衬底运输设备的制造方法

衬底运输设备的制造方法
【专利摘要】一种传送设备包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线；线性轨，其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂，其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。
【专利说明】
衬底运输设备[0001 ]本发明是2013年12月17日提交的临时专利申请第61 /917，056号的非临时申请并 要求其利益，该临时专利申请的全部内容通过引用合并于此。
技术领域
[0002]所公开的实施例的方面总体涉及机器人系统，并且更具体地，涉及机器人运输设备。【背景技术】
[0003]例如在半导体制造工业中，可在具有并排衬底保持站的线性工具系统和/或集群工具系统中处理工件或半导体衬底。一般地，在具有并排衬底保持站的这些系统中，半导体制造商需要独立的径向机器人，其能够基本同时地或独立地从并排衬底保持站传送衬底或将衬底传送到并排衬底保持站。一般地，这通过提供两个传送臂来完成，传送臂之间具有间隔，该间隔与并排衬底保持站之间的间隔基本相同。这些传送臂可被安装在吊臂或线性滑动装置上。这些传送臂还可采用线性驱动器，用于将臂延伸至衬底保持站或从衬底保持站收缩臂。
[0004]有利的是，提供配置有两个并排独立臂的单个机器人，每个臂被配置成在公共的旋转轴线上操作，同时具有沿各自的径向轴线的独立旋转电机致动。此外有利的是，提供配置有两个独立臂的单个机器人，每个臂被配置成在公共的旋转轴线上操作，同时具有沿公共的径向轴线的独立旋转电机致动。此外有利的是，为每个并排独立臂提供在与并排独立臂沿径向轴线的移动基本正交的方向上的移动，以便实现修正系统站误差的能力，同时还能够利用迅捷(on-the-fly)技术实现修正晶片放置的能力而不需利用传送机器人的0轴线。【附图说明】
[0005]在以下描述中结合附图解释所公开的实施例的前述方面和其他特征，其中:图1A-1D是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意图；图1E和1F是根据所公开的实施例的方面的图1A-1D的衬底处理设备的一部分的示意图；图2A-2D是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图2E是根据所公开的实施例的方面的驱动部段的示意图；图2F-2J是根据所公开的实施例的方面的运输臂的示意图；图3A-3E是根据所公开的实施例的方面的图2A-2D中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图3F和3G是根据所公开的实施例的方面的驱动部段的示意图；图4A-4B是根据所公开的实施例的方面的图2A-2D中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图5A-5C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图?和5E是根据所公开的实施例的方面的图5A-5C中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图6A-6B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图7A-7B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图7C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图8A-8B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图9A-9F是根据所公开的实施例的方面的图8A-8B中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图10A-10B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图11A-11D是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图12A-12C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图13、14和15是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的一部分的示意图；图16A-16C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图17A-17C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图18是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图19是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图20是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；以及图21是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图。【具体实施方式】
[0006]图1A-1D是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意图。虽然将参照附图描述所公开的实施例的方面，但是应该理解，可用许多方式具体实现所公开的实施例的方面。此外，可使用任何合适尺寸、形状或类型的元件或材料。
[0007]根据所公开实施例的一个方面示出了处理设备100A、100B、100C、100D，诸如例如， 半导体工具站。虽然图中示出了半导体工具站，但是本文描述的所公开实施例的方面可应用于采用机器人操纵臂的任何工具站或应用。在一个方面，处理设备100A、100B、100C、100D 被示出为具有集群工具布置(例如，具有连接到中心腔的衬底保持站)，而在其他方面，处理设备可以是线性布置的工具，但是所公开实施例的方面可应用于任何合适的工具站。设备 100A、100B、100C、100D大体包括大气前端101、至少一个真空装载锁102、102A、102B和真空后端103。至少一个真空装载锁102、102A、102B可以按任何合适的布置方式联接到前端101 和/或后端103的任何合适的端口或开口。例如，在一个方面，一个或更多个装载锁102、 102A、102B可按并排布置方式被布置在公共的水平平面中，如在图1B-1C中可见的。在其他方面，一个或更多个装载锁102、102A、102B可按网格样式布置，使得至少两个装载锁102A、 102B、102C、102D成行(例如，具有分隔开的水平平面)和成列(例如，具有分隔开的竖直平面)地布置，如图1E所示。在其他方面，一个或更多个装载锁可以是单个直列装载锁102，如图1A所示。在另一方面，至少一个装载锁102、102E可按层叠的直列布置方式布置，如图1F所示。应该理解，虽然装载锁被图示在运输腔125六、1258、125(:、1250的端10(^1或面10(^1上， 但在其他方面，一个或更多个装载锁可被布置在运输腔125A、125B、125C、125D的任何数量的侧100S1、100S2、端100E1、100E2或面100F1-100F8上。至少一个装载锁中的每个还可包括一个或更多个晶片/衬底安置平面WRP(图1F)，其中，衬底被保持在相应装载锁的合适的支撑件上。在其他方面，工具站可具有任何合适的配置。前端101、至少一个装载锁102、102A、 102B和后端103中的每个的部件可连接到控制器110,控制器110可以是任何控制构造(诸如例如，集群构造控制)的一部分。控制系统可以是具有主控制器、集群控制器和自主远程控制器的闭环控制器，诸如2011年3月8日授权的名称为“Scalable Mot1n Control System” 的美国专利第7,904,182号中公开的那些，该美国专利的全部内容通过引用合并于此。在其他方面，可采用任何合适的控制器和/或控制系统。
[0008]在一个方面，前端101大体包括装载端口模块105和微环境106,诸如例如，装备前端模块(EFEM)。装载端口模块 105可以是Box Opener/Loader to Tool Standard(BOLTS)接口，其用于300mm装载端口、前开口或底开口箱/隔舱和匣盒，符合SEMI标准E15.1、E47.1、 E62、E19.5或El.9。在其他方面，装载端口模块可被配置成200mm晶片/衬底接口、450mm晶片/衬底接口或任何其他合适的衬底接口，诸如例如，更大或更小的半导体晶片/衬底、用于平板显示器的平坦面板、太阳能面板、分划板或任何其他合适的物体。虽然在图1A-1D中示出了三个装载端口模块105,但在其他方面中，任何合适数量的装载端口模块可被合并到前端101中。装载端口模块105可被配置成从架空运输系统、自动导引车、人导引车、轨导引车或根据任何其他合适的运输方法接纳衬底载具或匣盒C。装载端口模块105可通过装载端口 107与微环境106接口。装载端口 107可允许在衬底匣盒和微环境106之间的衬底通道。微环境106大体包括任何合适的传送机器人108,机器人108可合并有本文描述的所公开实施例的一个或更多个方面。在一个方面，机器人108可以是轨道安装式机器人，诸如例如1999年 12月14日授权的美国专利6，002，840,2013年4月16日授权的美国专利8,419,3417,和2010 年1月19日授权的美国专利7，648,327中描述的机器人，它们的全部公开内容通过引用合并于此。在其他方面，机器人108可参照后端103基本类似于在此所描述。微环境106可以为多个装载端口模块之间的衬底传送提供受控的清洁区。
[0009]至少一个真空装载锁102、102A、102B可位于微环境106和后端103之间并连接到它们。在其他方面，装载端口 105可基本上直接地联接到至少一个装载锁102、102A、102B或运输腔125A、125B、125C、125D，在该处衬底载具C被向下栗送到运输腔125A、125B、125C、125D 的真空，并且在衬底载具C和装载锁或运输腔之间直接传送衬底。在此方面，衬底载具C可用作装载锁，使得运输腔的处理真空延伸到衬底载具C。如可认识到的，在衬底载具C通过合适的装载端口基本上直接地联接到装载锁的情况下，任何合适的传送设备都可被设置在装载锁内，或能够接近载具C，以便将衬底传送到衬底载具C或从载具C传送衬底。注意到的是，在此使用的用语真空可表示高度真空，诸如1(T5托或以下，在其中处理衬底。至少一个装载锁 102、102A、102B大体包括大气和真空槽阀。装载锁102、102A、102B的(以及用于处理站130 的)槽阀可提供环境隔离，用于在从大气前端装载衬底之后排空装载锁并且当用诸如氮气的惰性气体锁使锁排气时维持运输腔中的真空。如本文将描述的，处理设备l〇〇A、100B、 100C、100D的槽阀可位于同一平面中、不同的竖直层叠的平面中、或可以是位于同一平面中的阀槽以及位于不同的竖直层叠平面中的槽阀组合(如以上参照装载端口的描述)，以适应衬底去到和来自至少处理站130以及联接到运输腔125六、1258、125(:、1250的装载锁102、 102A、102B的传送。至少一个装载锁102、102A、102B(和/或前端101)还可包括用于将衬底的基准点对准到期望的处理位置的对准器或任何其他合适的衬底度量装备。在其他方面，真空装载锁可位于处理设备的任何合适位置，并且具有任何合适的配置。
