专利名称：弹性波滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及弹性波滤波器，例如(SAW:声表面波)滤波器。
技术背景SAW器件是利用弹性表面波的器件，在压电基板上配置称为IDT (Inter-Digital Transducer:叉指换能器)的电极指，进行电信号与弹性 波之间的电一机械相互变换，具有频率选择(频带滤波器)特性的器 件。作为SAW器件之一的SAW滤波器作为正在发展高性能、小型化 的各种通信设备例如便携电话等的带通滤波器使用，近年来伴随着无 线数据通信的高速化、大容量化，具有插入损失(相对于输入电力的 输出电力的衰减量)小，频率选择性出色的滤波器特性，而且，宽频 带、平坦性、小型化的要求正在高涨。为了满足这样的要求，例如锥 型IDT滤波器是有利的。这样的滤波器100，例如如图13所示，具备在压电基板101上形 成的作为锥型电极的输入侧锥型IDT电极102和输出侧锥型IDT电极 103，以从输入侧锥型IDT电极102侧向输出侧锥型IDT电极103侧传 输弹性波的方式构成。在这些电极102、 103之间，设置有用于抑制电 极102、 103之间的耦合的屏蔽104，该屏蔽104作为角型的面状金属膜(所谓的板膜)构成。各个电极102、 103由具备多个电极指106的2条平行的汇流条105 构成，在各个电极102、 103中，与汇流条105连接的电极指106相互 相对，另外通过电极指106例如每2条形成为组并相互不同地延伸而 成为梳齿状，由此作为SPLIT电极构成。在各个电极102、 103中，以相对于弹性波的传输方向，电极指106 的宽度形成为一定，另外电极指106、 106之间的间隔也形成为一定的 方式形成电极指106。由该电极指106的宽度和电极指106、 106之间 的间隔构成的排列图形以重复某个长度的周期单位入的方式设计。在 该例子中，由4条电极指106与该电极指106之间的间隔区域构成一个周期单位入。从而，在该滤波器100中，与周期单位入相同长度的波长的弹性 波从输入侧锥型IDT电极102向输出侧锥型IDT电极103传输。该周期单位入的长度，以在相对于弹性波的传输方向正交的方向 上，从一方的汇流条105向另一方的汇流条105逐渐扩展，g卩，电极 指106的宽度和电极指106、106之间的间隔分别逐渐展宽的方式设计。通过这样逐渐展宽电极指106的排列图形构成锥型IDT，在该滤 波器100中，成为传输从周期单位a与窄区域相对应的高频率到周期 单位a与宽区域相对应的低频率的弹性波，从而实现滤波器100的宽 频带化。另一方面，如果逐渐展宽电极指106的排列图形，则倾斜电极指 106相对于弹性波的传输方向构成的倾斜角e 。另外，在为了进一步扩 展在滤波器100中传输的频率的频带宽，将周期单位入的窄区域与宽区域中的周期单位a的长度差取得很大的情况下，该倾角e将更大地倾斜。然而，由于在输入侧锥型IDT电极102和输出侧锥型IDT电极103 存在的部位和不存在的部位中，在压电基板101上的弹性波的传输状 态(传输速度)方面存在差别，因此弹性波当从输入侧锥型IDT电极 102的输出侧锥型IDT电极103侧的端缘被放射时产生折射。从而， 当像这样倾斜电极指106的倾斜角度e时，则从输入侧IDT电极102 传送来的弹性波，从形成有与其波长相对应的周期单位a的作为传输 路径的轨迹很大地偏移，入射到输出侧锥型IDT电极103。图14中表示在这种滤波器100中，例如Trl (低频率侧)和Tr2 (高频率侧)的2种弹性波从形成有与输入侧锥型IDT电极102中的 各个频率相对应的周期单位a的轨迹向输出侧锥型IDT电极103侧放 射的情况下，从各个轨迹被发送的弹性波保持原样地无轨迹偏移地被 接收时的能量分布(图中右侧的阴影)、和发生轨迹偏移地被接收时的 能量分布(图中左侧的阴影)。从该图14可知，关于低频率侧和高频 率侧的任一个中，在所有的轨迹中由输出侧锥型IDT电极103接收的 能量由于折射而减少。