专利名称：弹性波滤波装置及双工器的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用弹性表面波或弹性边界波等的弹性波滤波装置及双工器，更为详细地，涉及在IDT(叉指换能器)中具备被抽指加权(withdrawal-weighted)的结构的弹性波滤波器及双工器。
背景技术：
以往，在移动通信设备的带通滤波器等中，使用各种将多个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器并联而成的弹性表面波滤波装置。
例如，在下述的专利文献1中，公开了在输入端子上并联第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器的结构。此处，第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部分别通过两级级联相同设计的两个纵向耦合谐振式弹性波滤波器而构成。
在该现有技术中所述的弹性波滤波装置中，与使用一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的情况相比，将电极指(electrode finger)交叉宽度设为1/2，并将两个纵向耦合谐振式弹性波滤波器部并联到输入端子上。由此，能够将电极指的电阻设为1/4，并能够减小弹性波滤波装置的插入损失。
另一方面，在下述的专利文献2中，公开了具有图12所示的电极结构的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置。如图12所示，在该现有技术中所述的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置501中，在输入端子502上并联第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器503、504。纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器503、504分别与第一、第二平衡信号端子505、506连接。
此处，并联的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器503、504中的一个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器503被抽指加权。另一个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器504没有实施抽指加权。
通过在纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器503的多个IDT中实施抽指加权，改善了第一、第二平衡信号端子505、506间的信号的平衡度。
专利文献1特开平8-181566号公报；专利文献2特开2003-318700号公报。
发明内容
在专利文献1所述的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置中，虽然能够降低插入损失，但是在通频带附近的衰减区域内的衰减量难以达到足够大。
另一方面，即使在专利文献2中所述的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器中，如上所述，对一个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器503实施抽指加权来改善平衡度，在通频带附近的衰减区域内的衰减量仍不足。
本发明的目的在于提供一种具备并联多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的结构，且在通频带附近的衰减区域内的衰减量可达到足够大的弹性波滤波装置。
根据本申请的第一发明，提供一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；和在所述压电基板上设置的多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器；各纵向耦合谐振式弹性波滤波器具有输入端子、输出端子、与输入端子连接的IDT、以及与输出端子连接的IDT，与输入端子连接的IDT和与输出端子连接的IDT沿弹性波传播方向交互设置，所述弹性波滤波装置还具备所述多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子连接的第一端子；以及所述多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接的第二端子；其中，多个所述纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，且至少一个所述纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权与其他的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同。
根据本申请的第二发明，提供一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；至少一个第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器；以及至少一个第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器；所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器具有输入端子、输出端子、与输入端子连接的IDT、与输出端子连接的IDT，在所述压电基板上，与输入端子连接的IDT和与输出端子连接的IDT沿弹性波传播方向交互设置，所述输出端子或输入端子与第一平衡信号端子连接，所述第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器具有输入端子、输出端子、与输入端子连接的IDT、与输出端子连接的IDT，在所述压电基板上，与输入端子连接的IDT和与输出端子连接的IDT沿弹性波传播方向交互设置，输出端子或输入端子与第二平衡信号端子连接，且相位与所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器相差180°，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子或输出端子与不平衡信号端子连接，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，且第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器中的至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权与其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同。