[0010]真空后端103大体包括运输腔125六、1258、125(:、1250、一个或更多个处理站130和任何合适数量的传送单元模块104,模块104包括一个或更多个传送机器人，机器人可包括本文描述的所公开实施例的一个或更多个方面。运输腔125六、1258、125(:、1250可具有任何合适的形状和尺寸，例如遵循SEMI标准E72准则。传送单元模块104及一个或更多个传送机器人将在下面描述，并且可至少部分地位于运输腔125六、1258、125(:、1250内，以在装载锁 102、102A、102B(或位于装载端口处的匣盒C)和各个处理站130之间运输衬底。在一个方面， 传送单元模块104可作为模块化单元从运输腔125六、1258、125(:、12^)移除，使得传送单元模块104遵循SEMI标准E72指南。
[0011]处理站130可通过各种沉积、蚀刻或其他类型的工艺在衬底上进行操作，以在衬底上形成电路和其他期望的结构。典型的工艺包括但不限于利用真空的薄膜工艺(诸如等离子体蚀刻或其他蚀刻工艺)化学气相沉积(CVD)、等离子体气相沉积(PVD)、注入(诸如离子注入)、度量法(metrology)、快速热处理(RTP)、干式剥离原子层沉积(dry strip atomic layer deposit1n)(ALD)、氧化/扩散、氮化物的形成、真空光刻、嘉晶(EPI)、打线接合以及蒸发或利用真空压力的其他薄膜工艺。处理站130以任何合适的方式(诸如通过槽阀SV)可通信地连接到运输腔125A、125B、125C、125D，以允许将衬底从运输腔125传递到处理站130， 反之亦然。运输腔125的槽阀SV可被布置成允许成双处理站(例如，位于公共壳体内的多于一个的衬底处理腔)或并排处理站130T1、130T2、单个处理站130S和/或层叠的处理模块/装载锁的连接(图1E和1F)。[〇〇12] 注意到的是，去到和来自处理站130、联接到传送腔125六、1258、125(:、1250的装载锁102、102A、102B(或匣盒C)的衬底传送可发生在传送单元模块104的一个或更多个臂与预定处理站130对齐时。根据所公开实施例的方面，一个或更多个衬底可单独地或基本同时地 (例如，诸如当从并排或纵列处理站拾取/放置衬底时，如图1B、1C和1D所示)被传送到相应的预定处理站130。在一个方面，传送单元模块104可被安装在吊臂143(例如见图1D)或线性载体144上，诸如2013年10月18日提交的名称为“Processing Apparatus”的美国临时专利申请第61/892,849号和2013年11月15日提交的名称为“Processing Apparatus”的第61/ 904,908号，以及2013年2月11日提交的名称为“Substrate Processing Apparatus”的国际专利申请PCT/US13/25513中描述的，这些申请的全部公开内容通过引用合并于此。[〇〇13] 现在参照图2A-2D，在一个方面，传送单元模块104包括至少一个驱动部段200、201 和至少一个传送臂210、211、212、213。至少一个驱动部段200、201可包括公共驱动部段200， 部段200包括框架200F，框架200F容纳Z轴驱动器270和旋转驱动部段282中的一个或更多个。框架200F的内部200FI可按任何合适的方式被密封，如下面将描述的。在一个方面，Z轴驱动器可以是任何合适的驱动器，被配置成沿Z轴移动至少一个传送臂210、211、212、213。2 轴驱动器在图2E中被图示成螺纹型驱动器，但在其他方面，驱动器可以是任何合适的线性驱动器，诸如线性致动器、压电电机等。旋转驱动部段282可被配置成任何合适的驱动部段， 诸如例如，谐波驱动部段。例如，旋转驱动部段282可包括任何合适数量的谐波驱动电机 280。在一个方面，图2E所示的旋转驱动部段282包括用于驱动轴280S的一个谐波驱动电机 280,但是在其他方面，驱动部段可包括任何合适数量的谐波驱动电机，其对应于，例如，同轴驱动系统中任何合适数量的驱动轴。谐波驱动电机280可具有高容量输出轴承，使得在传送单元模块104的期望旋转T和延伸R移动期间，磁流体密封件276、277的部件片至少部分地被谐波驱动电机280以足够的稳定性和空隙集中和支撑。注意到的是，磁流体密封件276、 277可包括形成基本同中心的同轴的密封件的若干零件，如下面将描述的。在本例子中，旋转驱动部段282包括壳体281，其以与美国专利6，845，250; 5，899，658; 5，813，823和5，720， 590中描述的基本类似的方式容纳驱动电机280,这些专利的全部公开内容通过引用合并于此。磁流体密封件276、277的公差可被定为密封驱动轴组件中的每个驱动轴280S。注意到的是，驱动轴280S还可具有中空结构(例如，具有沿驱动轴的中心纵向伸展的孔)，以允许线 290或任何其他合适的物品穿过驱动组件，以便连接到例如另一驱动部段(例如诸如驱动部段201)和/或被安装到驱动器200的至少一个传送臂210、211、212、213。[〇〇14]在一个方面，壳体281可被安装到联接到Z轴驱动器270上的载体270C，使得Z轴驱动器沿Z轴移动载体(和位于其上的壳体281)。如可认识到的，为了密封受控的大气，其中至少一个传送臂21〇、211、212、213从驱动器2〇〇(其可在大气压41￥环境中操作)内部操作，可包括一个或更多个上述磁流体密封件276、277和波纹管密封件275。波纹管密封件275的一端可联接到载体270C并且另一端联接到框架200FI的任何合适部分，使得框架200F的内部 200FI与至少一个传送臂210、211、212、213在其中操作的受控大气隔离开。[〇〇15]在此方面，驱动轴280S可联接到驱动部段201，以便沿箭头T方向围绕公共轴线CAX 旋转驱动部段201，轴线CAX可是至少一个传送臂210、211、212、213中的每个所公共的。这里，驱动部段201可包括基底构件250和至少一个驱动部分251、252。在此方面，有两个驱动部分251、252,但在其他方面，可设置任何合适数量的驱动部分。基底构件250包括形成内腔 250P的框架。每个驱动部分251、252还包括形成内腔300?的框架251?、252?，内腔300?与基底构件250的内腔250P密封地连通。如可认识到的，每个驱动部分251、252可包括可被例如任何合适的盖250C密封的任何合适的接近开口。如在图2B中可见的，基底构件250可包括第一和第二端，使得驱动部分251、252密封地联接到所述端中的相应一个。驱动部分可相对于彼此以任何合适的角0被布置，使得安装在其上的臂的延伸/收缩轴线能够延伸通过在其中放置有臂的传送腔125六、1258、125(:、1250的端口。例如，在一个方面，角|3(其可对应于驱动部分251、252的延伸/收缩轴线之间的角)可基本相同于或等于传送腔125A的面100Fl-l00F8的角a(图lA)。在其他方面，角￠可为约0，使得驱动部分(和安装在其上的臂)的延伸/ 收缩轴线彼此基本平行，以便延伸通过例如传送腔125B(图1B)、125C(图1C)、12?(图1D)的并排端口。在其他方面，角0可以是可调整的(手动的或通过自动操作，如下面将描述的)，使得驱动部分251、252的延伸/收缩轴线可相对于彼此具有任何合适的角0。例如，可在角度0 和0之间调整角0，用于延伸通过传送腔125C(图1C)的端口和/或用于自动工件对中，如下面将描述的。在其他方面，角0和/或驱动部分之间的间隔可以是固定的，使得传送单元模块 104的臂可，通过公共驱动轴线CAX的旋转和每个驱动部分251、252的独立延伸或操作，延伸通过具有成角度的面的传送模块的端口。基底构件250可具有任何合适的长度L1，使得每个驱动部分251、252的延伸和收缩轴线R1、R1分开固定距离，其中固定距离可对应于或以其他方式匹配系统工具配置所施加的要求(例如，传送单元模块104位于其中的模块的端口之间的距离)。[〇〇16] 此外参照图3A-3G，将参照驱动部分251描述驱动部分251、252。应该理解，驱动部分252可基本类似于驱动部分251。如上所示，驱动部分251包括框架251F，框架251F可由以任何合适的方式彼此密封地联接的第一框架构件251F1和第二框架构件251F2构成。在其他方面，框架可具有任何合适的配置并且由任何数量的框架构件组成。框架251F可包括被配置成用于以任何合适的方式将框架251F安装到基底构件250上的孔口或开口 251M，使得驱动部分251的内腔300P与基底构件250的内腔250P密封地连通，使得内腔250P、300P和驱动部段200的壳体281的内部之间分享公共的大气环境。在此方面，驱动部分251可被配置成支撑和驱动两个传送臂212、213,但在其他方面，驱动部分251可被配置成支撑和驱动任何合适数量的传送臂。驱动部分251可包括第一线性轨或滑动装置310A、310B(总称线性轨或滑动装置310)和第二线性轨或滑动装置311A、311B(总称线性轨或滑动装置311)，它们被配置成限定延伸和收缩每个相应的传送臂212、213的独立驱动轴线的自由度。在此方面，驱动部分包括第一驱动电机320和第二驱动电机321，其用于通过例如带和皮带轮驱动传动装置驱动相应臂212、213。虽然电机被图示为旋转电机，但在其他方面，可使用任何合适的电机和/ 或合适的驱动传动装置，诸如例如，直接驱动式线性电机、线性压电电机、线性电感电机、线性同步电机、有刷或无刷线性电机、线性步进电机、线性伺服电机、磁阻电机等。2011年10月 31 日提交的名称为“Linear Vacuum Robot with Z Mot1n and Articulated Arm”的美国专利申请第13/286,186号；2011年6月13体提交的名称为“Substrate Processing Apparatus”的 13/159,034;以及2011 年3月8日授权的名称为“Apparatus and Methods for Transporting and Processing Substrates”的美国专利第7,901,539号；2012年 10月23日授权的名称为 “Apparatus and Methods for Transporting and Processing Substrates” 的8,293,066;2013年4月16 日授权的名称为“Linear Vacuum Robot with Z Mot1n and Articulated Arm” 的8,419,341;2009年8月18 日授权的名称为“Substrate Processing Apparatus” 的7,575,406;以及2011 年6 月 14 日授权的名称为 “Substrate Processing Apparatus”的7,959,395中描述了合适的线性电机的例子，它们的全部公开内容通过引用合并于此。