底兼容、高可见光透过率，以及良好的电学性能。
【专利说明】
一种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管及其制备方法
技术领域
[0001]本发明涉及薄膜晶体管领域，尤其涉及一种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管。
【背景技术】
[0002]随着平板显示行业的深入发展，柔性透明的有源矩阵有机发光二极管显示(AMOLED)技术成为倍受关注的新型“梦幻显示”技术。
[0003]因此，许多学者开始将目光转向薄膜有机发光显示器件上，如专利号为200710075139.2公开了一种包含透明导电膜基板、金属电极层和夹在透明导电膜基板和金属电极层之间的有机薄膜层的有机电致发光显示器件。
[0004]这一行为使得平板显示有源驱动中的核心元件“薄膜晶体管(TFT)器件”面临着新的挑战，即:要保证器件良好电学性能，同时还需实现其柔性和全透明的研制。薄膜晶体管(TFT)，其是由基底、沟道层、介质层、栅(G)电极、源(S)电极以及漏(D)电极几个重要部分组成。最近，非晶氧化物TFT凭借着非晶氧化物半导体材料迀移率高、可见光透明性好、均匀性优良以及可低温，甚至室温成膜等特点，为替代传统硅基TFT、推动新型柔性透明AMOLED技术的发展提供了新思路。
[0005]然而，寻找适用于柔性全透明非晶氧化物TFT的源/漏电极材料却成为本领域亟待突破的难点。尽管传统透明导电氧化物(T⑶)，如:In2O3 = Sn(ITO)、ZnO:Al(AZO)、ZnO:Ga(GZO)等是公认的透明电极材料，但研究表明传统TCO薄膜用作源/漏电极时，非晶氧化物TFT器件性能相比用不透明的金属电极作为源/漏电极时呈现出明显劣化，主要体现为:开态电流急剧减小，甚至器件呈现出逊色的稳定性以及输出特性丧失了典型的线性饱和特征。
[0006]而事实上，由于非晶氧化物TFT中的源(S)/漏(D)电极与非晶氧化物沟道层直接接触，因此可作为非晶氧化物TFT栅电极的传统TCO材料，将其作为器件源(S)/漏(D)电极时却并不理想，原因如下:其一，低温制备传统TCO的电阻率过高，一般高于1X10—4Ω.cm;其二，保证TCO电极与非晶氧化物沟道层间为欧姆接触以及获得低电阻率的TCO电极，两者不易兼顾;其三，传统TCO组成中含铟或锌元素中的至少一种，并且，含铟氧化物电极中，存在铟易扩散进入非晶氧化物沟道层，或者含锌氧化物电极中存在氧吸附的问题，而扩散问题、和/或氧吸附问题均会劣化非晶氧化物TFT的电学稳定性。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于解决上述技术问题，提供一种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管及其制备方法。
[0008]具体通过以下方案得以实现:
[0009]—种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管，由基底、沟道层、介质层、栅(G)电极层、源/漏电极层组成，所述源/漏电极层是由两层透明导电氧化物(TCO)膜及夹在两层透明导电氧化物(TCO)膜之间银(Ag)膜构成的银基透明导电多层膜;所述透明导电氧化物(TCO)，是包含Sn元素和M元素的高价态掺杂氧化锡基的氧化物SnO2 = M;其中，氧化物SnO2 = M中M元素的原子量为M/(M+Sn) =O?0.1，M元素为Cr、Mo、W中至少一种。
[00? O ]所述透明导电氧化物(TCO)膜利用射频磁控派射制作而成，其厚度为I Onm?50nm。
[0011]所述银(Ag)膜是利用直流磁控溅射或热蒸发制作而成，其厚度为Snm?20nmo
[0012]其制备方法为:选用柔性透明材料作为基底，以非晶氧化物作为沟道层，以可见光透过率2 90%的材料作为介质层，以传统TCO薄膜作为栅电极层，以银基透明导电多层膜作为源/漏电极层，制备共面结构。
[0013]所述共面结构为顶栅共面结构、底栅共面结构中的任意一种。
[0014]所述的源/漏电极层的工艺温度<150°C。
[0015]所述的沟道层，其厚度为30nm?80nm。
[0016]进一步地，柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管的制备方法，包括以下步骤:
[0017](I)在柔性透明基底上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法，辅以掩膜来制备TCO栅电极层，所述TCO栅电极层的厚度为60nm?10nm;
[0018](2)在步骤(I)所得的TCO栅电极层上利用射频磁控溅射法制备无机介质层，辅以掩膜；
[0019](3)在步骤(2)所得的介质层上依次利用射频磁控溅射、直流磁控溅射(或热蒸发)以及射频磁控溅射法形成银基透明导电多层膜；
[0020](4)在步骤(3)所得的源/漏电极层上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法形成非晶氧化物沟道层薄膜，所述非晶氧化物沟道层薄膜的厚度为30nm?80nm，即得成品。