根据第三发明，提供一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；在所述压电基板上设置的第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器；不平衡信号端子；以及第一、第二平衡信号端子；其中，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器形成在压电基板上，并具有与第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子或输出端子连接的第一IDT；设置在该第一IDT的弹性波传播方向两侧、并与所述输出端子或输入端子连接的第二IDT；所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输入端子与所述不平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子与所述第一平衡信号端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输出端子与所述第二平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的其中一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位与其他的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位反向，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，该抽指加权在第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器中不同。
根据第四发明，提供一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；在所述压电基板上设置的第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器；不平衡信号端子；以及第一、第二平衡信号端子；其中，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器形成在压电基板上，并具有与第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子或输出端子连接的第一IDT；设置在该第一IDT的弹性波传播方向两侧、并与所述输出端子或输入端子连接的第二IDT，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输入端子与所述不平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子与所述第一平衡信号端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输出端子与所述第二平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的其中一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位与其他的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位反向，所述第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，该抽指加权在第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器中不同。
在具有第一～第四发明(以下总称本发明)的特定的情况下，所述抽指加权以相对于实施了抽指加权的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的中心在弹性波传播方向上非对称的方式进行实施。
在本发明所述的弹性波滤波装置其他的特定的情况下，实施了所述抽指加权的电极指的根数在实施了抽指加权的纵向耦合谐振式弹性波滤波器之间被设为相等。
在本发明的其他的特定的情况下，实施所述抽指加权的IDT是在多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器间对应的IDT。
在本发明所述的弹性波滤波器中，全部的IDT被抽指加权。
此外，本发明所述的双工器使用根据本发明构成的弹性波滤波装置来构成。
(发明效果)在第一发明所述的弹性波滤波装置中，多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与第一端子连接，多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子与第二端子连接，且至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器中的抽指加权不同于其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权。
在纵向耦合谐振式弹性波滤波器中实施抽指加权的情况下，通过使抽指加权的方式不同，对滤波器通频带内的特性几乎不带来影响，且能够使通频带附近的衰减区域内的响应的波峰或波谷的频率或响应的大小发生变化。因而，在第一发明中，由于至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同于其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权，所以通过调整这些抽指加权的方式，能够对通频带内的滤波器特性几乎不带来影响且能够控制通频带附近的衰减区域内的滤波器特性，例如，可容易地实现衰减区域内的衰减量的扩大。
并且，例如在至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同于其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权，以使低于通频带的低频侧的衰减区域的衰减量增大的情况下，可将低于通频带的低频侧的通频带附近的衰减区域的衰减量足够大。
在第二发明所述的弹性波滤波装置中，至少一个第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器和至少一个第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器并联在输入端子和输出端子之间，至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位与第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位相差180°，所以提供一种具有平衡一不平衡变换功能的纵向耦合谐振式的弹性波滤波装置。
并且，在第二发明中，由于第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器中的至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同于其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权，所以通过调整这些抽指加权的方式，能够对通频带内的滤波器特性几乎不带来影响且能够调整通频带附近的衰减区域内的衰减量，例如能够将通频带的低频侧的衰减区域内的衰减量设为足够大。
