致动器的制作方法

本发明涉及产生各种振动的致动器。

背景技术：

作为由磁驱动机构产生振动的设备，提案有一种致动器，其具有具备磁铁的支承体和具备在第一方向上与磁铁对置的线圈的可动体，且在可动体和支承体之间配置有弹性部件(参照专利文献1)。另外，在专利文献1记载的致动器中，在与第一方向正交的第二方向上线性地驱动可动体的第一磁驱动电路设置于在第一方向上分开的两个部位，并且，在与第一方向正交且与第二方向交叉的第三方向上线性地驱动可动体的第二磁驱动电路设置于第二方向的两个部位。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016－127789号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在专利文献1记载的致动器中，在使可动体进行第二方向上的振动及第三方向上的振动的情况下，对两个第一磁驱动电路中使用的线圈施加同一波形的驱动信号，另一方面，对两个第二磁驱动电路中使用的线圈施加同一波形的驱动信号。因此，采用使对两个第一磁驱动电路中使用的线圈的供电电极共用，且使对两个第二磁驱动电路中使用的线圈的供电电极共用的结构。另一方面，在专利文献1中，提案有一种技术，通过对两个第一磁驱动电路中使用的线圈施加反相交流电，使可动体进行绕与第二方向正交的轴线的往返旋转的动作，但在如上所述共用供电电极的情况下，难以对两个第一磁驱动电路中使用的线圈施加反相交流电。因此，要想绕与第二方向正交的轴线往返旋转，需要切换线圈和所述电路的配线连接，因此，难以进行绕与第二方向正交的轴线的旋转驱动。

鉴于上述问题，本发明的技术问题在于，提供一种致动器，该致动器可以向多个磁驱动电路各自的线圈供给任意的驱动信号。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种致动器，其特征在于，具有：支承体；可动体，所述可动体相对于所述支承体可移动；第一磁驱动电路，所述第一磁驱动电路具备在第一方向上对置的第一线圈及第一磁铁，产生在与所述第一方向正交的第二方向上驱动所述可动体的驱动力；第二磁驱动电路，所述第二磁驱动电路具备在第一方向上对置的第二线圈及第二磁铁，产生在与所述第一方向正交的第二方向上驱动所述可动体的驱动力；第三磁驱动电路，所述第三磁驱动电路在远离所述第一磁驱动电路的位置具备在所述第一方向上对置的第三线圈及第三磁铁，产生在与所述第一方向正交且与所述第二方向交叉的第三方向上驱动所述可动体的驱动力；以及基板，所述基板被持有于所述支承体，在所述基板上具有：电连接于所述第一线圈的一端的第一供电电极、电连接于所述第一线圈的另一端的第二供电电极、电连接于所述第二线圈的一端的第三供电电极、电连接于所述第二线圈的另一端的第四供电电极、电连接于所述第三线圈的一端的第五供电电极以及电连接于所述第三线圈的另一端的第六供电电极。

在本发明中，在持有于支承体的基板上设置有电连接于第一线圈的一端的第一供电电极、电连接于第一线圈的另一端的第二供电电极、电连接于第二线圈的一端的第三供电电极、电连接于第二线圈的另一端的第四供电电极、电连接于第三线圈的一端的第五供电电极以及电连接于第三线圈的另一端的第六供电电极。因此，可以向第三线圈供给与在经由第一电极及第二电极向第一线圈供给驱动信号时，供给到第一线圈的驱动振动相同的驱动信号。另外，可以经由第五供电电极及第六供电电极向第三线圈供给波形与经由第一电极及第二电极向第一线圈供给驱动信号时，供给到第一线圈的驱动振动不同的任意的驱动信号。因此，可动体可以容易地进行组合了基于供给到第一线圈的驱动信号的驱动和基于供给到第三线圈的驱动信号的驱动的复杂的驱动。

在本发明中，可以采用以下方式：所述支承体具备覆盖所述可动体、所述第一磁驱动电路、所述第二磁驱动电路以及所述第三磁驱动电路的罩，在所述罩上形成有使所述第一供电电极、所述第二供电电极、所述第三供电电极、所述第四供电电极、所述第五供电电极以及所述第六供电电极露出的开口部。根据这种方式，即使在设置了罩的情况下，可动体也能够容易地进行组合了基于供给到第一线圈的驱动信号的驱动和基于供给到第三线圈的驱动信号的驱动的复杂的驱动。

在本发明中，可以采用以下方式：所述第一供电电极、所述第二供电电极、所述第三供电电极、所述第四供电电极、所述第五供电电极以及所述第六供电电极各自独立地连接配线。

在本发明中，可以采用以下方式：经由所述第一供电电极及所述第二供电电极向所述第一线圈施加的第一线圈驱动信号、经由所述第五供电电极及所述第六供电电极向所述第三线圈施加的第三线圈驱动信号具有不同的波形。例如，可以采用以下方式：所述第一线圈驱动信号和所述第三线圈驱动信号具有反相波形，所述第一磁驱动电路和所述第三磁驱动电路产生在所述第二方向上反向驱动所述可动体的驱动力。