当比较该能量的减少程度时，关于输入侧锥型 IDT电极102与输出侧锥型IDT电极103之间的距离L， Tr2的高频率 侧比Trl的低频率侧长。从而，关于表示轨迹偏移的dTr， dTr2比dTrl 大，其结果是，高频率侧的能量的衰减大。进而，关于从输入侧锥型IDT电极102的端部被放射的弹性波由 于发生衍射，因此在输入侧锥型IDT电极102与输出侧锥型IDT电极 103之间的能量传输中发生基于衍射的损失。但是该衍射损失也是在输 入侧锥型IDT电极102与输出侧锥型IDT电极103之间的距离L越长 越增大。由此，由折射或者衍射产生的能量损失相对于传输距离L的长的 高频率侧的特性的影响大，因此如在图15中作为「B」表示的那样， 高频率侧的衰减特性恶化。另外，如作为图14中的Tr0 (与Trl相比低频率一侧)所示，从 输入侧锥型IDT电极102被放射的弹性波中，还有由于折射传输到从 形成有输出侧锥型IDT电极103的区域偏离了的区域中的弹性波。由 于在输出侧锥型IDT电极103中没有接收这种弹性波，因此在低频率 侧衰减特性也恶化。另一方面，在这种滤波器100中，为了提高选择性，即为了使频 率特性图中的通过频带的上升沿陡峭，通常采用增加电极指106的对 数的方法。为此电极指106的倾斜角度e更大地倾斜，上述的衰减特 性的恶化更显著。如果汇总以上所述则具有以下的课题。由于锥型IDT倾斜，因此从低频率侧到高频率侧衰减特性恶化， 特别是在高频率侧中恶化的程度大。而且，如果使滤波器100高频带 化，另外增加电极指106的对数，由于倾斜角度e增大，因此这样的 恶化特别显著。进一步，如果增加电极指106的对数，则还有滤波器 100的尺寸增大的问题。在专利文献1中记载了上述课题，但是没有指出任何抑制弹性波 的折射或者衍射的技术。专利文献1特开2005 —150918 ((0004)、 (0022) (0025)) 发明内容本发明是鉴于这样的情况而完成，其目的在于提供在构成为锥型的IDT的弹性波滤波器中，能够抑制由弹性波的折射等引起的衰减特 性恶化，而且抑制损失的技术。本发明的弹性波滤波器的特征在于，包括输入侧锥型IDT电极，其包括以相互平行的方式形成的一对汇 流条、从该一对汇流条的各个相互交互地延伸形成为梳齿状的电极指 组、电极指的宽度和电极指之间的间隔区域以随着从上述汇流条的一 侧向另一侧而展宽的方式形成的锥型IDT电极；输出侧锥型IDT电极，其包括以相互平行的方式形成的一对汇 流条、从该一对汇流条的各个相互交互地延伸形成为梳齿状的电极指 组、和电极指的宽度和电极指之间的间隔区域以随着从上述汇流条的一侧向另一侧而展宽的方式形成的锥型IDT电极，并且相对于上述输 入侧锥型IDT电极沿着弹性波的传输方向隔开间隔而配置；设置在输入侧锥型IDT电极与输出侧锥型IDT电极之间的短光栅 电极，输入侧锥型IDT电极的上述一侧的汇流条与输出侧锥型IDT电极 的上述一侧的汇流条沿着弹性波的传输方向排列，上述短光栅电极中的电极指的排列图形，以上述输入侧锥型IDT 电极和上述输出侧锥型IDT电极的至少一方的上述电极指的排列图形 连续地延长的方式形成。上述短光栅电极的电极指的排列图形，优选以上述输入侧锥型IDT电极的电极指的排列图形和输出侧锥型IDT电极的电极指的排列图形 分别连续地延长的方式形成，在该排列图形的交叉部分，相互的排列图形的电极指之间被接合。上述短光栅电极的电极指的排列图形，优选以上述输入侧锥型IDT电极和上述输出侧锥型IDT电极的电极指的排列图形的一方连续地延 长的方式形成，该排列图形的延长端与上述输入侧锥型IDT电极和输 出侧锥型IDT电极的另一方的短光栅电极侧的端部分开。 本发明例如也可以按照如下上述构成。将与在作为弹性波的传输路径的轨迹中传输的弹性波的波长相对