因而，例如在第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器中的至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同于其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权，以使通频带的低频侧的衰减区域的衰减量增大的情况下，能够将低于通频带的低频侧的通频带附近的衰减区域中的衰减量设为足够大。
在第三、第四发明中，在第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器并联在不平衡信号端子上，第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器与第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的后级连接，第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器与第一、第二平衡信号端子连接的具有平衡-不平衡变换功能的弹性波滤波装置中，第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器或者第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器被加权，且该加权在第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器或者第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器中不同，所以对通频带几乎不带来影响且能够控制通频带附近的衰减区域内的衰减量，例如，可将通频带的低频侧的衰减区域内的衰减量设为足够大。
在抽指加权相对于实施了抽指加权的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的中心，在弹性波传播方向上以非对称的形状实施的情况下，可进一步增大通频带附近的衰减区域中的衰减量。
实施了抽指加权的电极指的根数在实施了抽指加权的纵向耦合谐振式弹性波滤波器间被设为相等的情况下，更不会对通频带造成影响，并能够利用抽指加权的方式调整通频带附近的衰减区域内的衰减量。
实施抽指加权的IDT是在多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器间对应的IDT的情况下，更不会对通频带造成影响，并能够利用抽指加权的方式调整通频带附近的衰减区域内的衰减量。
在所有的IDT被抽指加权的情况下，可更有效地调整衰减量频率特性。
本发明所述的双工器，使用本发明的弹性波滤波装置来构成，所以对通频带的滤波器特性几乎不造成影响，并能够将通频带附近的衰减量设为足够大，通过在发送侧及接收侧的带通滤波器的至少一方中使用本发明的弹性波滤波装置，可有效地改善发送侧及/或接收侧的滤波器特性。
图1是表示本发明的第一实施方式所述的弹性边界波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图2(a)～(c)是用于说明根据本发明实施的抽指加权的示意局部剖切图。
图3是本发明的一个实施方式及比较例的弹性表面波滤波装置的衰减量频率特性的示意图。
图4是表示作为比较例的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图5是用于说明第二实施方式的弹性表面波滤波装置的示意平面图。
图6是表示本发明的第三实施方式的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图7是表示本发明的第四实施方式所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图8是表示本发明的第五实施方式所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图9是表示本发明的第六实施方式所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图10是表示本发明的变形例所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图11是用于说明按照本发明构成的双工器的一例的示意平面图。
图12是表示以往的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。
图中，1-弹性表面波滤波装置；2-压电基板；3-不平衡信号端子；4、5-第一、第二平衡信号端子；6-一端子对弹性表面波谐振器；7、8-第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器；7A、8A-纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器；9-共同连接点；10a、10b-一端子对弹性表面波谐振器；11～13-IDT；14、15-反射器；21～23-IDT；24、25-反射器；31-IDT；31a～31h-电极指；31x-电极指；56-第一端子；57-第二端子；61-弹性表面波滤波装置；63-不平衡信号端子；64、65-第一、第二平衡信号端子；66-一端子对弹性表面波谐振器；67、68-第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波部；67A、67B、68A、68B-纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器；69a、69b-一端子对弹性表面波谐振器；71-弹性表面波滤波装置；73-不平衡信号端子；74、75-第一、第二平衡信号端子；77、78-第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器；79A、79B-第三、第四纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器；81～83-IDT；91～93-IDT；101～103-IDT；111～113-IDT；121-弹性表面波滤波装置；122、123-纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器；131～135-IDT；141～145-IDT；201-双工器；202-发送滤波器；203-输出端子；A-空隙；S1～S3-串联臂谐振器；P1、P2-并联臂谐振器。
具体实施例方式
以下，通过参照附图对本发明的具体实施方式
进行说明来明确本发明。
图1表示本发明的第一实施方式所述的弹性表面波滤波装置1的电极结构的示意平面图。弹性表面波滤波装置1具有压电基板2。压电基板2在本实施方式中由42°旋转Y切X传(42°-rotated Y-cut X-propagating)的LiTaO3基板构成。