在本发明中，可以采用以下方式：所述第一磁驱动电路、所述第二磁驱动电路以及所述第三磁驱动电路从所述第一方向的一侧向另一侧依次重叠配置。根据这种方式，可以减小从第一方向观察致动器时的尺寸(平面面积)。

在本发明中，可以采用以下方式：所述第二磁驱动电路的磁中心位置位于与所述可动体的重心在所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向上一致的位置或大致一致的位置，将所述第一磁驱动电路的磁性中心位置和所述第三磁驱动电路的磁性中心位置合成的磁性中心位置位于与所述可动体的重心在所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向上一致的位置或大致一致的位置。根据这种方式，可以避免沿第二方向驱动可动体、沿第三方向驱动可动体时可动体倾斜等事态。

附图说明

图1是应用了本发明的致动器的立体图。

图2是拆下了图1所示的罩的状态的致动器的分解立体图。

图3是表示沿第一方向及第二方向切断图1所示的致动器时的说明图。

图4是表示沿第一方向及第三方向切断图1所示的致动器时的说明图。

图5是拆下了图2所示的第一端板和第二端板的状态的致动器的分解立体图。

图6是分解图1所示的致动器中使用的磁驱动电路时的分解立体图。

图7是图6所示的第一磁驱动电路的分解立体图。

图8是图6所示的第二磁驱动电路的分解立体图。

图9是图6所示的第三磁驱动电路的分解立体图。

具体实施方式

参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在以下的说明中，将相互交叉的三个方向分别设为x方向、y方向以及z方向进行说明。z方向是与x方向及y方向正交的方向。另外，在x方向的一侧标注x1，在x方向的另一侧标注x2，在y方向的一侧标注y1，在y方向的另一侧标注y2，在z方向的一侧标注z1，在z方向的另一侧标注z2进行说明。在此，x方向、y方向以及z方向各自与本发明中的方向具有以下关系。

x方向＝本发明中的“第二方向”

y方向＝本发明中的“第三方向”

z方向＝本发明中的“第一方向”

(整体构成)

图1是应用了本发明的致动器1的立体图。图2是拆下了图1所示的罩11的状态的致动器1的分解立体图。图3是表示沿第一方向(z方向)及第二方向(x方向)切断图1所示的致动器1时的说明图。图4是表示沿第一方向(z方向)及第三方向(y方向)切断图1所示的致动器1时的说明图。图5是拆下了图2所示的第一端板28及第二端板29的状态的致动器1的分解立体图。

如图1及图2所示，本实施方式的致动器1具有在z方向开口的方筒状的罩11和收纳于罩11的内侧的长方体形状的本体部分10，在本体部分10的y方向(第三方向)的一侧y1的表面粘贴有基板15。在基板15上形成有连接有后文将描述的线圈的端部的多个线圈连接电极151、多个供电电极153以及分别连接多个线圈连接电极151和多个供电电极153的配线152。从上位的驱动装置(未图示)延伸出的配线(未图示)连接在多个供电电极153上。因此，在罩11上形成有使多个供电电极153露出的开口部110。

如图3、图4以及图5所示，致动器1具有支承体2、可动体3以及配置在支承体2和可动体3之间的弹性部件4，可动体3经由弹性部件4支承于支承体2，且可沿z方向(第一方向)、x方向(第二方向)以及y方向移动。另外，致动器1具有相对于支承体2在x方向及y方向上驱动可动体3使可动体3振动的多个磁驱动电路(第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8)。

支承体2在z方向的一侧z1的端部及另一侧z2的端部具有第一端板28及第二端板29。第一端板28在z方向的一侧z1与可动体3对置，在可动体3和第一端板28之间配置有第一弹性部件41(弹性部件4)。第二端板29在z方向的另一侧z2与可动体3对置，在可动体3和第二端板29之间配置有第二弹性部件42(弹性部件4)。

弹性部件4是具备粘弹性的粘弹性体，在本实施方式中，使用板状的凝胶状减振部件作为弹性部件4(粘弹性体)。第一弹性部件41的z方向的两面分别通过粘接等方法连接到可动体3及第一端板28。第二端板29，第二弹性部件42的z方向的两面分别通过粘接等方法连接到可动体3及第二端板29。即，弹性部件4设置于相对于可动体3的第一方向z的一侧z1及相对于可动体3的第一方向z的另一侧z2各侧。另外，弹性部件4配置为第一弹性部件41和第二弹性部件42，其中，第一弹性部件41与可动体3及支承体2中在第一方向z的一侧z1与可动体3对置的部分(第一端板28)双方相接，第二弹性部件42与可动体3及支承体2中在第一方向z的另一侧z2与可动体3对置的部分(第二端板29)双方相接。