应的上述电极指的排列图形的周期单位记为A，则a) 上述输入侧锥型IDT电极、上述短光栅电极和上述输出侧锥型 IDT电极的各个的相互相邻的电极指的中心线相互之间的距离，b) 上述输入侧锥型IDT电极的上述短光栅电极侧的端部的电极指 的中心线、与上述短光栅电极的上述输入侧锥型IDT电极侧的电极指 的中心线的距离，c) 上述输出侧锥型IDT的上述短光栅电极侧的电极指的中心线、 与上述短光栅电极的上述输出侧锥型IDT电极侧的电极指的中心线的 距离，的任一个都是入/4。上述短光栅电极的电极指组的一部分，也可以是宽度被设定为入 /4以下的弹性波反射源。上述输入侧锥型IDT和上述输出侧锥型IDT的任一个是单方向性 电极。在本发明中，在输入侧锥型IDT与输出侧锥型IDT之间设置有短 光栅电极的弹性波滤波器中，以输入侧锥型IDT和上述输出侧锥型IDT 的至少一方的电极指的排列图形连续地延长的方式形成短光栅电极的 排列图形。从而，在短光栅电极中，继承输入侧锥型IDT电极的电极 指的排列图形的部分从音响方面看成为与输入侧锥型IDT电极相同的 介质，另外，在短光栅电极中，继承输出侧锥型IDT电极的电极指的 排列图形的部分成为与输出侧锥型IDT电极相同的介质。从而，输入 侧、输出侧的边界部分成为一处。其结果是，弹性波的折射等的程度 减小，能够抑制衰减特性的恶化。
图1是表示本发明的实施方式的弹性波滤波器的一个例子的平面图。图2是放大上述弹性波滤波器的一部分的平面图。图3是大致地表示上述弹性波滤波器的传输路径的平面图。图4是表示上述弹性波滤波器中的弹性波的传输的状况的概略图。图5是表示上述弹性波滤波器的频率的衰减特性的特性图。图6是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。
图7是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。 图8是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。 图9是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。图io是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。图11是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。图12是表示上述弹性波滤波器的其它例子的平面图。 图13是表示现有的弹性波滤波器的平面图。图14是表示上述现有的弹性波滤波器的弹性波传输状况的概略图。图15是表示上述现有的弹性波滤波器的频率的衰减特性的特性图。
具体实施方式
参照图1 图5说明本发明的实施方式。在本发明的弹性波滤波器 10中，在压电基板11的表面形成与已经叙述过的图13中表示的滤波 器100的输入侧锥型IDT电极102和输出侧锥型IDT电极103分别相 同结构的输入侧锥型IDT电极12和输出侧锥型IDT电极13。输入侧 锥型IDT电极12和输出侧锥型IDT电极13相对于弹性波的传输方向 隔开间隔设置。在输入侧锥型IDT电极12中，14a、 14b分别是一侧的汇流条(bus bar)和另一侧的汇流条，形成为相互平行。 一侧的汇流条14a与输入 端口 21连接，另一侧的汇流条14b接地。另外，15是输入侧锥型IDT电极12中的电极指。由这些多个电 极指15构成的电极指组以成为SPLIT电极的方式每2条成为一组，这 些组相互不同地排列形成为梳齿形。即， 一个组形成为从一方的汇流 条14a向相对的另一方的汇流条14b延伸。而且，与该一个组邻接的 另一组形成为从另一方的汇流条14b向一方的汇流条14a延伸。该电极指15也如图2所示，相对于弹性波的传输方向，形成为宽 度和电极指15、 15之间的间隔成为一定的相同尺寸。另外，电极指15 的排列图形，以从一侧的汇流条14a延伸的2条电极指15的组、和与 该电极指15的组邻接并从另一侧的汇流条14b延伸的2条电极指15