弹性表面波滤波装置1具有作为输出端子的不平衡信号端子3和作为输出端子的第一、第二平衡信号端子4、5。第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8经由一端子对弹性表面波谐振器6与不平衡信号端子3连接。即，第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8分别具有沿弹性表面波传播方向设置的第一～第三IDT11～13，21～23；在配置有IDT11～13，21～23的区域的表面波传播方向的两侧设置的反射器14、15、24、25。即，纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8均为具有三个IDT的3IDT型的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器。
位于第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7的中央的第二IDT12的一端连接于共同连接点9上。第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8的中央的IDT22的一端也连接于共同连接点9。共同连接点9经由一端子对弹性表面波谐振器6与不平衡信号端子3连接。
IDT12、22的另一端连接于接地电位。
第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7的第一及第三IDT11、13的各自的一端与接地电位连接，各自的另外一端共同连接，并经由一端子对弹性表面波谐振器10a与第一平衡信号端子4连接。此外，第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8的第一及第三IDT21、23的各自的一端与接地电位连接，各自的另外一端共同连接，并经由一端子对弹性表面波谐振器10b与第二平衡信号端子5连接。
另一方面，第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7的第二IDT12的相位与第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8的中央的第二IDT22的相相位差约180°。因而，纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1具有平衡一不平衡变换功能。
另一方面，在本实施方式中，IDT11～13、21～23全部被实施了抽指加权。此外，在第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8中，中央的IDT22不仅被实施抽指加权，而且在表面波传播方向两端被实施串联加权(series-weighted)。串联加权是指在IDT22的一端侧，以跨越设有最外侧的电极指和最外侧接下来的电极指的区域的方式形成曲柄状的虚电极指(dummy electrode finger)22a的加权方法。在IDT22中，在IDT22的另一端侧也同样地设置虚电极指22b，并被实施串联加权。是为了改善平衡度而实施该串联加权。
本实施方式的特征在于，不仅在于通过上述串联加权改善平衡度，还在于所有的IDT11～13、21～23均被抽指加权，并且IDT12的抽指加权以与IDT22不同的方式进行抽指加权。据此，对通频带内的滤波器特性几乎不带来影响，并实现了通频带附近的衰减区域内的衰减量的扩大。基于具体的实验例进行说明。
在包含图1的附图所示的电极结构中，电极结构被简化，需要指出的是，图示电极指的根数少于实际的电极指的根数。
此外，图2(a)～(c)是用于说明抽指加权的示意平面图。即，如图2(a)所示，IDT31具有多根电极指31a～31h，假设将图2(a)的从左侧第四根带有剖面线所示的电极指31d剔除。如果剔除电极指31d，即如果删除电极指31d，则如图2(b)所示，在设有电极指31d的部分形成空隙A。但是，在该情况下，由于破坏了电极指的连续性，所以如图2(c)所示，在从左侧第三根电极指31c及第五根电极指31e之间设置被连接在相同电位上的电极指31x。此种方法即为被称作抽指加权的加权方法。由于电极指31c、电极指31x及电极指31e均被连接在相同电位上，所以在这些电极指间，弹性表面波不被激励。
通过以下的方法制作上述实施方式的弹性表面波滤波装置。
在本实施方式中，制作了作为WCDMA制式的便携式电话机的接收用滤波器而使用的、具有平衡一不平衡变换功能的带通滤波器。此处，不平衡信号3一侧的阻抗为50Ω，平衡信号端子4、5一侧的阻抗为100Ω。即，构成具有12的阻抗变换功能的弹性表面波滤波装置1。
在上述的压电基板上使用Al合金作为电极材料，并按照以下的要领形成各电极。
在纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7中，如果将由IDT的电极间距确定的波长设为λI，则电极指交叉宽度44.9λI；IDT的电极指的根数(以IDT11、12及13的顺序)35/49/35；反射器14、15中的各自的电极指的根数85根；金属化率0.64；电极膜厚0.079λI。
在图1中虽未特别图示，但在IDT彼此相邻的部分中，设有从IDT的端部开始的多根电极指间的电极指间距比其余的电极指部的电极指间距窄的窄间距电极指部，并由此实现插入损失的降低。
此种窄间距电极指部的电极指的根数，在IDT11的IDT12侧端部为四根，在IDT12的IDT11侧端部为四根，在IDT13侧端部为四根，在IDT13的IDT12侧端部为四根。
此外，IDT11～13的抽指加权如下进行实施。
IDT11-从反射器14侧端部开始的第六根电极指；IDT12-从IDT11侧端部开始的第六根电极指、和从IDT13侧端部开始的第六根电极指；IDT13-从反射器15侧端部开始的第六根电极指。
而且，图1因为是如上述的简图，所以被实施抽指加权的电极指的位置与上述方法不一致。
在第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8中，不同之处在于，使IDT22相对于IDT12相位反向，以及在IDT22中实施抽指加权的电极指是从IDT21侧端部开始的第九根电极指和从IDT23侧端部开始的第九根电极指。此外，如上所述，在IDT22中，在两端实施串联加权。关于其他的方面，第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8与第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7结构相同。
关于弹性表面波谐振器6，如以下地制作。如果由IDT的间距确定的波长设为λI，则交叉宽度37.8λIIDT的电极指的根数161根反射器的电极指的根数15根金属化率0.58电极膜厚0.082λI。
此外，弹性表面波谐振器10a、10b分别如以下地设计。
交叉宽度35.1λIIDT的电极指的根数161根一个反射器中的电极指的根数15根金属化率0.58电极膜厚0.082λI。