[0021]进一步地，柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管的制备方法，还可以包括以下步骤:
[0022](I)在柔性透明基底上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法形成非晶氧化物沟道层薄膜，所述非晶氧化物沟道层薄膜的厚度为30nm?80nm，辅以掩膜；
[0023](2)在步骤(I)所得的沟道层上依次形成SnO2: M薄膜、Ag膜、SnO2: M薄膜；
[0024](3)在步骤(2)所得的源/漏电极层上利用溶胶凝胶法形成有机介质层；
[0025](4)在步骤(3)所得的介质层上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法，辅以掩膜形成TCO栅电极层，所述TCO栅电极层的厚度为60nm?I OOnm，即得成品。
[0026]所述掩膜，其膜为Al2O3薄膜。
[0027]本发明的有益效果
[0028]1、作为非晶氧化物TFT源/漏电极层的银基透明导电多层膜，其中，T⑶选用高价态差掺杂的银基透明导电氧化物薄膜，突破了局限于金属价态差为I的传统掺杂氧化物透明导电材料，减少了引入的离子杂质和载流子散射中心，通过提高薄膜的载流子迀移率，降低了 Sn02:M薄膜电阻率，使得基于Sn02:M的银基透明导电多层膜具有更低电阻率和更高透射率。
[0029]2、银基透明导电多层膜中不含铟或锌元素，避免了因含铟氧化物电极中铟扩散或含锌氧化物电极的氧吸附对彳_晶氧化物TFT电学稳定性带来的不良影响。
[0030]3、将“银基透明导电多层膜”和“高价态差掺杂氧化锡基透明导电薄膜”的优点有机地结合起来，不仅获得了高可见光透过率及低电阻率的源/漏电极层，其中，可见光透过率高于80%，电阻率低于1X10—4Ω.cm，同时还保证了源/漏电极层与非晶氧化物沟道层间为欧姆接触。
[0031]4、本发明中的非晶氧化物薄膜晶体管具备良好电学性能、高可见光透过率，且其各组成部分的成膜工艺温度与柔性透明基底兼容，适用于新型柔性透明AMOLED技术的发展趋势。
【附图说明】
[0032]图1是基于银基透明导电多层膜的源/漏电极层的截面示意图。
[0033]图2是基于无机介质层的柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管结构的截面示意图。
[0034]图3是基于有机介质层的柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管结构的截面示意图。
【具体实施方式】
[0035]下面结合具体的实施方式来对本发明的技术方案做进一步的限定，但要求保护的范围不仅局限于所作的描述。
[0036]实施例1
[0037]使用PET作为基底，以非晶铟镓锌氧化物(In-Ga-Zn-O)薄膜作为沟道层，以无机AI2O3薄膜作为介质层，以ITO薄膜作为栅电极层，以掺钼(Mo)的Sn02透明导电氧化物和银膜构成的银基透明导电多层膜(Sn02:MO/Ag/Sn02:MO)作为源/漏电极层，所述银基透明导电多层膜结构如图1所示，制备底栅共面结构的柔性全透明非晶氧化物TFT，所述柔性全透明非晶氧化物TFT的结构如图2所示，具体步骤如下:
[0038](I)在PET基底上利用射频磁控溅射法，辅以氧化铝掩膜形成厚度为80nm的ITO薄膜，其中，靶材选用纯度为4N的ITO陶瓷靶，溅射功率为25W，工作压强为0.7Pa;
[0039](2)在步骤(I)所得的栅电极层上通过射频磁控溅射法形成厚度为200nm的Al2O3薄膜，其中，靶材选用纯度4N的氧化铝陶瓷靶，溅射功率为100W，工作压强为1.0Pa;
[0040](3)在步骤(2)所得的介质层上形成银基透明导电多层膜，结合宽长比为500μπι/ΙΟΟμπι的氧化铝膜进行掩膜，其中，银基透明导电多层膜是依次利用射频磁控溅射、直流磁控派射以及射频磁控派射法分别形成厚度为30nm的Sn02:Mo薄膜、12nm的银薄膜以及30nm的SnO2: Mo薄膜，所述射频磁控溅射法，其溅射功率为20W，工作压强分别为0.8Pa，直流磁控溅射法，其直流功率为20W，工作压强为1.0Pa;所述SnO2:Mo薄膜，其中Mo元素的原子比为:Mo/(Mo+Sn)=0.03；
[0041](4)在步骤(3)所得的源/漏电极层上采用射频磁控溅射法，辅以掩膜形成厚度为50nm的非晶铟镓锌氧化物薄膜，其中，靶材选用纯度为4N的铟镓锌氧化物靶，溅射功率为20W，工作压强为0.8Pa。
[0042]采用本制备方法所得的非晶铟镓锌氧化物TFT在可光区的平均透过率高于80%，开关比高于15，饱和迀移率大于3.0cmVvs。
[0043]实施例2
[0044]使用PET作为基底，以非晶铟镓锌氧化物(In-Ga-Zn-O)薄膜作为沟道层，以有机PMMA薄膜作为介质层，以ITO薄膜作为栅电极层，以掺钼(Mo)的Sn02透明导电氧化物和银膜构成的银基透明导电多层膜(Sn02:MO/Ag/Sn02:MO)作为源/漏电极层，所述银基透明导电多层膜结构如图1所示，制备顶栅共面结构的柔性全透明非晶氧化物TFT，所述柔性全透明非晶氧化物TFT的结构如图3所示，具体步骤如下:
[0045](I)在PET基底上采用射频磁控溅射法形成厚度为50nm的非晶铟镓锌氧化物薄膜，靶材选用纯度为4N的铟镓锌氧化物靶，溅射功率为20W，工作压强为0.8Pa;
[0046](2)在步骤(I)所得的沟道层上形成银基透明导电多层膜，结合宽长比为500μπι/ΙΟΟμπι的氧化铝膜进行掩膜，其中，银基透明导电多层膜是依次利用射频磁控溅射、直流磁控派射以及射频磁控派射法分别形成厚度为30nm的Sn02:Mo薄膜、12nm的银薄膜以及30nm的SnO2: Mo薄膜，所述射频磁控溅射法，其溅射功率为20W，工作压强分别为0.8Pa，直流磁控溅射法，其直流功率为20W，工作压强为1.0Pa;所述SnO2:Mo薄膜，其中Mo元素的原子比为:Mo/(Mo+Sn)=0.03；
[0047](3)将步骤(2)所得的含源/漏电极层的沟道层浸入PMMA丙酮前驱体溶液，经提速为1.0mm/s的提拉涂覆后，置于温度为100°C的烘箱中烘烤30min，重复提拉涂覆以烘烤操作4次，形成厚度为300nm的有机PMMA薄膜;所述PMMA丙酮前驱体溶液是将纯PMMA粉末溶于丙酮溶剂中进行搅拌，得到浓度为60mg/mL的PMMA丙酮前驱体溶液；
[0048](4)在步骤(3)所得的介质层上利用射频磁控溅射法，辅以氧化铝掩膜形成厚度为80nm的ITO薄膜，其中，靶材选用纯度为4N的ITO陶瓷靶，溅射功率为25W，工作压强为0.7Pa。
[0049]采用本制备方法所得的非晶铟镓锌氧化物TFT在可光区的平均透过率高于80%，开关比高于15，饱和迀移率大于3.0cmVvs。
【主权项】
1.一种柔性全透明非晶氧化物薄膜晶体管，由基底、沟道层、介质层、栅(G)电极层、源/漏电极层组成，其特征在于，所述源/漏电极层是由两层透明导电氧化物(TCO)膜及夹在两层透明导电氧化物(TCO)膜之间银(Ag)膜构成的银基透明导电多层膜;所述透明导电氧化物(TCO)，是包含Sn元素和M元素的高价态掺杂氧化锡基的氧化物SnO2:M;其中，氧化物SnO2:M中M元素的原子量为M/(M+Sn) =0?0.1，M元素为Cr、Mo、W中至少一种。2.如权利要求1所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管，其特征在于，所述透明导电氧化物(TCO)膜利用射频磁控派射制作而成，其厚度为I Onm?50nm。3.如权利要求1所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管，其特征在于，所述银(Ag)膜是利用直流磁控溅射或热蒸发制作而成，其厚度为Snm?20nmo4.一种如权利要求1-3任一项所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，选用柔性透明材料作为基底，以非晶氧化物作为沟道层，以可见光透过率2 90%的材料作为介质层，以传统TCO薄膜作为栅电极层，以银基透明导电多层膜作为源/漏电极层，制备共面结构。5.如权利要求4所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，所述的源/漏电极层的工艺温度< 150°C。6.如权利要求4所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，所述的沟道层，其厚度为30nm?80nmo7.如权利要求4-6任一项所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: (1)在柔性透明基底上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法，辅以掩膜来制备TCO栅电极层，所述TCO栅电极层的厚度为60nm?10nm; (2)在步骤(I)所得的TCO栅电极层上利用射频磁控溅射法制备无机介质层，辅以掩膜； (3)在步骤(2)所得的介质层上依次利用射频磁控溅射、直流磁控溅射(或热蒸发)以及射频磁控溅射法形成银基透明导电多层膜； (4)在步骤(3)所得的源/漏电极层上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法形成非晶氧化物沟道层薄膜，所述非晶氧化物沟道层薄膜的厚度为30nm?80nm，即得成品。8.如权利要求4-6任一项所述的柔性全透明非晶体氧化物薄膜晶体管的制备方法，包括以下步骤: (1)在柔性透明基底上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法形成非晶氧化物沟道层薄膜，所述非晶氧化物沟道层薄膜的厚度为30nm?80nm，辅以掩膜； (2)在步骤(I)所得的沟道层上依次形成Sn02: M薄膜、Ag膜、Sn02: M薄膜； (3)在步骤(2)所得的源/漏电极层上利用溶胶凝胶法形成有机介质层； (4)在步骤(3)所得的介质层上利用射频磁控溅射或直流磁控溅射法，辅以掩膜形成TCO栅电极层，所述TCO栅电极层的厚度为60nm?lOOnm，即得成品。
【文档编号】H01L21/28GK105870173SQ201610265046
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月26日
【发明人】岳兰, 孟繁新, 任达森
【申请人】贵州民族大学