[〇〇17]第一和第二驱动电机320、321可以是基本类似于驱动电机280的谐波驱动器，但在其他方面，驱动电机320、321可以是任何合适的驱动电机。每个驱动电机320、321可具有相应的密封件320S、321S，诸如用于密封框架251中的孔口的磁流体密封件，电机320、321的驱动轴370延伸通过该孔口，以便以任何合适的方式联接到相应的驱动皮带轮332B、333A。驱动皮带轮332B、333A可以以任何合适的方式，诸如通过一个或更多个带，联接到相应的从动皮带轮332A、333B。例如，驱动皮带轮332B可通过带330A、330B联接到从动皮带轮332A。驱动皮带轮333A可通过带331A、333B联接到从动皮带轮333B。带33(^、33(?、3314、3318可以是任何合适的带，诸如例如，2013年8月26日提交的名称为“Substrate Transport Apparatus” 的美国临时专利申请第61/869,870号中描述的那些，该申请的全部公开内容通过引用合并于此。如可认识到的，本文描述的驱动轴可以具有任何合适的编码器，诸如编码器371、296、 371用于检测相应的驱动电机的位置并将一个或更多个信号发送到任何合适的控制器，诸如例如，用于控制传送单元模块104的控制器110。如也可认识到的，基底构件250和驱动部分251、252的密封内部允许每个驱动部分251、252的驱动电机320、321位于与传送臂210-213在其中操作的环境分离或以其他方式与之密封的大气环境中。基底构件250和驱动部分 25U252的密封内部还可允许线或软管从驱动部段200按路径来到驱动部段201。
[0018] 再次参照图2A-2D和4A-4B，将参照根据所公开实施例的方面的驱动部分252描述传送臂210-213。在此方面，传送臂210-213具有可伸缩配置，但在其他实施例中，传送臂 210-213可具有任何合适的配置。同样在此方面，每个驱动部分251、252包括两个可伸缩臂 210-213，但在其他实施例中，可在每个驱动部分251、252上设置任何合适数量的传送臂。在此方面，每个传送臂210-213包括基底构件210B、211B和可移动地联接到相应基底构件 210B、211B的末端执行器210E、211E。每个基底构件210B、211B可具有内部，该内部中可放置任何合适传动装置用于沿延伸/收缩轴线驱动末端执行器。基底构件的内部可暴露于传送臂在其中操作的环境，但可包括任何合适的密封件，诸如迷宫密封件，用于防止任何微粒进入环境或接触在环境中运输的工件。注意到的是，本文描述的每个末端执行器包括末端执行器安置平面SP(图2D)，衬底在被末端执行器保持时位于该平面中。基底构件210B可以通过线性轨310A、310B可移动地联接到驱动部分252,从而可相对于驱动部分252移动。基底构件211B可以通过线性轨311A、311B可移动地联接到驱动部分252,从而可相对于驱动部分 252移动。每个臂210、211具有由相应的轨限定的自由度，使得由线性轨限定的每个传送臂 210和211的自由度彼此平行(例如，末端执行器的传送平面一个位于另一个的上方)。如可认识到的，传送臂212、213具有类似的平行自由度。如还可认识到的，臂211的由线性轨限定的自由度可与传送臂212的由线性轨限定的自由度共面(例如，每个传送臂211、212的末端执行器位于相同平面中)，而臂210的由线性轨限定的自由度可与传送臂213的由线性轨限定的自由度共面(例如，每个传送臂210、213的末端执行器位于同一平面中)。[〇〇19]基底构件210B、211B可并排放置在驱动部分252上，使得基底构件210B联接到带 330A、330B中的至少一个，使得当带330A、330B被电机320驱动时，基底构件210B与带330A、 330B中的至少一个一起沿延伸/收缩方向R移动。基底构件211B联接到带331A、331B中的至少一个，使得当带331A、331B被电机321驱动时，基底构件211B与带331A、331B中的至少一个一起沿延伸/收缩方向R移动。在其他方面，基底构件可相对于彼此具有任何合适的空间布置。
[0020]基底构件210B可包括至少部分地位于基底构件的内部内的线性轨或滑动装置 410A、410B，末端执行器210E可移动地安装到基底构件，用于与基底构件210B和驱动部分 252的相对旋转。皮带轮410、411、420、421可以可旋转地被安装在相应基底构件2108、2118 的内部内的端处或任何其他合适的位置处。一个或更多个带(类似于上述带)、单个连续环带/皮带或任何其他合适的传动构件412、422可将皮带轮410、411、420、421中相应的皮带轮联接到彼此。在一个方面，每个传动构件412、422可以驱动部分252的框架252F为基础，使得基底构件210B、211B和框架252F之间的相对移动驱动相应的传动构件412、422。末端执行器 211E可联接到传动构件412,使得当基底构件211B沿箭头R方向移动时，末端执行器也沿箭头R方向相对于基底构件211B以由例如皮带轮410、411限定的任何合适的传动比移动。类似地，末端执行器210E可联接到传动构件412,使得当基底构件210B沿箭头R方向移动时，末端执行器也沿箭头R方向相对于基底构件210B以由例如皮带轮420、421限定的任何合适的传动比移动。如可认识到的，桥构件400可被设置在末端执行器中的一个上，诸如末端执行器 211E、212E，使得末端执行器211E、212E可位于相应的驱动部分251、252的另一末端执行器 210E、213E上方，同时允许末端执行器在彼此之上/之下通过。
[0021]如上所示，仅为了示范起见，本文描述的传送臂被图示为可伸缩臂(或滑动臂，如下所述)。但是，在其他方面，传送臂可以是任何合适的传送臂，诸如，用于线性滑动臂214， 如图2G所示。在其他方面，臂可以是SCARA臂215(图2H)或具有任何合适的臂联动机构的其他合适臂。在例如2009年8月25日授权的美国专利第7，578,649,1998年8月18日授权的5， 794，487，2011 年5月24 日授权的7，946，800，2002年11 月 26 日授权的6，485，250，2011年2月 22日授权的7,891，935,2013年4月16日授权的8,419,341，以及2011年11月10日提交的名称为“Dual Arm Robot”美国专利申请第13/293,717号和2013年9月5日提交的名称为“Linear Vacuum Robot with Z Mot1n and Articulated Arm” 的 13/861,693号中可找到臂联动机构的合适例子，它们的全部公开内容通过引用合并于此。在所公开实施例的方面，至少一个传送臂源自常规SCARA(选择顺应关节型机器人臂)型设计，其包括上臂、带驱动的前臂和带限制的末端执行器，或源自可伸缩臂或任何其他合适的臂设计。在例如2008年5月8日提交的名称为“Substrate Transport Apparatus with Multiple Movable Arms Utilizing a Mechanical Switch Mechanism”的美国专利申请第12/117,415号以及2010年1月19日授权的美国专利第7,648,327号中可找到传送臂的合适例子，它们的全部公开内容通过引用合并于此。传送臂的操作可彼此独立(例如，每个臂的延伸/收缩与其他臂相独立)，可通过空转开关操作，或者可以以任何合适的方式可操作地连接，使得臂分享至少一个公共驱动轴线。在其他方面，运输臂可具有任何其他期望的布置，诸如蛙腿臂(frog-leg arm)216(图 2F)配置、蛙跳臂(leap frog arm)217(图2J)配置、两侧对称臂218(图21)配置等。在2001年 5月15日授权的美国专利第6，231，297号，1993年1月19日授权的5，180，276，2002年10月15 日授权的6,464,448,2001年5月1日授权的6,224,319，1995年9月5日授权的5,447,409， 2009年8月25日授权的7，578，649，1998年8月18日授权的5，794，487，2011年5月24日授权的 7,946,800,2002年11 月22 日授权的6,485,250,2011年2月22 日授权的7,891,935,以及2011 年11月10日提交的名称为“Dual Arm Robot”的美国专利申请第13/293,717号和2011年10 月11日提交的名称为“Coaxial Drive Vacuum Robot”的13/270,844中可找到运输臂的合适例子，它们的全部公开内容通过引用合并于此。[〇〇22]现在参照图5A-5E，根据所公开实施例的方面图示运输单元模块104A。运输单元模块104A基本上类似于所描述的运输单元模块104,并且包括驱动部段200、201’。这里，驱动部段201’包括具有形成内腔551的框架550F的基底构件550。在一个方面，内腔551可包括可拆卸盖550C和任何合适的密封构件550CS，用于在盖550C与框架550F匹配时密封盖550C和框架550F之间的分界处。内腔可以以与上述方式基本类似的方式与驱动部段200的内部连通。在此方面，驱动部分251、252可以以任何合适的方式被可移动地安装到驱动部段201’的基底构件550,以为驱动部分251、252的臂提供相对于臂的延伸/收缩轴线R成角度的自由度。[〇〇23]在一个方面，驱动部段可包括用于可移动地支撑驱动部段251、252中的相应一个的波纹管或密封支撑构件560、561。每个波纹管构件560、561可包括支座构件560S、561S，其以任何合适的方式，诸如通过波纹管密封件560B、561B，可移动地连接到安装构件560M、 561M。安装构件560M、561M被配置成用于以任何合适的方式联接到框架550F，使得支座构件 560S、561S通过相应的孔口或开口 575A、575B至少部分地插入内腔551。在一个方面，任何合适的密封构件565A、565B可位于安装构件560M、561M和框架550F之间，用于维持内腔551内的密封环境。在一个方面，波纹管密封件560B、561B可由任何合适的材料构成并具有任何合适的配置，以为支座构件560S、561S提供轴向支撑，例如沿X和Z方向的轴向支撑。在其他方面，支座构件560S、561S可以以任何合适的方式被轴向地支撑，诸如通过至少部分地位于内腔551内并且相对于臂在其中操作的环境密封的线性轨、衬套、轴承等。