图3是如上述制作的本实施方式的弹性表面波滤波装置的衰减量频率特性的示意图。此外，作为比较例，如图4所示，除第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8A的IDT22A的抽指加权与IDT12同样地抽指加权以外，制作与上述实施方式同样构成的弹性表面波滤波装置32，并测定衰减量频率特性。结果在图3中用虚线表示。
比较图3的实线和虚线明确可知，在通频带内的频率特性在上述实施方式及比较例中没有差异。WCDMA制式的便携式电话机的接收侧滤波器的通频带为2110～2170MHz，发送侧滤波器的通频带为1920～1980MHz。因而，在接收侧滤波器中，发送侧滤波器的通频带为衰减区域，在该衰减区域寻求尽可能大的衰减量。
从图3明确可知，在比较例的弹性表面波滤波装置中，在1900～2000MHz、特别是在接近通频带的1970MHz附近，插入损失是37dB左右。与此相对，可知在上述实施方式的弹性表面波滤波装置中，在通频带附近的衰减区域，特别在低频率侧的衰减区域中，最小插入损失量为42dB以上。并且，可知在1900～2000MHz的频率域内的最小插入损失量超过42dB，在通频带附近的衰减区域、特别是低频侧的衰减区域内的衰减量改善约5dB。此外，此时，通频带内的滤波器特性几乎没有变化。
如上所述，在实施方式中，通频带附近的衰减区域中的衰减量的扩大，即增大了通频带附近的衰减区域中的最小插入损失量的理由如下。
即，在抽指加权时，在变更作为抽指加权的对象的电极指的位置的情况下，弹性表面波滤波装置的通频带内的特性几乎没有变化，在低于通频带的低频侧产生的响应的波峰的频率、波谷的频率发生变化。如实施方式所述，在并联两个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8的结构中，如果对纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8进行了同样的抽指加权，则上述波峰、波谷的频率发生变化，但只能在一定的范围内变化，所期望的衰减区域内的衰减量不是总是扩大。
与此相对，在本实施方式中，因为第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7中的抽指加权与第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8中的抽指加权的位置不同，所以并联的第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器中的波峰及波谷的变化重合。因而，因为上述抽指加权不同，所以能够大幅度地扩大由抽指加权的方式产生的衰减区域的频率特性的调整范围。例如，在想要增大衰减量的频率范围塞内，通过以使上述响应的波峰不存在地实施抽指加权，或减小上述响应，能够增大衰减量。即，在上述实施方式中，为使低于通频带的低频侧的衰减区域中的衰减量增大，变更IDT12的抽指加权和IDT22的抽指加权的实施位置。
换言之，在本实施方式中，IDT12的抽指加权和IDT22的抽指加权的方式不同，使得能够扩大低于通频带的低频侧的通频带附近的衰减区域中的衰减量。
如上所述，通过使在IDT12与IDT22的抽指加权的方式不同，对通频带内的滤波器特性几乎不造成影响，且可实现低于通频带的低频侧的衰减区域中的衰减量的扩大。但是，如所述，使IDT12与IDT22的抽指加权不同的情况不一定能够实现通频带低频域侧的衰减量的扩大。但是通过使IDT12的抽指加权与IDT22的抽指加权不同，对通频带内的滤波器特性几乎不造成影响，且能够调整通频带附近的衰减区域内的衰减特性，所以可以根据所需要的衰减特性，使抽指加权的方式不同。
图5是表示本发明的第二实施方式所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。在图1所示的弹性表面波滤波装置1中，在纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7中，相对于中央的IDT12的中心，在表面波传播方向两侧对称地实施纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7的IDT11～13中的抽指加权。同样地，在纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8中，相对于中央的IDT22的中心，在表面波传播方向两侧对称地实施抽指加权。
与此相对，在图5所示的弹性表面波滤波装置51中，在第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7A中，相对于中央的第二IDT12的中心，在表面波传播方向上非对称地抽指加权IDT11A、13A。同样地，相对于IDT22的中心，以第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8A中的抽指加权为非对称的方式抽指加权第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8A。
纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器51除上述点以外，与纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1同样地构成。
从第二实施方式的弹性表面波滤波装置51明确可知，在本发明中，各纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7A、8A中的抽指加权的方式不需要相对于各纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7A、8A的中央的IDT的中心在表面波传播方向的两侧对称，也可以是非对称。从而，利用如此地设为非对称，能够进一步提高用于得到衰减特性的设计的自由度，根据情况，能够进一步增大衰减区域内的衰减量。
图1及图5说明了具有平衡一不平衡变换功能，且第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器并联在不平衡信号端子上的结构，但本发明也能够适用于具有其他的电极构造的弹性表面波滤波装置。对此参照图6～图10进行说明。
图6是表示本发明的第三实施方式所述的弹性表面波滤波装置55的电极构造的示意平面图。第三实施方式的弹性表面波滤波装置55没有一对平衡信号端子。即，具有作为输入端子的第一端子56和作为输出端子的第二端子57。除第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器的相位设置为与第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器相同外，与第一实施方式同样地构成的第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8的输入端子通过共同连接点9被共同连接。共同连接点9经由一端子对弹性表面波谐振器6与第一端子56连接。此外，纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8的输出端子共同连接，并经由一端子对弹性表面波谐振器58与第二端子57连接。