凝胶状减振部件根据其伸缩方向具备线性或非线性的伸缩特性。例如，板状的凝胶状减振部件在沿其厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量比线性分量大的伸缩特性，另一方面，在沿厚度方向(轴向)被拉伸而伸长的情况下，具备线性分量比非线性分量大的伸缩特性。另外，在沿与厚度方向(轴向)交叉的方向(剪切方向)变形的情况下，也具备线性分量比非线性分量大的变形特性。在本实施方式中，构成为在可动体3沿x方向及y方向振动时，弹性部件4(粘弹性体)沿剪切方向变形。

多个磁驱动电路(第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8)均具有线圈和与各线圈对置的磁铁。线圈设置于支承体2及可动体3的一侧部件上，磁铁设置于另一侧部件上。在本实施方式中，如下所述，线圈(第一线圈61、第二线圈71以及第三线圈81)及线圈支架(第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85)设置2于支承体2。另外，在可动体3上设置有磁铁(第一磁铁621、622、第二磁铁721、722以及第三磁铁821、822)及轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)。另外，第一磁驱动电路6配置成在z方向的一侧z1与第二磁驱动电路7重叠，第三磁驱动电路8配置成在与第一磁驱动电路6相反的一侧与第二磁驱动电路7重叠。因此，第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置。

(驱动电路的构成)

图6是将图1所示的致动器1中使用的磁驱动电路分解时的分解立体图。如图3、图4、图5以及图6所示，第一磁驱动电路6具有第一线圈61、在z方向的一侧z1与第一线圈61对置的第一磁铁621和在z方向的另一侧z2与第一线圈61对置的第一磁铁622。第二磁驱动电路7具有第二线圈71、在z方向的一侧z1与第二线圈71对置的第二磁铁721以及在z方向的另一侧z2与第二线圈71对置的第二磁铁722。第三磁驱动电路8具有第三线圈81、在z方向的一侧z1与第三线圈81对置的第三磁铁821以及在z方向的另一侧z2与第三线圈81对置的第三磁铁822。

为了沿z方向重叠配置如上所述构成的第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8，支承体2具有持有第一线圈61的第一线圈支架65、持有第二线圈71的第二线圈支架75以及持有第三线圈81的第三线圈支架85，第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置。另外，第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85的在z方向上相邻的线圈支架彼此连接。

另外，可动体3具备相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1并且第一线圈61和第二线圈71之间、第二线圈71和第三线圈81之间以及相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的多个轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)，第一磁铁621、622、第二磁铁721、722以及第三磁铁821、822分别持有于多个轭中的任何一个上。另外，多个轭的在z方向上相邻的轭彼此连接。

在本实施方式中，在多个轭中包含相对于第一线圈61配置于z方向的两侧的第一轭64、相对于第二线圈71配置于z方向的两侧的第二轭74以及相对于第三线圈81配置于z方向的两侧的第三轭84。第一轭64持有相对于第一线圈61配置于z方向的两侧的第一磁铁621、622。第二轭74持有相对于第二线圈71配置于z方向的两侧的第二磁铁721、722。第三轭84持有相对于第三线圈配置于z方向的两侧的第三磁铁821、822。

(第一磁驱动电路6的详细构成)

图7是图6所示的第一磁驱动电路6的分解立体图。如图5、图6以及图7所示，第一线圈支架65具备内侧持有第一线圈61的第一框部66和从第一框部66的端部(四个角)朝向z方向的两侧突出的多个第一柱状部69。第一柱状部69与第一端板28连接。第一线圈支架65为树脂制或金属制。在本实施方式中，第一线圈支架65及第一端板28为树脂制。

第一磁驱动电路6中使用的第一线圈61是具有沿y方向延伸的第一有效边部分611、612(长边部分)的椭圆形空心线圈。与该形状相对应，在第一线圈支架65的第一框部66形成有使长径方向朝向y方向的椭圆形状的第一开口部67，第一线圈61通过粘接等固定在第一开口部67的内侧。

在第一线圈支架65中，相对于第一框部66在z方向的一侧z1，在与第一开口部67的y方向的两端部重叠的位置形成有第一座部681、682，该第一座部681、682在z方向的一侧z1支承在第一线圈61的两端部沿x方向延伸的第一无效边部分613、614(短边部分)。第一座部分681、682从第一框部66向z方向的一侧z1突出，由第一开口部67的y方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第一框部66的z方向的另一侧z2的面上，从第一开口部67朝向x方向的另一侧x2且y方向的一侧y1延伸出槽661，该槽661是用于使第一线圈61的卷绕开始的引出部分穿过的导向槽。第一框部66的厚度(z方向的尺寸)大于第一线圈61的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第一线圈61被收纳在第一开口部67的内侧的状态下，第一线圈61不从第一框部66向z方向的另一侧z2突出。