例如，框架550F可包括位于内腔551内的一个或更多个线性轨588A、588B(图5E)。每个支座构件560S、561S可被固定地安装到或包括一个或更多个轨导引构件6111、6112、610、6114，轨导引构件被配置成使得支座构件560S、561S可沿线性轨在箭头599的方向上移动并且在X和Z方向上被线性轨 588A、588B 支撑。[〇〇24] 每个支座构件560S、561S包括接口 566A、566B，接口被配置成以任何合适的方式将支座构件560S、561S与相应的驱动部分251、252联接，使得支座构件5603、5613的内部通道 IP促进内腔551和相应驱动部分251、252的内腔300P之间的大气连通，同时允许例如线、软管等在基底构件550和相应的驱动部分251、252之间的通道。如可认识到的，任何合适的索系或保持构件597可被设置在内腔551内，用于保持或以其他方式固定穿过支座构件560S、 561S的内部通道IP的任何线、软管等的移动侧。在一个方面，任何合适的密封构件566S可位于接口566A、566B和相应的框架251F、252F之间，使得内腔551、300P的内部大气可相对于传送臂在其中操作的环境被密封。[〇〇25] 每个支座构件560S、561S可包括轴部分5603?、5613?，轴部分形成内部通道1?并延伸通过孔口 575A、575B，至少部分地进入基底构件550的内腔551。一个或更多个驱动器510、 520可以以任何合适的方式位于基底构件550内，用于给予至少一个支座构件560S、561S和联接到其上的驱动部分251、252线性运动(例如，在箭头599的方向上沿Y轴)。如可认识到的，驱动部分251、252在箭头599方向上的移动还提供被安装到驱动部分251、252上的传送臂210-213的移动。在一个方面，驱动器510、520可以是任何合适的线性驱动器，诸如滚珠丝杠驱动器，其具有电机510M、520M、由所述电机驱动的滚珠丝杠510S、520S以及沿着滚珠丝杠运动的滚珠螺母。滚珠螺母可一体形成到或以其他方式联接到滚珠螺母适配器或联接器 510C、520C。联接器510C、520C固定连接到相应的支座构件560S、561S，并包括用于接合滚珠丝杠的滚珠螺母，使得支座构件560S、561S联接到相应的驱动器510、520。在一个方面，联接器510C、520C联接到，例如相应的支座构件560S、561S的一个或更多个轨导引构件GM1-GM4， 而在其他方面，联接器510C、520C可基本直接地联接到或一体形成到相应的支座构件560S、 561S的轴部分560SP、561SP。这里，每个驱动器510、520的驱动轴线被布置成基本上沿Y轴 (例如，基本上平行于支座构件560S、561S的移动方向599)，使得当滚珠丝杠旋转时，联接器 510C、520C沿滚珠丝杠在箭头599的方向上移动，在箭头599的方向上移动相应的支座构件 560S、561S。虽然驱动器510、520被图示为线性滚珠丝杠驱动器，但在其他方面，驱动器可以是直接驱动式线性电机、线性压电电机、线性电感电机、线性同步电机、有刷或无刷线性电机、线性步进电机、线性伺服电机、磁阻电机或任何其他合适的线性驱动器。在其他方面，旋转电机可被提供用于通过任何合适的传动构件在箭头599的方向上驱动支座构件560S、 561S(及位于其上的臂)。[〇〇26] 虽然驱动部段201’在图5A-5E中被图示为具有两个线性驱动器510、520,用于沿Y 轴在箭头599的方向上使传送臂210-213相对于彼此移动和/或相对于基底构件550移动，但在其他方面，驱动部段201’可配置有一个线性驱动器，使得仅一个驱动部分251、252可沿Y 轴相对于基底构件550和/或其他驱动部分251、252移动。如可认识到的，一个或更多个驱动部分251、252的移动用于改变驱动部分251、252的延伸/收缩轴线1?1、1?2之间的距离0、或相应的延伸/收缩轴线R1、R2和公共旋转轴线CAX之间的距离D1、D2。当传送臂210-213将工件拾取或放置到处理站130时，一个或更多个延伸/收缩轴线R1、R2的移置可允许自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125六、1258、125(:、12^)的面之间的工件保持站的位置改变。例如，参照图1B，驱动部段200可旋转基底构件550，使得延伸/收缩轴线 R1、R2面向处理站130T1、130T2。延伸/收缩轴线R1、R2中的一个或更多个可在箭头599的方向上沿Y轴被移置，用于根据任何合适的自动工件对中程序或算法，使延伸/收缩轴线与处理站130T1、130T2中的一个或更多个内的工件保持站对齐。例如，一个或更多个传感器 123A、123B可与相应的处理站130T1、130T2相邻放置，用于检测运载工件的臂210-213的一个或更多个特征。一个或更多个传感器123A、13B可将任何合适的信号发送到，例如，任何合适的控制器，诸如控制器110，用于确定工件S的中心。控制器110可控制运输单元模块104A 的一个或更多个驱动器，使得相应延伸/收缩轴线R1、R2被移置，从而使得工件S的中心与处理站130T1、130T2内的工件保持站的预定位置对齐。在一个方面，延伸/收缩轴线都可被移置，用于自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125A、125B、125C、 125D的面之间的工件保持站的位置改变。在另一方面，线性电机520可操作以移动驱动部分 251，使得仅移置延伸/收缩轴线R1，从而使得工件S的中心与处理站130T1内的工件保持站的预定位置对齐。在另一方面，线性电机510可操作以移动驱动部分252,使得仅延伸/收缩轴线R2与处理站130T2内的工件保持站对齐。可在例如2012年9月14提交的名称为“Wafer Center Finding with Kalman Filter”的美国专利申请第13/617,333号以及2011 年4月12 日授权的名称为“Process Apparatus with On-The-Fly Workpiece Centering”的美国专利第7,925,378号；2010年 12月28日授权的名称为“Wafer Center Finding with Charge-Coupled Devices” 的7,859,685;2012年9月18 日授权的名称为“Wafer Center Finding with a Kalman Filter” 的8,270,702;2010年9月7 日授权的名称为 “Wafer Center Finding” 的7，792，350; 2011年2月22 日授权的名称为 “Wafer Center Finding” 的7，894， 657;2012年2月28 日授权的名称为“Wafer Center Finding with Charge-Coupled Devices” 的8,125,652;以及2012年8月28 日授权的名称为“Wafer Center Finding with Charge-Coupled Devices”的8,253,945可找到自动工件对中的合适例子，它们的全部公开内容通过引用合并于此。如可认识到的，一个或更多个编码器510E、520E基本上类似于上述那些，可用于检测驱动电机510、520的位置和/或臂210-213(及其上保持的工件)沿Y轴的移置，以便实现自动工件对中和/或独立的工件放置调整，以便面之间的工件保持站的位置改变。[〇〇27]现在参照图6A和6B，根据所公开实施例的方面，图示了传送单元模块104B。传送单元模块104B可基本上类似于上述传送单元模块104A。在此方面，旋转驱动部分600、601以与以上参照驱动部分251、252描述的方式类似的方式联接到波纹管构件560、561。一个或更多个合适的传送臂605、606(诸如以上参照图2F-2J描述的那些或能够被旋转电机驱动的任何其他合适的传送臂)可以以任何合适的方式被驱动地安装到每个旋转驱动部分600、601。在此方面，每个旋转驱动部分600、601包括框架或壳体600F、601F、以任何合适的方式被安装到框架或壳体600F、601F的第一驱动电机610和第二驱动电机620。电机布置方式可以是如图所示的同轴电机布置方式，或者在其他方面，电机可以并排布置。驱动电机可以是任何合适的电机，诸如例如，压电电机、电感电机、同步电机、有刷或无刷电机、线性步进电机、伺服电机、磁阻电机、谐波驱动电机等。第一电机610可包括定子610S和转子610R。第二电机620 可包括定子620S和转子620R。在此方面，同轴驱动轴组件645以任何合适的方式被可旋转地支撑并至少部分地在框架600F、601F内，通过诸如例如，基本无接触(例如，诸如利用自轴承电机)或利用任何合适的轴承。同轴驱动轴组件645包括外驱动轴640和内驱动轴650。转子 610R可以以任何合适的方式联接到外驱动轴640,使得当转子610R旋转时，驱动轴640与它一起旋转。在其他方面，任何合适数量的驱动电机可被设置在每个旋转驱动部分600、601 中，用于驱动任何合适数量的驱动轴。在一个方面，转子610R、620R和驱动轴组件645可位于传送臂605、606在其中操作的环境内。任何合适的密封件660,诸如罐密封件(can seal)，可位于定子610S、620S和它们相应的转子610R、620R之间，使得定子相对于传送臂605、606在其中操作的环境被隔离或密封，并且位于驱动部段200的内部和基底构件550公共的大气环境内。在其他方面，一个或更多个磁流体密封件可被设置在每个驱动轴640、650周围，用于相对于传送臂605、606在其中操作的环境密封转子2101?、2201?和定子6103、6203。在例如 2011年10月11日提交的名称为“Coaxial Drive Vacuum Robot”的美国专利申请第13/270， 844号；2012年10月5 日提交的名称为 “Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings” 的 13/646,282;以及 1998年2月24日授权的名称为“Articulated Arm Transfer Device”的美国专利第5,720,590号；1999年5月4日授权的名称为“Articulated Arm Transfer Device” 的5,899,658;1998年9月29 日授权的名称为“Articulated Arm Transfer Device” 的5， 813,823;以及2012年 10月9 日授权的名称为“Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings”的8,283,813中可找到旋转驱动部分的合适例子，它们的全部公开内容通过引用合并于此。