的组作为周期单位A，以重复该A的周期单位的方式形成。在该弹性 波滤波器10中，传输与该周期单位入的长度相同长度的波长的弹性波。 在该例子中，如上所述，由于通过4条电极指15，更详细地讲，通过4条电极指15和电极指15、 15之间的间隔区域形成周期单位入， 因此在相互邻接的电极指15、 15中，通过电极指15的中心的直线(轴 线)相互之间的尺寸成为入/4。另外，在该例子中，由于使电极指15 的宽度为A /8，因此关于电极指15、 15之间的距离也成为入/ 8 (入 / 4一入/ 8=入/ 8)。该排列图形从图中上侧向下侧，沿着相对于弹性波的传输方向正 交的方向，电极指15的间隔(间距)逐渐扩展，另外，关于电极指15 的各个的宽度，也形成为随着从上侧向下侧逐渐变宽。从而，在汇流 条14a —侧形成周期单位A最小的轨迹Trl的同时，在汇流条14b —侧 形成周期单位入最大的轨迹Tr2，在这些轨迹Trl与轨迹Tr2之间，存 在随着周期单位A朝向轨迹Tr2 —侧而增大的无数个轨迹。即，沿相 对于弹性波的传输方向正交的方向，从作为己述的周期单位入狭窄的 区域的Trl到作为宽阔的区域的Tr2，跨越较宽频带形成作为弹性波的 传输路径的轨迹。另外，图1中，关于电极指15的宽度，为了简化图 示描绘成一定的宽度。如已述的图1那样，输出侧锥型IDT电极13与输入侧锥型IDT 电极12相同，具备一侧的汇流条14c和另一侧的汇流条14d。该一侧 的汇流条14c与输出端口22连接，另一侧的汇流条14d接地。另外， 输出侧锥型IDT电极13与输入侧锥型IDT电极12相同，具备电极指 15，该电极指15以相对于弹性波的传输方向周期单位A成为一定，另 外相对于与弹性波的传输方向正交的方向从上侧向下侧，周期单位A 形成为从Trl到Tr2展宽的排列图形的方式配置。关于该输出侧锥型 IDT电极13的电极指15的排列图形或者尺寸，也形成为与己述的输 入侧锥型IDT电极12中的排列图形相同。在输入侧锥型IDT电极12与输出侧锥型IDT电极13之间，如图 l和图2所示，形成有短光栅(short grating)电极16，该短光栅电极 16具备一对平行的一方汇流条18a和另一方汇流条18b。与已述的电 极指15相同，在该汇流条18a、 18b之间形成有沿着相对于弹性波的
传输方向大致正交的方向(更详细的讲，相对于该正交方向变得倾斜) 延伸的多个电极指17组。该电极指17的一端侧和另一端侧分别与汇流条18a、 18b连接。关于弹性波的传输方向中的电极指17的排列，形成为使得电极指 17和电极指17的排列间隔(间距) 一定的相同尺寸，与电极指15相 同，由电极指17和电极指17的排列间隔构成的排列图形成为一定周 期单位A的反复。而且，形成为使随着从一方汇流条18a朝向另一方 汇流条18b，电极指17的宽度和间距展宽。关于该电极指17的排列图 形，参照放大表示输入侧锥型IDT电极12和短光栅电极16的边界附 近的已述的图2进行说明。电极指17的周期单位A与已述的电极指15 的排列图形相同，由4个电极指17的宽度和间隔构成，在输入侧锥型 IDT电极12 —侦l」，以输入侧锥型IDT电极12的电极指15的排列图形 保持原样地延伸的方式形成。从而，关于相互邻接的电极指17、 17的 中心线相互之间的距离也与电极指15的排列图形相同成为入/4。另 外，电极指17的宽度和间隔与已述的电极指15相同，分别成为入/8。另外，关于输入侧锥型IDT电极12与短光栅电极16之间的区域， 以输入侧锥型IDT电极12中的短光栅电极16 —侧的端部的电极指15 的中心线与短光栅电极16中的输入侧锥型IDT电极12 —侧的电极指 17的中心线的距离成为入/4的方式设定。由此，在该中心线相互之 间，在沿着相对于弹性波的传输方向大致正交的方向延伸的连接线20 上，输入侧锥型IDT电极12的周期单位A和短光栅电极16的周期单 位入不中断地连续地连接。在该短光栅电极16中，以从输入侧锥型IDT 电极12连续的方式形成的区域构成输入侧区域16a。如已述的图1所示，在输出侧锥型IDT电极13 —侧，短光栅电极 16的排列图形以使输出侧锥型IDT电极13的排列图形延长的方式形 成，构成输出侧区域16b。另外，关于输出侧锥型IDT电极13的短光 栅电极16 —侧的电极指15的中心线与短光栅电极16的输出侧锥型 IDT电极13—侧的电极指17的中心线的距离，也设定为入/4。由此， 短光栅电极16的周期单位入与输出侧锥型IDT电极13的周期单位入 在连接线20上不中断地连续地连接。