第一磁铁621、622分别具有长方形的平面形状，长边沿x方向延伸，短边沿y方向延伸。第一磁铁621、622分别在x方向上被分极磁化，n极及s极分别与第一线圈61的第一有效边部分611、612对置。因此，当对第一线圈61通电时，第一磁驱动电路6产生沿x方向驱动可动体3的驱动力。在第一磁驱动电路6中，第一轭64由相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1的轭板641和相对于第一线圈61配置于z方向的另一侧z2的轭板642构成。轭板641具有用z方向的另一侧z2的面持有第一磁铁621的平板状的磁铁持有部641a和从磁铁持有部641a的x方向的两端部朝向z方向的另一侧z2弯曲的侧板部641b、641c。轭板642具有用z方向的一侧z1的面持有第一磁铁622的平板状的磁铁持有部642a和从磁铁持有部642的x方向的两端部向x方向的一侧x1及另一侧x2突出的连接板部642b、642c。在本实施方式中，轭板641的侧板部641b的前端部和轭板642的连接板部642b的前端部通过焊接、铆接等连接，轭板641的侧板部641c的前端部和轭板642的连接板部642c的前端部通过焊接、铆接等连接。

(第二磁驱动电路7的详细构成)

图8是图6所示的第二磁驱动电路7的分解立体图。如图5、图6以及图8所示，第二线圈支架75具备在内侧持有第二线圈71的第二框部76和从第二框部76的端部(四个角)向z方向的两侧突出的多个第二柱状部79，第二柱状部79与在z方向的一侧z1相邻的第一线圈支架65的第一柱状部69连接。第二线圈支架75为树脂制或金属制。在本实施方式中，第二线圈支架75为树脂制。

第二磁驱动电路7中使用的第二线圈71是具有沿x方向延伸的第二有效边部分711、712(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于该形状，在第二线圈支架75的第二框部76形成有使长径方向朝向x方向的椭圆形状的第二开口部77，第二线圈71通过粘接等固定在第二开口部77的内侧。

在第二线圈支架75中，相对于第二框部76在z方向的一侧z1，在与第二开口部77的x方向的两端部重叠的位置形成有第二座部781、782，该第二座部781、782在z方向的一侧z1支承在第二线圈71的两端部沿y方向延伸的第二无效边部分713、714(短边部分)。第二座部781、782从第二框部76向z方向的一侧z1突出，由第一开口部77的x方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第二框部76的z方向的另一侧z2的面上，从第二开口部77朝向x方向的一侧x1且y方向的一侧y1延伸出槽(未图示)，该槽是用于使第二线圈71的卷绕开始的引出部分穿过的导向槽。第二框部76的厚度(z方向的尺寸)大于第二线圈71的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第二线圈71被收纳在第二开口部77的内侧的状态下，第二线圈71不从第二框部76向z方向的另一侧z2突出。

第二磁铁721、722分别具有长方形的平面形状，长边沿y方向延伸，短边沿x方向延伸。第二磁铁721、722分别在y方向上被分极磁化，n极以及s极分别与第二线圈71的第二有效边部分711、712对置。因此，当对第二线圈71通电时，第二磁驱动电路7产生沿y方向驱动可动体3的驱动力。在第二磁驱动电路7中，第二轭74由相对于第二线圈71配置于z方向的一侧z1的轭板741和相对于第二线圈71配置于z方向的另一侧z2的轭板742构成。轭板742具有用z方向的一侧z1的面持有第二磁铁722的平板状的磁铁持有部742a和从磁铁持有部742a的y方向的两端部朝向z方向的一侧z1折弯的侧板部742b、742c。轭板741具有用z方向的另一侧z2的面持有第二磁铁721的平板状的磁铁持有部741a和从磁铁持有部741a的y方向的两端部向y方向的一侧y1及另一侧y2突出的连接板部741b、741c。在本实施方式中，轭板742的侧板部742b的前端部和轭板741的连接板部741b的前端部通过焊接、铆接等连接，轭板742的侧板部742c的前端部和轭板741的连接板部741c的前端部通过焊接、铆接等连接。

在轭板741及轭板642上形成有孔741e、642e，轭板741和轭板642以孔741e、642e为基准定位之后，通过焊接、铆接等在孔741e、642e的内部连接。

(第三磁驱动电路8的详细构成)

图9是图6所示的第三磁驱动电路8的分解立体图。如图5、图6以及图9所示，第三线圈支架85具备内侧持有第三线圈81的第三框部86和从第三框部86的端部(四个角)向z方向的两侧突出的多个第三柱状部89，第三柱状部89与在z方向的一侧z1相邻的第二线圈支架75的第二柱状部79连接。另外，第三柱状部89与第二端板29连接。第三线圈支架85为树脂制或金属制。在本实施方式中，第三线圈支架85及第二端板29为树脂制。