在其他方面，驱动部分600、601中的一个或更多个(或本文描述的其他驱动部分 251、252、251’、252’、850、851中的任何驱动部分)还可包括Z轴驱动器600Z、601Z，Z轴驱动器被配置成相对于另一个驱动部分600、601的臂移动附接在其上的臂中的一个或更多个。 [〇〇28]现在参照图7A-7C，根据所公开实施例的方面，图示了传送单元模块104C。传送单元模块104C可基本上类似于上述传送单元模块104。在此方面，驱动部分251’、252’可包括具有皮带轮的驱动系统，皮带轮与末端执行器210E-213E的安置平面基本平行，同时用于每个臂210-213的驱动电机320、321位于基底构件201’内。将参照图7A描述驱动部分251’，但是应该理解，驱动部分252’基本上类似于驱动部分251’。驱动部分251’包括可具有任何合适的尺寸、形状和/或配置的框架251F’。虽然为了示范起见框架251F’被图示为平板，但是在其他方面，框架251F’可包括用于容纳驱动传送系统的任何合适的盖，使得盖被配置成基本上防止驱动传动装置产生的任何微粒进入臂在其中操作的环境。框架251F’可包括任何合适的轨或导引构件，其类似于以上描述的那些参照传送单元模块104、104A，其上可移动地安装有相应的基底构件210B、211B。每个驱动电机320、321可包括联接到相应的驱动皮带轮733A、733B的驱动轴，用于驱动相应的皮带或带740、741，其可基本上类似于上述那些。如可认识到的，任何合适的惰轮7344、7348、735六、7358可被设置和安装到框架251?’，用于引导与相应的基底构件210B、211B相邻的皮带或带740、741，使得皮带或带可被固定地联接或锚固到基底构件，用于以上述方式驱动相应的臂210、211。如还可认识到的，基底构件201’ 可被合适地密封，诸如利用盖250C，使得电机位于与驱动部段200公共的大气环境中。虽然在图7A中两个驱动部分被示出为被安装到基底构件201’，但在其他方面，多于或少于两个的驱动部分可被安装到基底构件201’。例如，图7C图示被安装到基底部分201’上的有两个臂的单个驱动部分。如可认识到的，图7C所示的单个驱动部分可以是与以上描述的类似的三轴线驱动器。在一个方面，三轴线驱动器的一个驱动轴线可联接到皮带轮，用于驱动臂 210的延伸/收缩，三轴线驱动器的一个轴线可联接到框架251F’，用于旋转作为一个单元的旋转臂210、211，并且三轴线驱动器的一个轴线可联接到皮带轮，用于驱动臂211的延伸/收缩。[〇〇29] 现在参照图8A-9D，根据所公开实施例的方面，图示了传送单元模块104D。传送单元模块104D可基本上类似于上述传送单元模块104。在此方面，驱动部分800、801配置有单级线性滑动臂810-813。在此方面，每个驱动部分800、801包括具有密封的电机部段860和传动部段853的框架851、852。将参照驱动部分801描述驱动部分800、801，但是应该理解，驱动部分800基本上类似于如图8A所示的并且可能与之成镜像。密封的电机部段860可包括被固定地安装到框架851并且被配置成容纳电机320、321的壳体或盖851C1。可利用任何合适的密封构件860S将壳体851C1密封到框架，使得电机320、321位于与驱动部段200内的大气环境公共的大气环境内。以与上述方式基本类似的方式，壳体851C1可包括孔口或开口 851M， 其被配置成以任何合适的方式将壳体851C1安装到密封的支撑构件560,诸如上述的。如可认识到的，壳体851C1可由任何合适的材料构成，并且被配置成支撑(例如，当联接到密封的支撑构件560时)框架851、驱动部件、臂812、813以及由臂812、813运载的任何工件。电机 320、321可以以任何合适的方式被安装到框架251，使得，例如，相应电机320、321的磁流体密封件320S密封框架851中的相应开口 973、974，驱动轴370延伸通过该开口，以便维持密封的电机部段860内的密封大气。
[0030] 一个或更多个线性轨或导引构件930、931可以以任何合适的方式被安装到传动部段853内的框架851，从而限定至少一个臂812、813的独立驱动轴线的自由度。在此方面，有两个导轨930、931沿X轴或臂812、813的延伸/收缩轴线R放置，但是在其他方面，任何合适数量的轨可被设置用于导引任何合适数量的臂。载具或臂支撑件940、941可被安装到相应的轨，从而被轨支撑并且可沿X轴(例如，沿延伸/收缩轴线R)移动。在此方面，载具940被可移动地安装到导轨930,并且载具941被可移动地安装到导轨931。每个载具可包括臂安装部分 940M、941M，相应的臂812、813被固定地附接到臂安装部分上。可以以任何合适的方式配置载具940、941，使得允许载具940、941中的一个沿延伸/收缩轴线1?经过载具940、941中的另一个。通过任何合适的驱动传动装置，载具940可联接到电机320并且载具941可联接到电机 321(反之亦然)。在一个方面，驱动皮带轮921可联接到电机320的轴370,使得当轴370旋转时，驱动皮带轮921与它一起旋转。惰轮910A、910B可基本上位于导轨930、931的相反端处并且被配置成使得一个或更多个皮带或带可至少部分地绕惰轮910A、910B缠绕。此外参照图 9E和9F，一个或更多个皮带或带940B1、940B2(例如，基本类似于上述那些)可将驱动皮带轮 920、921联接到相应的载具940、941。例如，参照驱动皮带轮921和载具940，第一带/皮带 940B1可在第一带/皮带940B1的一端BE1处被固定地联接到皮带轮921。带/皮带940B1可至少部分地绕惰轮910A缠绕并延伸到载具940,使得带/皮带940B1的另一相反端BE2被固定地联接到载具940。第二带/皮带940B2可在第二带/皮带940B2的一端BE3处被固定地联接到皮带轮921。带/皮带940B2可至少部分地绕惰轮910B缠绕并延伸到载具940(例如，从与第一带/皮带940B1的方向相反的方向，使得带/皮带940B1、940B2中的一个拉动载具，同时另一个带/皮带940B1、940B2推动载具)，使得带/皮带940B2的另一相反端BE4被固定地联接到载具940。类似地，参照载具941，第一带/皮带940B1可在第一带/皮带940B1的一端处被固定地联接到皮带轮920。带/皮带940B1可至少部分地绕惰轮910A缠绕并延伸到载具941，使得带/ 皮带940B1的另一相反端被固定地联接到载具941。第二带/皮带940B2可在第二带/皮带 940B2的一端处被固定地联接到皮带轮920。带/皮带940B2可至少部分地绕惰轮910B缠绕并延伸到载具941(例如，从与第一带/皮带940B1的方向相反的方向，使得带/皮带940B1、 940B2中的一个拉动载具，同时另一个带/皮带940B1、940B2推动载具)，使得带/皮带940B2 的另一相反端被固定地联接到载具941。[〇〇31] 在一个方面，传动部段853可暴露于臂812、813在其中操作的大气，但可包括一个或更多个盖，以基本上防止皮带/带、皮带轮、和/或载具/轨产生的任何微粒进入环境并接触由臂812、813保持的工件。在一个方面，盖851C3可位于传动部段853的至少一部分之上， 诸如在驱动皮带轮920、921的至少一部分之上。盖851C3可包括与导轨930、931相邻放置的密封部分998。盖851C2也可位于导轨930、931之上并被配置成允许载具940、941横越它们相应的导轨930、931。盖85102可包括密封部分997，使得密封部分997、998朝向彼此延伸。在一个方面，空间或开口901可被设置在密封部分997、998之间，使得载具940、941的臂安装部分 940M、941M可延伸通过空间或开口 901，以便连接到相应的臂812、813,并且使得相应的臂 812、813—个位于另一个之上。密封部分997、998可形成迷宫密封件，以基本上包含盖 851C2、851C3内的任何微粒，同时允许臂812、813的延伸/收缩。
[0032]在其他方面，载具中的一个或更多个可由任何合适的线性电机(诸如上述那些)基本上直接地驱动。例如，在一个方面，传动部段853可相对于臂812、813在其中操作的大气被密封，使得以与上参照密封电机部段860所描述的基本类似的方式，使公共大气环境在传动部段853和驱动部段200之间被分享。导轨930、931可位于传动部段外侧，并且包括载具940、 941和具有密封部分997、998的盖。每个载具可具有附接到其上的磁性随动件，磁性随动件通过例如传动部段853的壁或盖经由磁性随动件和磁性驱动器之间的磁力联接以与例如下述文献中描述的基本类似的方式由磁性驱动器磁性地驱动，所述文献是美国专利第7,901， 539 ;8,293,066;8,419,341号以及美国专利申请13/286,186,所有这些之前都已经通过引用将全部内容合并于此。在另一方面，每个载具940、941可包括磁性压板，位于传动部段853 的密封大气环境内的电机绕组的线性阵列以与例如下述文献中描述的基本类似的方式驱动，所述文献是美国专利第7，575，406; 7，959，395号以及美国专利申请第13/159，034号，所有这些之前都已经通过引用将全部内容合并于此。[〇〇33] 在一个方面，每个臂810-813包括末端执行器810E-813E，末端执行器通过基本刚性的臂部段或末端执行器延伸构件810EM-813EM联接到相应的载具940、941。例如，基本刚性的臂部段810EM-813EM可以以任何合适的方式，诸如通过机械紧固件，被固定地联接到相应的载具940、941的相应臂安装部分940M、941M。末端执行器810E-813E可以以任何合适的方式，诸如通过机械紧固件，被固定地联接到相应的基本刚性的臂部段810EM-813EM。在其他方面，基本刚性的臂部段810EM-813EM和相应的末端执行器810E-813E可具有统一的一件式构造。在其他方面，基本刚性的臂部段810EM-813EM、相应的末端执行器810E-813E和相应的载具940、941可具有统一的一件式构造。[〇〇34]如从以上描述中可见的，每个末端执行器810E-813E可沿相应的延伸/收缩轴线R1、R2独立地延伸/收缩。如从以上描述中同样可见的，每个驱动部分800、801可独立于驱动部分800、801中的另一个沿Y轴独立地移动，从而改变延伸/收缩轴线R1、R2之间相对于彼此的距离D或改变一个或更多个延伸/收缩轴线相对于公共旋转轴线CAX(见图5A)的距离D1、 D2，以便自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125A、125B、125C、 125D的面之间的以与上述的基本类似的方式进行的工件保持站的位置改变。参照图10A和 10B，在一个方面，驱动部分800、801中的一个可沿Y轴相对于另一个驱动部分800、801和/或公共轴线CAX移动，而驱动部分800、801中的另一个相对于公共轴线0六乂具有固定的距离01、 D2并且不可沿Y轴移动。