关于输出侧区域16b的电极指17 的宽度或者间隔，也设定为与输入侧区域16a相同。 该输出侧区域16b和己述的输入侧区域16a，通过短光栅电极16 的大致中心，沿着相对于弹性波的传输方向正交的方向延伸的线19接合。另外，关于电极指17的宽度，为了简化图示，在图l中也描绘成 一定的宽度。另外，在图2中，关于输入侧锥型IDT电极12和短光栅 电极16，添加斜线使得易于判别。在这样的弹性波滤波器10中，当对输入侧锥型IDT电极12输入 频率信号，即当在输入端口21与接地点之间输入频率信号，则发生作 为声波的弹性表面波(SAW)。该弹性波在输入侧锥型IDT电极12中， 在形成有与该波长的长度(A)相对应的周期单位A的轨迹中，向输 出侧锥型IDT电极13 —侧传输。而且，该弹性波虽然在每次相对于电 极指15输入输出时反复折射，但由于各电极指15的形状和间隔区域 的形状(排列图形) 一定，因此如图3所示，大致直线地传输。另外，在短光栅电极16中，由于输入侧锥型IDT电极12的电极 指15的排列图形被继承，因此弹性波在从输入侧锥型IDT电极12入 射到短光栅电极16时，并且在短光栅电极16内也直线传输。而且，在短光栅电极16内，由于作为输入侧锥型IDT电极12的 排列图形被继承的输入侧区域16a、与输出侧锥型IDT电极13的排列 图形被继承的输出侧区域16b的边界部的线19成为不连续面，因此在 该线19上弹性波虽然发生微小的折射，但其程度极小。因而，从输入 侧锥型IDT电极12经由输入侧区域16a传输来的弹性波几乎直线地向 输出侧区域16b传输。然后，同样地，弹性波从输出侧锥型IDT电极13的排列图形被继 承的输出侧区域16b以折射或者衍射被抑制的状态向输出侧锥型IDT 电极13传输。从而，如图4所示，从输入侧锥型IDT电极12放射的弹性波跨越 较宽的频带以轨迹偏移被抑制的状态到达输出侧锥型IDT电极13。另 外，该图中的直线L1、 L2、 L3表示电极指15、 17的长度方向的3处 位置的每个位置上传输的弹性波的传输路径(轨迹)。这种情况下，波 长按照LKL2〈L3的顺序变长。在该弹性波滤波器10中，实际上存 在与从电极指15、 17的最小轨迹Trl到最大轨迹Tr2的之间的各波长 相对应的轨迹。然后，输出与各个轨迹的弹性波相对应的电信号。依据上述的实施方式，不是使用金属的板膜而是用多个电极指17形成短光栅电极16，将与该短光栅电极16的输入侧锥型IDT电极12 邻接的输入侧区域16a和接近输出侧锥型IDT电极13的输出侧区域 16b，分别形成从输入侧锥型IDT电极12和输出侧锥型IDT电极13 连续(延长)的图形。另外，如已述的那样，关于输入侧锥型IDT电 极12和输出侧锥型IDT电极13与短光栅电极16之间的区域，以作为 电极指15、 17的重复单位的周期单位A不中断地连续的方式设定。从而，弹性波滤波器10从外观上由输入侧锥型IDT电极12和输 出侧锥型IDT电极13构成，各个的轨迹的输入侧锥型IDT电极12与 输出侧锥型IDT电极的边界部分即非周期结构、成为仅仅线19 一处的 周期结构。从而，由于弹性波的折射或者衍射程度小，另外关于反射 也很小，因此在各个轨迹中能够减少弹性波的能量损失。其结果是， 如在图5中作为「A」所示那样，衰减特性良好，特别是能够使高频侧 的衰减特性良好。另外，形状系数(35dB带宽与ldB带宽之比)在本 发明(图5)中是1.70，是非常好的值，而在现有技术(图15)中是 1.81。进而，由于即使不增加电极指15的对数衰减特性也变得良好， 因此还具有能够使弹性波滤波器10小型化的优点。在增加电极指15 的对数的情况下，能够抑制衰减特性的恶化，提高选择性。另外，在上述的例子中虽然省略了图示，但在输入侧锥型IDT电 极12或者输出侧锥型IDT电极13的外侧区域(与短光栅电极16相反 一侧的区域)中优选设置反射器。而在上述的例子中，形成有输入侧区域16a和输出侧区域16b，使 得在短光栅电极16的中央部形成有线19，但也可以例如增大输入侧区 域16a或者输出侧区域16b的一方，使线19相对于弹性波的传输方向 倾斜(参照图6)。