第三磁驱动电路8与第一磁驱动电路6同样地配置。更具体地说，第三磁驱动电路8中使用的第三线圈81是具有沿y方向延伸的第三有效边部分811、812(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。与该形状相对应，在第三线圈支架85的第三框部86形成有使长径方向朝向y方向的椭圆形状的第三开口部87，第三线圈81通过粘接等固定于第三开口部87的内侧。

在第三线圈支架85上，相对于第三框部86在z方向的一侧z1，在与第三开口部87的y方向的两端部重叠的位置形成有第三座部881、882，该第三座部881、882在z方向的一侧z1支承在第三线圈81的两端部沿x方向延伸的第三无效边部分813、814(短边部分)。第三座部881、882从第三框部86突出到z方向的一侧z1，且由第三开口部分87的y方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。槽861在第三框部86的z方向的另一侧z2的面上，从第三开口部87朝向x方向的另一侧x2且y方向的一侧y1延伸，该槽861是用于穿过使朝向第三线圈81的卷绕开始的引出部分以及卷绕结束的引出部分通过的导向槽。第三框部86的厚度(z方向的大小)比第三线圈的厚度(z方向的大小)更大因此，第三线圈81被收纳在第三开口部87的内侧的状态下，第三线圈81不从第三框部86向z方向的另一侧z2突出。

第三磁铁821、822分别具有长方形的平面形状，长边沿x方向延伸，短边沿y方向延伸。第三磁铁821、822分别在x方向上磁化，n极及s极分别与第三线圈81的第三有效边部分811、812对置。因此，当对第三线圈81通电时，第三磁驱动电路8与第一磁驱动电路6同样地产生沿x方向驱动可动体3的驱动力。在本实施方式中，第三磁铁821在与第一磁驱动电路6的第一磁铁621相同的方向上磁化，第三磁铁822在与第一磁驱动电路6的第一磁铁622相同的方向上磁化。

在第三磁驱动电路8中，第三轭84由相对于第三线圈81配置于z方向的一侧z1的轭板841和相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的轭板842构成。轭板842具有用z方向的一侧z1的面持有第三磁铁821的平板状的磁铁持有部842a和从磁铁持有部842a的x方向的两端部朝向z方向的一侧z1弯曲的侧板部842b、842c。轭板841具有用z方向的一侧z1的面持有第三磁铁822的平板状磁铁持有部841a和从磁铁持有部841的x方向的两端部朝向x方向的一侧x1及另一侧x2突出的连接板部841b、841c。在本实施方式中，轭板842的侧板部842b的前端部和轭板841的连接板部841b的前端部通过焊接、铆接等连接，轭板842的侧板部842c的前端部和轭板841的连接板部841c的前端部通过焊接、铆接等连接。此外，在轭板841及轭板742上形成有孔841e、742e，轭板841和轭板742以孔841e、742e为基准定位之后，在孔841e、742e的内部通过焊接、铆接等连接。

(磁驱动电路的磁中心和可动体3的重心的位置关系)

在这样构成的致动器1中，第一线圈61、第二线圈71、第三线圈81、第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85构成为以穿过可动体3的x方向的中心并沿y方向延伸的虚拟线为中心的线对称、且以穿过y方向的中心并沿x方向延伸的虚拟线为中心的线对称。另外，第一磁铁621、622、第二磁铁721、722、第三磁铁821、822、第一轭64、第二轭74以及第三轭84构成为以穿过可动体3的x方向的中心并沿y方向延伸的虚拟线为中心的线对称、且以穿过y方向的中心并沿x方向延伸的虚拟线为中心的线对称。另外，第二线圈71配置于可动体3的z方向的中心，第二磁铁721、722配置为以第二线圈71为中心在z方向上面对称。另外，第一磁铁621、622及第一轭64配置为相对于第三磁铁821、822及第三轭84以第二线圈71为中心在z方向上面对称。

因此，第二磁驱动电路7的磁中心位置(驱动中心)处于在z方向、x方向以及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。另外，将第一磁驱动电路6的磁性中心位置和第三磁驱动电路8的磁性中心位置合成而获得的性中心位置处于在z方向、x方向以及y方向与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。

(基板15的构成)

如图2所示，在基板15上，作为多个线圈连接电极151形成有分别连接第一线圈61的卷绕开始以及卷绕结束的引出部分的端部(未图示)的第一线圈连接电极151a、151b、分别连接第二线圈71的卷绕开始及卷绕结束的引出部分的端部(未图示)的第二线圈连接电极151c、151d和分别连接第三线圈81的卷绕开始及卷绕结束的引出部分的端部(未图示)的第三线圈连接电极151e、151f。另外，在基板15上，作为多个供电电极153形成有第一供电电极153a、第二供电电极153b、第三供电电极153c、第四供电电极153d、第五供电电极153e以及第六供电电极153f。