如上所述，除不具有平衡一不平衡变换功能，第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8的输出端子共同连接，并经由一端子对弹性表面波谐振器58与第二端子57连接外，弹性表面波滤波装置55与弹性表面波滤波装置1结构相同。
在本实施方式中，虽然得到不具有平衡-不平衡变换功能的并联型的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置，但在该情况下，因为第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7中的抽指加权与第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器8的抽指加权不同，所以对通频带内的滤波器特性几乎不造成影响，且能够调整低于通频带的低频域侧的衰减区域内的衰减量。此外，例如，通过使两者的加权不同，使低于通频带的低频域侧的衰减区域内的衰减量扩大，可将通频带的低频域侧的衰减区域内的衰减量设为足够大。
从图6可知，本发明也能够适用于不具有平衡-不平衡变换功能的并联型的弹性表面波滤波装置。
图7是表示本发明的第四实施方式所述的弹性表面波滤波装置61的电极构造的示意平面图。图示的电极构造连接在不平衡信号端子63及第一、第二平衡信号端子64、65间。第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部67、68经由一端子对弹性表面波谐振器66并联在不平衡信号端子63上。第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部67经由一端子对弹性表面波谐振器69a连接在第一平衡信号端子64上。第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部68经由一端子对弹性表面波谐振器69b连接在第二平衡信号端子65上。
在本实施方式中，第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部67具有并联的第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器67A、67B，第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部68具有并联的第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器68A、68B。即，第一实施方式的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8分别被置换为由并联的两个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器构成的结构。
即使在本实施方式中，例如也能够通过使第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器67A、67B中的抽指加权的方式与第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器68A、68B中的抽指加权的方式不同，调整通频带附近的衰减区域内的衰减特性，并可实现衰减区域内的衰减量的扩大。
此情况下，可使第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部67的第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器67A、67B的至少一方的抽指加权与其余的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器的抽指加权不同。
而且，在第四实施方式中，在纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器68A、68B中，在中央的IDT的两端分别实施串联加权。这是为了改善平衡度。
图8是表示第五实施方式所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。在第六实施方式所述的弹性表面波滤波装置1000中，图示的电极构造连接在不平衡信号端子3及第一、第二平衡信号端子3、4间。第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部1001、1002经由一端子对弹性表面波谐振器6并联在不平衡信号端子3上。位于第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器部1001、1002的各自中央的IDT1012、IDT1022的一端被分别分割为IDT部1012a和DT部1012b、IDT部1022a和IDT部1022b，IDT部1012a与IDT部1022a连接在平衡信号端子4上，IDT部1012b与IDT部1022b连接在平衡信号端子5上。
在本实施方式中，例如也能够通过使第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器1001中的抽指加权的方式与第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器1002中的抽指加权的方式不同，调整通频带附近的衰减区域内的衰减特性，并可实现衰减区域内的衰减量的扩大。
图9是表示第六实施方式所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。在第六实施方式所述的弹性表面波滤波装置71中，图示的电极构造连接在不平衡信号端子73及第一、第二平衡信号端子74、75间。此处，第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器77、78并联在不平衡信号端子73上。第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器77及第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器78都是具有沿表面波传播方向配置的IDT81～83、91～93的3IDT型的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器。
此处，中央的IDT82、92的一端共同连接，且连接在不平衡信号端子73上，IDT82、92的另一端连接在接地电位。此外，IDT81、83的各自的一端连接在接地电位，各自的另外一端连接在后述的第三纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器79A上。同样地，IDT91、93的各自的一端连接在接地电位，各自的另外一端连接在后述的第四纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器79B上。