例如，驱动部分800可通过密封的支撑构件560被可移动地安装到基底构件550,从而通过位于基底构件550内的驱动器510沿Y轴可移动。驱动部分801可通过固定的支撑构件1000被固定地安装到基底构件550,其中，固定的支撑构件被配置成允许至少密封的电机部段860和驱动部段200之间的大气连通。[〇〇35] 现在参照图11A和11B，驱动部分800、801’中的一个或更多个可以相对于驱动部分 800、801’中的另一个可枢转，以便改变延伸/收缩轴线R1、R2之间的角0，并且以便允许自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125六、1258、125(:、12^)的面之间的工件保持站的位置改变。例如，可与上述一个或更多个传送单元基本类似的传送单元模块104E，可包括与基底构件550基本类似的基底构件1150。在此方面，基底构件1150可被配置成以任何合适的方式，诸如例如，通过固定的支撑构件1000,联接到驱动部分800。基底构件1150还可被配置成与驱动部分801’(其可基本上类似于上述驱动部分801)联接。这里，基底构件可包括任何合适的驱动器1100(其可基本上类似于上述驱动器280、320、321、610、 620中的一个或更多个)。驱动轴1100D可延伸通过基底部分1150的壁，以便联接到壳体 851C1’(其可基本上类似于上述壳体851C1)，使得驱动部分801和臂812、813可围绕公共轴线XI沿箭头T2方向枢转，以便改变角0。如可认识到的，由驱动部分800保持的一个或更多个工件可通过例如围绕轴线CAX旋转作为一个单元的两个驱动部分对中，且由驱动部分801’ 保持的一个或更多个工件可通过围绕轴线XI旋转驱动部分800’对中。[〇〇36]在其他方面，如在图11C中可见的，驱动部分800 ’(其可基本上类似于驱动部分 801’)和驱动部分801’可以被可枢转地安装到基底构件1150’(其可基本上类似于基底构件 1150)，使得每个驱动部分被配置成围绕相应的轴线X1、X1沿相应的方向T1、T2被相应的驱动器110枢转，以改变角0。这里，可通过使每个驱动部分800 ’、801’旋转任何预定量来执行自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125A、125B、125C、12?的面之间的工件保持站的位置改变。在一个方面，两个驱动部分都可作为一个单元围绕轴线CAX 旋转，也可通过一个或更多个驱动部分800’、801’围绕相应的轴线X1、X2旋转来使由驱动部分800’、801’保持的一个或更多个工件对中。[〇〇37] 在另一方面，一个或更多个臂810-813沿Y轴的移动还可连同一个或更多个驱动部分800、801的旋转一起被提供。例如，参照图11D，基底构件被配置成通过密封的支撑构件 560与壳体851C1联接，从而可沿Y轴移动。在其他方面，壳体851C1可通过固定的支撑构件 1000联接到基底构件1150。枢转壳体1130(其可基本上类似于壳体851C1’)可以以与以上参照图11A-11C描述的基本类似的方式枢转地联接到基底构件1150。壳体1130可具有与密封的支撑构件561联接的孔口，并且可以以与以上参照基底构件550描述的基本类似的方式包括线性驱动电机1110。驱动部分801可通过壳体851C1以与上述方式基本类似的方式联接到密封的支撑构件861。在其他方面，驱动部分800、801都可以以任何合适的方式被安装到枢转壳体1130。[〇〇38] 现在参照图12A和12B，在一个方面，驱动部分800、801的密封驱动部段壳体1250、 1251中的一个或更多个可被配置成围绕公共轴线CAX可旋转地被联接到驱动部段200,使得一个或更多个驱动部分800、801可围绕公共轴线CAX枢转，以便改变角0并允许自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125六、1258、125(:、12^)的面之间的工件保持站的位置改变。例如，壳体1251(其可基本上类似于上述壳体851C1)可基本上直接地联接到驱动部段200的驱动轴280S，使得当驱动轴280S旋转时，壳体1251与驱动轴280S—起旋转。壳体1250(其可基本上类似于上述壳体851C1)可围绕公共轴线CAX可旋转地被安装到壳体1251。例如，任何合适的驱动器1200(诸如上述280、320、321、610、620)可位于壳体1251 内。壳体1251可包括驱动轴1200S延伸通过的孔口，并且壳体1250可包括与驱动轴1200S联接的孔口。如可认识到的，任何合适的密封件(诸如上述那些)可围绕驱动轴放置在驱动器 1200和壳体1251之间以及驱动器1200S和壳体1250之间，用于维持壳体1250、1251和驱动部段200内的密封大气环境。在一个方面，任何合适的轴承1200B也可被设置在壳体1250、1251 之间，而在其他方面，可不包括轴承，使得壳体1250由驱动轴1200S以及驱动轴1200和壳体 1251之间的联接来支撑。这里，驱动器280和1200可独立地操作，使得驱动部分可以以任何合适的方式围绕公共轴线CAX相对于彼此枢转，以便改变角0。在其他方面，驱动部分800、 801中的一个或更多个可沿Y轴可移动。例如，参照图12C，可设置枢转壳体1220(其可基本上类似于枢转壳体1130)，使得驱动部分800、801的壳体851C1通过密封的支撑构件560以与以上参照图11D描述的基本类似的方式联接到枢转壳体1220。这里，枢转壳体1220和/或壳体 1250、1251的旋转允许调整角0，而一个或更多个驱动部分800、801沿Y轴的移动允许调整延伸/收缩轴线R1、R2和公共轴线CAX之间的距离D1、D2,以便自动的工件对中和/或独立的工件放置调整，以便例如传送模块125A、125B、125C、12?的面之间的工件保持站的位置改变。 [〇〇39] 在一个方面，参照图11A-12C，任何合适数量的控制器110A、110B可位于本文描述的传送单元模块内。在一个方面，可存在用于传送单元模块内的一个或更多个驱动器的控制器。这些控制器110A、110B可连接到控制器110或任何其他合适的控制器。如上所述，在一个方面，控制器110A、110B可以是集群控制结构的一部分，而在其他方面，控制器可以是任何合适的结构。应该理解，在一个方面，本发明描述的传送单元模块中的任何一个或更多个包括在传送单元模块内的任何合适数量的控制器，用于实现末端执行器的线性和旋转移动中的一个或更多个。
[0040]参照图13,根据所公开实施例的方面，图示了传送单元模块104F。传送单元模块 104F可基本上类似于上述传送单元模块104。在此方面，双晶片延伸或末端执行器13310、 13311位于线性驱动腔内，诸如本文描述的运输腔125六、1258、125(:、1250、125￡，其中，由于以上论述的原因，驱动部段200(在一个方面，如上所述，其包括容纳Z轴驱动器270和旋转驱动部段282中的一个或更多个的框架20(F)位于传送腔301外。
[0041]此外参照图14,示出了根据所公开实施例的方面的示例性的单个线性驱动器 13400的示意图。在一个方面，臂104E的上末端执行器13310和下末端执行器13311各自由相应的单个线性驱动器13400驱动，以实现每个末端执行器13310、13311的独立延伸和收缩。 在其他方面，末端执行器13310U3311通过任何合适的驱动器，诸如本文描述的那些，以任何合适的方式延伸和收缩。如在图14中可见的，每个末端执行器连接到以任何合适的方式支撑末端执行器13310、13311的末端执行器台13411。在一个方面，末端执行器台13411形成末端执行器13310、13311的相应部分，其中，末端执行器台与末端执行器一体形成，而在其他方面，末端执行器台以任何合适的方式联接到末端执行器13310、13311。在一个方面，单个线性驱动器13400是关节式机构(例如，在通过单个或一个自由度驱动器实现末端执行器台和中间台两者的双重线性延伸的情况下)，由此通过任何合适的传动装置，末端执行器台 13411的运动被放大成中间台13410的运动的二倍，其中，中间台13410将末端执行器台 13411(并且因而末端执行器13310、13311)连接到台板或臂基底构件13423,如下面将描述的。如可认识到的，在其他方面，末端执行器台的运动相对于中间台13410被放大任何合适的量(例如，比二倍大)或以1:1比率延伸。在一个方面，通过经由皮带13420移动中间台 13410来实现放大，在皮带轮13424、13425之间被拉伸的皮带13420以任何合适的方式被安装到例如中间台13410的相反端。在其他方面，皮带轮13424、13425被安装在中间台13410的任何合适的相应位置处。此关节设计在中间台13410和末端执行器台13411的运动(分别由X 和R坐标表示)之间产生1:2的延伸/收缩比。在一个方面，中间台13410由任何合适的线性电机14000驱动。例如，线性电机14000包括驱动部分或定子13421和从动部分13422。至少线性电机14000的从动部分13422被安装在中间台13410上，并因而与中间台13410—起移动。中间台13410沿台板13423在例如任何合适的线性轴承上(诸如例如，被安装到台板13423上的中间线性轴承13401)滑行。被安装到中间台13410上的末端执行器线性轴承13402给予末端执行器台13411关节式运动。末端执行器轴承13402包括一个或更多个轴承座13402B和轨 13402R，其中，一个或更多个轴承座13402B沿轨13402R运动。在一个方面，末端执行器轴承 13402包括两个轴承座13402B，而在其他方面，末端执行器轴承13402包括多于两个轴承座 13402B。如可认识到的，末端执行器轴承13402基本上类似于中间线性轴承13401。任何合适数量的线性编码器15000附接到中间台13410和末端执行器台13411中的一个或更多个，以提供用于末端执行器的延伸/收缩的运动控制的位置反馈。
[0042]现在参照图16A-16C，根据所公开实施例的方面，传送单元模块104F’被图示处于延伸的和收缩的配置。传送单元模块104F’基本上类似于上述传送单元模块104F，并且以与参照传送单元模块104描述的基本类似的方式被用于本文描述的运输腔125A、125B、125C、 125D、125E中的任何一个或更多个。这里，仅为了示范起见，图示一个末端执行器13310,并且应该理解，在其他方面，传送单元模块104F’包括任何合适数量的末端执行器，诸如末端执行器13310、13311。在一个方面，末端执行器台13411和末端执行器13310(为了解释，在本文中被称作末端执行器13310)具有比中间台13410的长度大的组合长度，以形成具有长度不等的连接件或构件的延伸臂。在另一方面，末端执行器13310的长度基本等于中间台 13410的长度，以形成具有长度相等的连接件或构件的延伸臂。在此方面，传送单元模块 104F’的旋转中心与轴线CAX基本重合，在一个方面，轴线CAX是驱动部段200的旋转轴线，使得轴线CAX基本位于台板13423的中点处。