第一供电电极153a经由多个配线152中的配线152a与第一线圈连接电极151a电连接，第二供电电极153b经由多个配线152中的配线152b与第一线圈连接电极151b电连接。因此，第一供电电极153a与第二线圈71的一端部(卷绕开始的引出部分的端部)电连接，第二供电电极153b与第二线圈71的另一端部(卷绕结束的引出部分的端部)电连接。

第三供电电极153c经由多个配线152中的配线152c与第二线圈连接电极151c电连接，第四供电电极153d经由多个配线152中的配线152d与第二线圈连接电极电连接。因此，第三供电电极153c与第二线圈71的一端部(卷绕开始的引出部分的端部)电连接，第四供电电极153d与第二线圈71的另一端部(卷绕结束的引出部分的端部)电连接。

第五供电电极153e经由多个配线152中的配线152e与第三线圈连接电极151e电连接，第六供电电极153f经由多个配线152中的配线152f与第三线圈连接电极151f电连接。因此，第五供电电极153e与第三线圈81的一端部(卷绕开始的引出部分的端部)电连接，第六供电电极153f与第三线圈81的另一端部(卷绕结束的引出部分的端部)电连接。

另外，如图1所示，在基板15上连接有柔性配线基板等配线基板16，在配线基板16上形成有第一供电电极153a、第二供电电极153b、第三供电电极153c、第四供电电极153d、第五供电电极153e以及第六供电电极153f各自独立地连接的多个配线(未图示)。因此，驱动信号从上位的驱动装置经由配线基板16供给到致动器1。

(基本动作)

在本实施方式的致动器1中，经由第一供电电极153a、第二供电电极153b、第五供电电极153e以及第六供电电极153f对第一线圈61及第三线圈81施加同一波形的交流，另一方面，当停止向第二线圈71通电时，可动体3沿x方向振动，因此，致动器1的重心沿x方向变动。因此，用户可以感受x方向的振动。此时，如果调节施加于第一线圈61的第一线圈驱动信号的交流波形及施加于第三线圈81的第三线圈驱动信号的交流波形，使可动体3向x方向的一侧x1移动的加速度和可动体3向x方向的另一侧x2移动的加速度不同，则用户可以感受在x方向上具有方向性的振动。

另外，经由第三供电电极153c及第四供电电极153d向第二线圈71施加交流电，另一方面，停止向第一线圈61及第三线圈81的通电。其结果，由于可动体3沿y方向振动，所以致动器1的重心沿y方向变动。因此，用户可以感受y方向的振动。此时，如果调节施加于第二线圈71的第二线圈驱动信号的交流波形，使可动体3向y方向的一侧y1移动的加速度和可动体3向第三方向的另一侧y2移动的加速度不同，则用户可以感受在y方向上具有方向性的振动。

另外，如果将对第一线圈61及第三线圈81的通电和对第二线圈71的通电组合，则用户可以获得组合了x方向上的振动和y方向上的振动的感受。

在此，在第一线圈61的端部及第三线圈81的端部分别电连接有不同的供电电极153(第一供电电极153a、第二供电电极153b、第五供电电极153e以及第六供电电极153f)。因此，可以使可动体3进行组合了与施加于第一线圈61及第三线圈81的波形对应的振动的振动。例如，如果对第一线圈61及第三线圈81施加具有反相波形的交流电，则可动体3被施加绕沿z方向延伸的中心轴线的力偶，因此，用户可以进一步感受绕沿可动体3的z方向延伸的中心轴线的振动。

(止动机构)

在本实施方式的致动器1中，设置有图3及图4所示的止动机构，使得当可动体3相对于支承体2过度移动时，强度较弱的部位不抵接。更具体地说，如图4所示，第一线圈支架65的第一座部681位于在y方向的一侧y1隔着规定间隔与第一磁铁621对置的位置，第一线圈支架65的第一座部682位于在y方向的另一侧y2隔着规定间隔与第一磁铁621对置的位置。另外，第三线圈支架85的第三座部881位于在y方向的一侧y1隔着规定间隔与第三磁铁821对置的位置，第三线圈支架85的第三座部882位于在y方向的另一侧y2隔着规定间隔与第三磁铁821对置的位置。在本实施方式中，第一座部681、682的在y方向上与第一磁铁621对置的侧端部作为第一止动部683、684起作用。另外，第三座部881、882的在y方向上与第三磁铁821对置的侧端部作为第三止动部883、884起作用。因此，由第二磁驱动电路7沿y方向驱动可动体3时的可动体3向y方向的可动范围由止动机构来限制，该止动机构包括由第一磁驱动电路6的第一磁铁621和第一线圈支架65的第一座部681、682(第一止动部683、684)构成的止动机构以及由第三磁驱动电路8的第三磁铁821和第三线圈支架85的第三座部881、882(第三止动部883、884)构成的止动机构。