第三、第四纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器79A、79B是分别具有沿表面波传播方向配置的IDT101～103、111～113的3IDT型的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器。IDT101、103的各自的一端与IDT81、83的各自的另外一端连接，第三纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器79A的输入端子与第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器77的输出端连接。IDT101、103的各自的另外一端与接地电位连接。此外，IDT102的一端与接地电位连接，另外一端与第一平衡信号端子74连接。
同样地，在第四纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器79B中，IDT111、113的各自的另外一端与接地电位连接。此外，IDT111、113的各自的一端与IDT91、93连接，即，第四纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器79B的输入端子与第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器78的输出端子连接。此外，IDT112的一端与接地电位连接，另一端与第二平衡信号端子75连接。
在第六实施方式的弹性表面波滤波装置71中，IDT81～83、91～93、101～103、111～113全部被抽指加权。根据本发明，IDT82中的加权与IDT92中的抽指加权不同。即，一个IDT的抽指加权不同于其余的IDT的抽指加权。换言之，至少一个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器77的抽指加权不同于其余的弹性表面波滤波器78、79A、79B的抽指加权。从而，与第一实施方式的情况相同，通过使这些抽指加权不同，在对通频带内的滤波器特性几乎不造成影响的情况下，能够调整通频带附近的衰减区域内的衰减量。
图10是表示本发明的变形例所述的弹性表面波滤波装置的电极构造的示意平面图。变形例的弹性表面波滤波装置121除使用5IDT型的第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器122、123代替第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器7、8外，与第一实施方式的结构相同。因而，对同一部分标注同一参照标记，并省略说明。
第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器122、123分别具有沿表面波传播方向配置的第一～第五DT131～135、141～145。此处，IDT131～135中的抽指加权不同于IDT141～145中的抽指加权。因而，与第一实施方式同样地，对滤波器特性几乎不造成影响，且能够实现通频带附近的衰减区域内的衰减量的调整。如此，在本发明中，不仅限于3IDT型，也可使用5IDT型的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器。进而，本发明也能够适用2IDT型或具有其他数的IDT的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器。
图11是表示作为本发明的其他实施方式的双工器的电极构造的示意平面图。双工器201通过在一个压电基板(未图示)上形成图示的电极构造而形成。此处，形成按照第一实施方式构成的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1和发送侧滤波器202。第一实施方式的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1连接在不平衡信号端子3上，并构成接收侧滤波器。另一方面，具有梯形回路结构的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器202作为发送侧滤波器连接在不平衡信号端子3上。该发送侧滤波器202具有在不平衡信号端子3与输出端子203之间延伸的连接成串联臂的串联臂谐振器S1、S2、S3；以及并联臂谐振器P1、P2。串联臂谐振器S1～S3及并联臂谐振器P1、P2都是由一端子对弹性表面波谐振器构成。
在具备将纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1作为接收侧带通滤波器，将梯形回路结构的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器202作为发送侧滤波器的双工器201中，能够增大比作为接收侧带通滤波器的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波装置1的通频带低的低频侧的衰减区域、即发送侧滤波器的通频带中的衰减量，并可提高绝缘特性。
而且，在本发明中，作为弹性波不仅限于弹性表面波，也可使用弹性边界波。即，本发明不仅能够适用弹性表面波滤波装置，也适用弹性边界波滤波装置。
权利要求
1.一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；和在所述压电基板上设置的多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器；各纵向耦合谐振式弹性波滤波器具有输入端子、输出端子、与输入端子连接的IDT、以及与输出端子连接的IDT，与输入端子连接的IDT和与输出端子连接的IDT沿弹性波传播方向交互设置，所述弹性波滤波装置还具备所述多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子连接的第一端子；以及所述多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接的第二端子；其中，多个所述纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，且至少一个所述纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权与其他的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同。
