吸附型末端执行器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种机器手末端执行设备，特别是涉及一种用于搬运高温工件的吸附型末端执行器。
【背景技术】
[0002]在半导体行业内，晶圆搬运机器手使用广泛，作为机器手重要执行部件的末端执行器更是必不可少。现有的末端执行器种类繁多，但有一种末端执行器较为特殊一一耐高温吸附末端执行器。这种末端执行器之所以特殊，是因为其一般在300°C到800°C之间使用，温差范围较大，而且还需要吸附搬运高温工件。现有技术中的末端执行器如中国发明专利CN 103302676 B中公开的一种环槽型真空吸盘末端执行器，包括开有抽气孔的安装板，在安装板的下面固接有吸盘，吸盘上形成有与抽气孔相通的橡胶环形槽，橡胶环形槽与被吸附物件的上端边沿吻合，使被吸附物件的上端边沿能够压入所述橡胶环形槽内。这种末端执行器只能适用于一般温度场合，一旦用于温度过高的场合，则因吸附高温工件造成执行器内部温度过高，极易损坏执行器的相关零件，使末端执行器寿命降低，增加了维护成本，严重时还可能会造成生产事故。而且耐高温末端执行器一般造价较高，制造周期长，使用时一旦发生问题，很难立即处理解决。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种耐高温、寿命长、维护成本低的吸附型末端执行器。
[0004]本实用新型吸附型末端执行器，包括安装座，安装座上连接有吸气管和抽气口，抽气口与吸气管相通，吸气管的另一端连接有气体混合室，吸气管外侧套装有冷却套筒，冷却套筒与吸气管之间留有间隙，冷却套筒一端设置有进气口，冷却套筒另一端设置的盖板将气体混合室顶部封闭，且冷却套筒内部与气体混合室相通，气体混合室还连接有耐高温手指O
[0005]本实用新型吸附型末端执行器，其中所述耐高温手指一端设置有连接端，连接端与气体混合室固定连接，耐高温手指另一端设置有环形吸附凸台，环形吸附凸台内侧加工的吸附孔通过气道与气体混合室相通。
[0006]本实用新型吸附型末端执行器与现有技术不同之处在于本实用新型吸附型末端执行器在吸气管外侧套装了一个冷却套筒，并通过进气口连接冷气管路不断向气体混合室内充入既不影响吸附效果，又能使零部件降温的低温气体，使处于高温区的高温气体与低温气体混合，到达降温的目的，避免因长期高温造成零部件的损坏，延长了本实用新型吸附型末端执行器的使用寿命，同时也降低了设备维护的成本。
[0007]下面结合附图对本实用新型的吸附型末端执行器作进一步说明。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型吸附型末端执行器的结构示意图；
[0009]图2为本实用新型吸附型末端执行器中耐高温手指的结构示意图；
[0010]图3为本实用新型吸附型末端执行器的装配爆炸图；
[0011]图4为本实用新型吸附型末端执行器中气体混合室内的气体流动示意图。
【具体实施方式】
[0012]如图1和图3所示，本实用新型吸附型末端执行器包括安装座I，安装座I用于与机器手臂上设计的安装位置固定连接。如图3所示，安装座I上连接有吸气管10和抽气口 6，抽气口 6与吸气管10相通。吸气管10的另一端连接有气体混合室4。如图1和图3所示，吸气管10外侧套装有冷却套筒2，冷却套筒2与吸气管10之间留有可容气体通过的空隙。冷却套筒2—端设置有进气口 5，冷却套筒2另一端设置有盖板12，盖板12安装在气体混合室4上方，将气体混合室4顶部封闭，冷却套筒2内部与气体混合室4相通。气体混合室4还连接有耐高温手指3，耐高温手指3用于吸附工件。如图2所示，耐高温手指3—端设置有连接端7，连接端7通过螺钉与气体混合室4固定连接，耐高温手指3另一端设置有环形吸附凸台9，环形吸附凸台9内侧四周加工有吸附孔8，如图3和图4所示，吸附孔8通过气道11与气体混合室4相通。
[0013]本实用新型吸附型末端执行器的工作原理如下:当机器手臂将吸附型末端执行器由常温区移至高温区待吸取元件时，如图4所示，抽气口 6连接的真空管路开始抽气，并在耐高温手指3上的环形吸附凸台9处形成负压，便于吸取元件。由于元件本身温度很高，再加之元件周围气体的高温环境，会使耐高温手指3的温度迅速上升，并将热量传递给附近常温区的部件，如果时间过长，位于常温区的密封件和紧固件很可能会变形损毁。因此环形吸附凸台9开始吸附元件时，与进气口 5相连接的低温管路开始工作，向冷却套筒2内连续吹入既不影响吸附效果，又能使零部件降温的低温气体。同时需要适当增加并保持抽气口 6和吸气管10的压力，以防止环形吸附凸台9处的吸附力不足，导致工件掉落。冷却套筒2内新充入的低温气体和耐高温手指3中抽出的高温气体会共同流经气体混合室4，混合气体以达到降温的目的。由于冷却套筒2内持续吹气，抽气口 6处持续吸气，气体有进有出，自然形成了冷却循环气路。而且不断吸气提供持续且适当的压力，元件也不会因气路循环而掉落。
[0014]以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种吸附型末端执行器，其特征在于:包括安装座，安装座上连接有吸气管和抽气口，抽气口与吸气管相通，吸气管的另一端连接有气体混合室，吸气管外侧套装有冷却套筒，冷却套筒与吸气管之间留有间隙，冷却套筒一端设置有进气口，冷却套筒另一端设置的盖板将气体混合室顶部封闭，且冷却套筒内部与气体混合室相通，气体混合室还连接有耐尚温手指O2.根据权利要求1所述的吸附型末端执行器，其特征在于:所述耐高温手指一端设置有连接端，连接端与气体混合室固定连接，耐高温手指另一端设置有环形吸附凸台，环形吸附凸台内侧加工的吸附孔通过气道与气体混合室相通。
【专利摘要】本实用新型吸附型末端执行器涉及一种用于搬运高温工件的机械手末端执行设备。其目的是为了提供一种耐高温、寿命长、维护成本低的吸附型末端执行器。本实用新型吸附型末端执行器包括安装座，安装座上连接有吸气管和抽气口，抽气口与吸气管相通，吸气管的另一端连接有气体混合室，吸气管外侧套装有冷却套筒，冷却套筒与吸气管之间留有间隙，冷却套筒一端设置有进气口，冷却套筒另一端设置的盖板将气体混合室顶部封闭，且冷却套筒内部与气体混合室相通，气体混合室还连接有耐高温手指。
【IPC分类】H01L21/687
【公开号】CN205376490
【申请号】CN201620111537
【发明人】孙金召, 周卫国, 刘冬梅
【申请人】北京锐洁机器人科技有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年2月3日