在本实施方式中，第一止动部683、684位于比第一线圈61的第一无效边部分613、614的内缘靠第一磁铁621侧。因此，即使在第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分例如从第一无效边部分613的内缘穿过第一线圈61和第一座部681之间的情况下，也不易产生第一磁铁621与第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。另外，第三止动部883、884位于比第三线圈81的第三无效边部分813、814的内缘靠第三磁铁821侧。因此，即使在第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分例如从第三无效边部分813的内缘穿过第三线圈81和第三座部881之间的情况下，也不易产生第三磁铁821与第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。

另外，如图3所示，第二线圈支架75的第二座部781位于第二磁驱动电路7的在x方向的一侧x1隔着规定间隔与第二磁铁721对置的位置，第二线圈支架75的第二座部782位于在x方向的另一侧x2隔着规定间隔与第二磁铁721对置的位置。在本实施方式中，第二座部781及第二座部782的在x方向上与第二磁铁721对置的侧端部作为第二止动部783、784起作用。因此，由第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8沿x方向驱动可动体3时的可动范围由止动机构限制，该止动机构由第二磁驱动电路7的第二磁铁721和第二线圈支架75的第二座部781、782(第二止动部783、784)构成。

在本实施方式中，第二止动部783、784位于比第二线圈71的第二无效边部分713、714的内缘靠第二磁铁721侧。因此，即使在第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分例如从第二无效边部分713的内缘穿过第二线圈71和第二座部781之间的情况下，也不易产生第二磁铁721与第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。

(本实施例的主要效果)

如上所述，在本实施方式的致动器1中，设置有使可动体3沿x方向(第二方向)振动的第一磁驱动电路6、使可动体3沿y方向(第三方向)振动的第二磁驱动电路7以及使可动体3沿x方向振动的第三磁驱动电路8，因此，可以使可动体3沿x方向及y方向振动。因此，可以使用户感受x方向的振动、y方向的振动以及组合了x方向的振动和y方向的振动的振动。另外，由于第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8沿z方向重叠配置，因此，从z方向观察致动器1时的尺寸(平面面积)较小。因此，本实施方式的致动器1适合于安装在手持控制器等设备上。此外，针对使可动体3沿y方向振动的第二磁驱动电路7，在z方向的两侧设置有使可动体3沿x方向振动的第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8，因此，在使可动体3沿x方向振动时，难以发生可动体3倾斜等情况。

另外，第二磁驱动电路7的磁中心位置(驱动点)位于在z方向、x方向以及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。另外，合成第一磁驱动电路6的磁中心位置(驱动点)和第三磁驱动电路8的磁中心位置(驱动点)而获得的磁中心位置位于在z方向、x方向以及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。因此，在使可动体3沿x方向及y方向振动时，难以发生可动体3倾斜等情况。

另外，在持有于支承体2的基板15上设置有电连接于第一线圈61的一端的第一供电电极153a、电连接于第一线圈61的另一端的第二供电电极153b、电连接于第二线圈71的一端的第三供电电极153c、电连接于第二线圈71的另一端的第四供电电极153d、电连接于第三线圈81的另一端的第五供电电极153e以及电连接于第三线圈81的另一端的第六供电电极153f。因此，在经由第一供电电极153a及第二供电电极153b向第一线圈61供给驱动信号时，可以将波形与供给到第一线圈61的驱动振动相同的驱动信号供给到第三线圈81。另外，在经由第一供电电极153a及第二供电电极153b向第一线圈61供给驱动信号时，可以将波形与供给到第一线圈61的驱动振动不同的任意驱动信号经由第五供电电极153e及第六供电电极153f供给到第三线圈81。因此，可动体3能够容易地进行组合了基于供给到第一线圈61的驱动信号的驱动和基于供给到第三线圈81的驱动信号的驱动的复杂的驱动。

另外，在本实施方式中，在罩11上形成有使第一供电电极153a、第二供电电极153b、第三供电电极153c、第四供电电极153d、第五供电电极153e以及第六供电电极153f露出的开口部110。因此，即使在设置了罩11的情况下，也能够将第一供电电极153a、第二供电电极153b、第三供电电极153c、第四供电电极153d、第五供电电极153e以及第六供电电极153f各自独立的配线连接。因此，可动体3能够容易地进行组合了基于供给到第一线圈61的驱动信号的驱动和基于供给到第三线圈81的驱动信号的驱动的复杂的驱动。

另外，弹性部件4是具备粘弹性的粘弹性部件，设置于相对于可动体3的z方向的一侧z1及相对于可动体3的z方向的另一侧z2中的每一侧。因此，在可动体3相对于支承体2沿x方向及y方向振动时，弹性部件4沿与伸缩方向正交的剪切方向变形。因此，弹性部件4在高线性范围内变形，因此，可以获得线性良好的振动特性。