2.一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；至少一个第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器；以及至少一个第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器；所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器具有输入端子、输出端子、与输入端子连接的IDT、与输出端子连接的IDT，在所述压电基板上，与输入端子连接的IDT和与输出端子连接的IDT沿弹性波传播方向交互设置，所述输出端子或输入端子与第一平衡信号端子连接，所述第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器具有输入端子、输出端子、与输入端子连接的IDT、与输出端子连接的IDT，在所述压电基板上，与输入端子连接的IDT和与输出端子连接的IDT沿弹性波传播方向交互设置，输出端子或输入端子与第二平衡信号端子连接，且相位与所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器相差180°，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子或输出端子与不平衡信号端子连接，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，且第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器中的至少一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权与其余的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的抽指加权不同。
3.一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；在所述压电基板上设置的第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器；不平衡信号端子；以及第一、第二平衡信号端子；其中，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器形成在压电基板上，并具有与第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子或输出端子连接的第一IDT；设置在该第一IDT的弹性波传播方向两侧、并与所述输出端子或输入端子连接的第二IDT；所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输入端子与所述不平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子与所述第一平衡信号端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输出端子与所述第二平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的其中一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位与其他的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位反向，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，该抽指加权在第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器中不同。
4.一种弹性波滤波装置，其特征在于，具备压电基板；在所述压电基板上设置的第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器；不平衡信号端子；以及第一、第二平衡信号端子；其中，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器形成在压电基板上，并具有与第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子或输出端子连接的第一IDT；设置在该第一IDT的弹性波传播方向两侧、并与所述输出端子或输入端子连接的第二IDT，所述第一、第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输入端子与所述不平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子与所述第一平衡信号端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的所述输出端子与所述第二平衡信号端子连接，所述第三纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第一纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输入端子与所述第二纵向耦合谐振式弹性波滤波器的输出端子连接，所述第一～第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器的其中一个纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位与其他的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的相位反向，所述第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器被抽指加权，该抽指加权在第三、第四纵向耦合谐振式弹性波滤波器中不同。
5.如权利要求1～4中任一项所述的弹性波滤波装置，其中，所述抽指加权以相对于实施了抽指加权的纵向耦合谐振式弹性波滤波器的中心在弹性波传播方向上非对称的方式进行实施。
6.如权利要求1～5中任一项所述的弹性波滤波装置，其中，实施了所述抽指加权的电极指的根数在实施了抽指加权的纵向耦合谐振式弹性波滤波器之间被设为相等。
7.如权利要求1～6中任一项所述的弹性波滤波装置，其中，实施所述抽指加权的IDT是在多个纵向耦合谐振式弹性波滤波器间对应的IDT。
8.如权利要求1～7中任一项所述的弹性波滤波装置，其中，全部的IDT被抽指加权。
9.一种双工器，其特征在于，使用权利要求1～8中任一项所述的弹性波滤波装置来构成。
全文摘要
本发明提供一种弹性波滤波装置，其对通频带的滤波器特性几乎不造成影响，且能够实现通频带附近的衰减区域内的衰减量的调整及衰减量的扩大。在弹性波滤波装置(1)中，在压电基板(1)上设置第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器(7、8)，第一、第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器(7、8)并联，第一纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器(7)及第二纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器(8)被抽指加权，至少一个纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器(7)的抽指加权不同于其余的纵向耦合谐振式弹性表面波滤波器(8)的抽指加权。
文档编号H03H9/72GK101091310SQ20068000154
公开日2007年12月19日 申请日期2006年9月20日 优先权日2005年10月3日
发明者高峰裕一 申请人:株式会社村田制作所