[0043]现在参照图17A-17C，根据所公开实施例的方面，传送单元模块104F’’被图示处于延伸的和收缩的配置。传送单元模块104F’’基本上类似于上述传送单元模块104F，并且以与参照传送单元模块104描述的基本类似的方式被用于本文描述的运输腔125A、125B、 125C、125D、125E中的任何一个或更多个。这里，仅为了示范起见，图示一个末端执行器13310,并且应该理解，在其他方面，传送单元模块104F’包括任何合适数量的末端执行器， 诸如末端执行器13310、13311。在一个方面，末端执行器台13411和末端执行器13310(为了解释，在本文中被称作末端执行器13310)具有比中间台13410的长度大的组合长度，以形成具有长度不等的连接件或构件的延伸臂。在另一方面，末端执行器13310的长度基本等于中间台13410的长度，以形成具有长度相等的连接件或构件的延伸臂。在此方面，传送单元模块104F’的旋转中心与轴线CAX基本重合，在一个方面，轴线CAX是驱动部段200的旋转轴线， 使得轴线CAX位于台板13423的端部处(例如，轴线CAX偏离台板14323的中点)。
[0044]现在参照图18,根据所公开实施例的方面，传送单元模块104F’ ’’被图示处于延伸的和收缩的配置。传送单元模块104F’ ’’基本上类似于上述传送单元模块104F，并且以与参照传送单元模块104描述的基本类似的方式被用于例如本文描述的运输腔125A(或任何其他合适的传送腔，其中，所述腔的面具有多边形布置)。这里，台板13423为基本刚性的连接件，其具有基本“U”或“V”形形状，背离传送单元模块104F’ ’’的主肩部旋转轴线(例如，轴线 CAX)延伸，使得位于台板13423上的多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线可相对于彼此成角度，并且多个臂中的至少两个的末端执行器安置平面SP基本共面。在一个方面，至少一个臂被大体安装在臂基底构件的每个相反端处。在此方面，台板13423包括关于轴线CAX相对于彼此以任何合适的角度a成角度的第一部分13423A和第二部分13423B，其允许被安装到第一和第二部分13423A、13423B的末端执行器13310、13311接近相邻的处理模块130(例如，被安装在第一部分上的末端执行器的延伸/收缩轴线R和被安装在第二部分上的末端执行器的延伸/收缩轴线R相对于彼此成角度a)。在一个方面，第一和第二部分13423A、13423B 之间的角度a是可调整的，而在其他方面，角度a是固定的并且不能改变。这里，仅为了示范起见，末端执行器13310被图示为被安装到部分13423A，而末端执行器13311被安装到部分 13423B，但是应该理解，在其他方面，传送单元模块104F’ ’ ’包括在第一和第二部分13423A、 13423B中的每个上一个层叠在另一个之上的任何合适数量的末端执行器。在一个方面，末端执行器13310、13311的长度比中间台13410的长度大，以形成具有长度不等的连接件或构件的延伸臂。在另一方面，末端执行器13310的长度基本等于中间台13410的长度，以形成具有长度相等的连接件或构件的延伸臂。
[0045]现在参照图19,传送单元模块104F’ ’’’被图示并且基本上类似于上述传送单元模块104F’ ’ ’。但是，在此方面，台板13423被布置成使得(在台板13423的相反端处)被安装到第一和第二部分13423A、13423B上的末端执行器13310、13311接近相邻的处理模块130,从而使得被安装在第一部分上的末端执行器的延伸/收缩轴线R和被安装在第二部分上的末端执行器的延伸/收缩轴线R1、R2彼此平行。在一个方面，第一部分13423A上的至少一个臂的末端执行器安置平面SP与第二部分13423B上的至少一个臂的末端执行器安置平面SP基本共面。这里，轴线R1、R2被放置成与轴线CAX相距相应的距离D1、D2(并且彼此相距距离扪。 在一个方面，可以以与上述方式基本类似的方式调整距离D1、D2中的一个或更多个(以及因而距离￠)。在其他方面，被安装到第一和第二部分13423A、13423B上的末端执行器13310、 13311中的一个或更多个可相对于台板13423围绕相应的轴线X1、X2以与上述方式基本类似的方式旋转。在其他方面，距离D1、D2中的一个或更多个是可调整的，并且被安装到第一和第二部分13423六、134238上的末端执行器13310、13311中的一个或更多个可相对于台板 13423以与上述方式基本类似的方式旋转。
[0046]图20和21图示传送单元模块104F、104F’、104F’ ’、104F’ ’ ’、104F’ ’ ’ ’如何被安装到吊臂143的例子。例如，传送单元模块104F、104F’、104F’ ’、104F’ ’ ’、104F’ ’ ’ ’中的每个以与以上参照传送单元模块104描述的基本类似的方式被安装到吊臂143。
[0047]根据所公开实施例的一个或更多个方面，传送设备包括:框架;连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和独立驱动轴线，其用于相对于所述多个臂中的其他臂延伸和收缩相应的臂；线性轨，其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂;其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度另一驱动轴线。[〇〇48]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线相对于延伸和收缩轴线成角度。
[0049]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与所述末端执行器的安置平面共面。
[0050]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与其他独立的自由度成角度。
[0051]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度平行于其他独立的自由度。
[0052]根据所公开实施例的一个或更多个方面，传送设备还包括第二公共驱动轴线，其被配置成围绕公共轴线一致地移动所述多个臂的。
[0053]根据所公开实施例的一个或更多个方面，另一驱动轴线实现自动的工件对中。 [〇〇54]根据所公开实施例的一个或更多个方面，另一驱动轴线实现用于工件保持站位置改变的独立工件放置调整。
[0055]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂是可伸缩臂。
[0056]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备包括连接到框架的臂基底构件，多个臂中的每个被安装到臂基底构件，使得多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线彼此分隔开。
[0057]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少两个之间的间隔是可调整的。[〇〇58]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备包括连接到框架的臂基底构件，所述多个臂中的每个被安装到臂基底构件，使得多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线彼此成角度。
[0059]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述臂基底构件具有大体U形或大体V形形状，使多个臂中的至少一个被大体安装在所述臂基底构件的每个相反端处。
[0060]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少两个之间的角度是可调整的。[0061 ]根据所公开实施例的一个或更多个方面，一种传送设备包括:框架;连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线，以将工件运输到运输腔中和从运输腔中运输工件；线性驱动轴线，其为至少一个臂限定另一自由度，该另一自由度与所述末端执行器的安置平面共面；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。
[0062]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线相对于延伸和收缩轴线成角度。
[0063]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与所述末端执行器的安置平面共面。
[0064]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与其他独立的自由度成角度。
[0065]根据所公开实施例的一个或更多个方面，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度平行于其他独立的自由度。
[0066]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备还包括第二公共驱动轴线，其被配置成围绕公共轴线一致地移动所述多个臂。
[0067]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述独立的自由度实现自动的工件对中。
[0068]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述独立的自由度实现用于工件保持站位置改变的独立工件放置调整。
[0069]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂是可伸缩臂。
[0070]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备包括连接到框架的臂基底构件，所述多个臂中的每个被安装到臂基底构件，使得多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线彼此分隔开。
[0071]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少两个之间的间隔是可调整的。
[0072]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备包括连接到框架的臂基底构件，所述多个臂中的每个被安装到臂基底构件，使得多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线彼此成角度。