即，弹性部件4(第一弹性部件41及第二弹性部件42)是粘弹性部件(板状的凝胶状减振部件)，根据其伸缩方向，具备线性或非线性的伸缩特性。例如，在沿其厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量比线性分量(弹簧系数)大的伸缩特性，另一方面，在沿厚度方向(轴向)拉伸而伸长的情况下，具备线性分量(弹簧系数)比非线性分量(弹簧系数)大的伸缩特性。另外，在沿与厚度方向(轴向)交叉的方向(剪切方向)变形的情况下，无论在哪个方向移动，都是被拉伸而伸长的方向的变形，因此，具有线性分量(弹簧系数)比非线性分量(弹簧系数)大的变形特性。在本实施方式中，在可动体3沿x方向及y方向振动时，弹性部件4(粘弹性部件)沿剪切方向变形。因此，在弹性部件4中，在可动体3沿x方向及y方向振动时，运动方向形成的弹力是恒定的。因此，通过使用弹性部件4的剪切方向的弹簧要素，可以提高振动加速度相对于输入信号的再现性，因此，可以以微妙的细微差异实现振动。

另外，弹性部件4被安装为在可动体3和支承体2之间沿第一方向z伸缩，当弹性部件4在可动体3和支承体2之间沿厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量(弹簧系数)比线性分量(弹簧系数)大的伸缩特性。因此，在与可动体3的驱动方向正交的z方向上，可以抑制弹性部件4大幅变形，因此，可以抑制可动体3和支承体2的间隙大幅变化。

另外，第一弹性部件41的z方向的两面分别通过粘接等方法与可动体3及第一端板28连接，第二弹性部件42的z方向的两面分别通过粘接等方法与可动体3及第二端板29连接。因此，弹性部件4可靠地追随可动体3的移动，所以可以有效地防止可动体3的谐振。

[其它实施例]

在上述实施方式2中，在第一磁驱动电路6中，将第一磁铁621、622配置在了第一线圈61的z方向的两侧，在第三磁驱动电路8中，将第三磁铁821、822配置在了第三线圈81的z方向的两侧，但也可以仅将第一磁铁配置在第一线圈61的z方向的一侧，在第三磁驱动电路8中仅将第三磁铁配置在第三线圈81的z方向的一侧。

在上述实施方式中，将弹性部件4(粘弹性部件)配置于可动体3的z方向的两侧，但也可以将弹性部件4(粘弹性部件)配置于可动体3的x方向的两侧及可动体3的y方向的两侧。另外，在上述实施方式中，作为弹性部件4使用了凝胶状减振部件，但也可以将橡胶或弹簧等用作弹性部件4。作为凝胶状部件(凝胶状减振部件)，可以例示硅系凝胶。更具体地说，作为弹性部件4，可以使用针入度为10度～110度的硅系凝胶。针入度在jis－k－2207及jis－k－2220中规定，意味着该值越小越硬。

另外，粘弹性是指粘性和弹性两者的综合性质，是在凝胶状部件、塑料、橡胶等高分子物质中明显观察到的性质。因此，作为具备粘弹性的弹性部件4，也可以使用天然橡胶、二烯橡胶(例如，苯乙烯·丁二烯橡胶、异戊二烯橡胶、丁二烯橡胶)、氯丁橡胶、丙烯腈·丁二烯橡胶等)、非二烯橡胶(例如，丁基橡胶、乙烯·丙烯橡胶、乙烯·丙烯·二烯橡胶、聚氨酯橡胶、硅橡胶、氟橡胶等)、热塑性弹性体等各种橡胶材料以及它们的改性材料。

另外，在上述实施方式中，通过粘接等将第一弹性部件41的z方向的两面分别与可动体3及第一端板28连接，通过粘接将第二弹性部件42的z方向的两面分别与可动体3及第二端板29连接时，弹性部件4(第一弹性部件41及第二弹性部件42)处于在支承体2和可动体3之间沿z方向被压缩的状态。因此，弹性部件4可靠地追随可动体3的移动，因此，可以有效地防止可动体3的谐振。

在上述实施方式中，线圈及线圈支架设置于支承体2上，磁铁及轭被设置于可动体3上，但在线圈及线圈支架设置于可动体3上并且磁铁及轭设置于支承体2上的情况下也可以应用本发明。

产业上的可利用性

在本发明中，在持有于支承体的基板上设置有电连接于第一线圈的一端的第一供电电极、电连接于第一线圈的另一端的第二供电电极、电连接于第二线圈的一端的第三供电电极、电连接于第二线圈的另一端的第四供电电极、电连接于第三线圈的一端的第五供电电极以及电连接于第三线圈的另一端的第六供电电极。因此，当经由第一电极及第二电极向第一线圈供给驱动信号时，可以将与供给到第一线圈的驱动振动相同的驱动信号供给到第三线圈。另外，当经由第一电极及第二电极向第一线圈供给驱动信号时，可以经由第五供电电极及第六供电电极将与供给到第一线圈的驱动振动波形不同的任意的驱动信号供给到第三线圈。因此，可动体能够容易地进行组合了基于供给到第一线圈的驱动信号的驱动和基于供给到第三线圈的驱动信号的驱动的复杂驱动。