[0073]根据所公开实施例的一个或更多个方面，臂基底构件具有大体U形或大体V形形状，使多个臂中的至少一个被大体安装在臂基底构件的每个相反端处。
[0074]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少两个之间的角度是可调整的。
[0075]根据所公开实施例的一个或更多个方面，一种传送设备，包括:框架，其形成具有腔大气的密封腔;连接到所述框架并且位于所述密封腔内的多个臂，每个臂具有用于延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线;第一驱动部段，其位于所述密封腔外侧并且连接到所述多个臂，用于围绕公共轴线移动所述多个臂；以及第二驱动部段，其位于所述密封腔内侧，所述第二驱动部段包括密封壳体，所述密封壳体被配置成保持与腔大气不同的密封大气；其中，所述密封壳体具有第一密封部分和第二密封部分，所述第一密封部分包括用于至少一个臂的第一自由度的第一驱动轴，所述第二密封部分与所述第一密封部分密封地连通并且包括用于至少一个臂的第二自由度的第二驱动轴。
[0076]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少一个包括与用于延伸和收缩相应的臂的所述驱动轴相独立的第二自由度。
[0077]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第二自由度实现自动的工件对中。
[0078]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第二自由度实现用于工件保持站位置改变的独立工件放置调整。
[0079]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述密封壳体包括在所述密封壳体中的开口，所述第二密封部分通过所述开口与所述第一密封部分连通。
[0080]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个相对于相应的臂的延伸和收缩轴线成角度。
[0081]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个与末端执行器的安置平面共面。
[0082]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个相对于其他独立的自由度成角度。
[0083]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个平行于其他独立的自由度。
[0084]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述第一驱动部段包括公共旋转驱动轴线，其被配置成围绕公共的旋转轴线一致地旋转所述多个臂。
[0085]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂是可伸缩臂。
[0086]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备包括连接到框架的臂基底构件，多个臂中的每个被安装到臂基底构件，使得多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线彼此分隔开。
[0087]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少两个之间的间隔是可调整的。
[0088]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述传送设备包括连接到框架的臂基底构件，多个臂中的每个被安装到臂基底构件，使得多个臂中的至少两个的延伸和收缩轴线彼此成角度。
[0089]根据所公开实施例的一个或更多个方面，臂基底构件具有大体U形或大体V形形状，使多个臂中的至少一个被大体安装在臂基底构件的每个相反端处。
[0090]根据所公开实施例的一个或更多个方面，所述多个臂中的至少两个之间的角度是可调整的。
[0091]应该理解，以上描述仅是说明所公开实施例的方面。在不脱离所公开实施例的方面的情况下，本领域技术人员可想出各种替代方案和修改。因此，所公开实施例的方面试图包括落在所附权利要求范围内的所有这类替代方案、修改和改变。此外，仅仅不同特征被记载在互不相同的从属或独立权利要求中的事实并不表示不能有利地使用这些特征的结合，这种结合仍在本发明方面的范围内。
【主权项】
1.一种传送设备，包括:框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他 臂延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线；线性轨，所述线性轨限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以 及公共驱动轴线，所述公共驱动轴线被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所 述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度 的另一驱动轴线。2.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线相对于 延伸和收缩轴线成角度。3.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置 成，使得所述独立的自由度与所述末端执行器的安置平面共面。4.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置 成，使得所述独立的自由度与其他独立的自由度成角度。5.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置 成，使得所述独立的自由度平行于其他独立的自由度。6.如权利要求1所述的传送设备，还包括被配置成围绕公共轴线一致地移动所述多个 臂的第二公共驱动轴线。7.如权利要求1所述的传送设备，其中，所述另一驱动轴线实现自动的工件对中。8.如权利要求1所述的传送设备，其中，所述另一驱动轴线实现用于工件保持站位置改 变的独立工件放置调整。9.如权利要求1所述的传送设备，其中，所述多个臂是可伸缩臂。10.—种传送设备，包括:框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于延伸和收缩相应的臂的独立 驱动轴线，以将工件运输到运输腔中和从运输腔中运输工件；线性驱动轴线，其为至少一个臂限定另一自由度，所述另一自由度与所述末端执行器 的安置平面共面；以及公共驱动轴线，所述公共驱动轴线被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所 述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度 的另一驱动轴线。11.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线相对 于延伸和收缩轴线成角度。12.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布 置成，使得所述独立的自由度与所述末端执行器的安置平面共面。13.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与其他独立的自由度成角度。14.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布 置成，使得所述独立的自由度平行于其他独立的自由度。15.如权利要求10所述的传送设备，还包括被配置成围绕公共轴线一致地移动所述多 个臂的第二公共驱动轴线。16.如权利要求10所述的传送设备，其中，所述独立的自由度实现自动的工件对中。17.如权利要求10所述的传送设备，其中，所述独立的自由度实现用于工件保持站位置 改变的独立工件放置调整。18.如权利要求10所述的传送设备，其中，所述多个臂是可伸缩臂。19.一种传送设备，包括:框架，所述框架形成具有腔大气的密封腔；多个臂，所述多个臂连接到所述框架并且位于所述密封腔内，每个臂具有用于延伸和 收缩相应的臂的独立驱动轴线；第一驱动部段，位于所述密封腔外侧并且连接到所述多个臂，用于围绕公共轴线移动 所述多个臂；以及第二驱动部段，位于所述密封腔内侧，所述第二驱动部段包括密封壳体，所述密封壳体 被配置成保持与腔大气不同的密封大气；其中，所述密封壳体具有第一密封部分和第二密封部分，所述第一密封部分包括用于 至少一个臂的第一自由度的第一驱动轴，所述第二密封部分与所述第一密封部分密封地连 通并且包括用于至少一个臂的第二自由度的第二驱动轴。20.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述多个臂中的至少一个包括与用于延伸和 收缩相应的臂的所述驱动轴相独立的第二自由度。21.如权利要求20所述的传送设备，其中，所述第二自由度实现自动的工件对中。22.如权利要求20所述的传送设备，其中，所述第二自由度实现用于工件保持站位置改 变的独立工件放置调整。23.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述密封壳体包括在所述密封壳体中的开 口，所述第二密封部分通过所述开口与所述第一密封部分连通。24.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个 相对于相应的臂的延伸和收缩轴线成角度。25.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个 与末端执行器的安置平面共面。26.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个 相对于其他独立的自由度成角度。27.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一个 平行于其他独立的自由度。28.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述第一驱动部段包括被配置成围绕公共的 旋转轴线一致地旋转所述多个臂的公共旋转驱动轴线。29.如权利要求19所述的传送设备，其中，所述多个臂是可伸缩臂。
【文档编号】H01L21/677GK105981154SQ201480075737
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2014年12月15日
【发明人】R.T.卡夫尼, U.吉尔克里斯特, A.克鲁皮舍夫
【申请人】布鲁克斯自动化公司