另外，也可以仅在输入侧区域16a或者输出侧区域16b的一方构 成短光栅电极16。图7表示这种弹性波滤波器10的例子。这种情况下， 线19外观上形成在输入侧锥型IDT电极12与短光栅电极16之间。进 而，既可以如图8所示，在中途是曲线19弯折，另外也可以如图9所 示，在多个位置例如2个位置使该线19弯折。g卩，在各个轨迹中，可 以设计为使得传输的弹性波的通过的不连续面(线19)成为一处。在这些结构的弹性波滤波器10中，也可以得到与已述的例子(图 1)相同的效果。另外，如上述的各例子所示那样，连续地直线地展宽各电极指15、17，但是也可以如图IO所示曲线地展宽，或者也可以如图11所示阶 段性地展宽，使得成为所谓的近似锥型。另外，在该图10、 11中也与 上述的各例子相同，以从图中上侧向下侧，由各个电极指15、 17的宽 度和间隔区域构成的排列图形展宽的方式配置，但为了简化图示而省 略。在上述的例子中，分别将电极指15、 17的宽度、和电极指15(17)、 15 (17)之间的间隔都取为A /8，但是也可以是人/8以外的值，这 种情况下，可以以通过相邻的电极指15 (17)的中心的直线相互之间 的尺寸(电极指15 (17)的宽度与电极指15 (17)、 15 (17)之间的 间隔之和)成为入/4的方式形成电极指15、 17。另外，如图12所示，在输入侧锥型IDT电极12、输出侧锥型IDT 电极13和短光栅电极16中，在宽度是入/8的基本电极指(电极指 15、 17)之间设置作为宽度例如是入/4或者3/8入的电极指的反射 源31，作为DART (Distributed acoustic reflection transducer)电极或者 EWC — SPUDT (Electlode Width Controlled—SPUDT)电极也可以。另 外，在使输入侧锥型IDT电极12和输出侧锥型IDT电极13中的电极 指15与各自的汇流条14a (14c)、 14b (14d)的双方连接的情况下， 也可以使上述反射源31的宽度为5 / 8 A以下。在本例子中，与上述的例子相同，由4个电极指15 (17)和该电 极指15 (17)之间的间隔区域构成周期单位入，而在输入侧锥型IDT 电极12和输出侧锥型IDT电极13中，由从一侧的汇流条14a、 14c延 伸的一个电极指15、和从与该电极指15邻接排列的另一侧汇流条14b、 14d延伸的3个电极指15的组构成周期单位A 。另外，该图12表示在 己述的图1的弹性波滤波器10中设置有反射源31的例子。在这种结构的弹性波滤波器10中，也同样地抑制能量的损失传输 弹性波，能够得到与上述的例子相同的效果。在该弹性波滤波器10中， 通过积极使用多重反射，进一步谋求低损失化，而且能够提高选择性。
另外，通过像这样设置反射源31，能够不伴随基于TTE (三重过渡回 波)的波动增大而谋求低损失化。另外，作为单方向性电极，除去这种结构以外，例如还可以是FEUDT (Floating Electrode type Uni—Direction Transducer) 电丰及或者 DWSF — SPUDT (Different Width Split Finger—SPUDT)电极等。进而， 作为己述的图1所示的输入侧锥型IDT电极12或者输出侧锥型IDT 电极13，可以使用这些单方向性电极的任一种。即使是这样的情况， 也能够得到与上述的图12的弹性波滤波器10同样的效果。作为上述的输入侧锥型IDT电极12和输出侧锥型IDT电极13， 以成为SPLIT电极的方式将2个电极指15作为组交互地配置，但也可 以以成为但电极的方式交互地配置1个电极指15。另外，在以上的例子中，表示了在压电基板11上一对形成有输入 侧锥型IDT电极12与输出侧锥型IDT电极13的组的例子，但是也可 以形成两对以上。另外，作为以上的滤波器10，也可以不是表面波，而是利用从压 电基板11的表层在内部传输的弹性波的器件。
权利要求
1. 一种弹性波滤波器，其特征在于，包括输入侧锥型IDT电极，其包括以相互平行的方式形成的一对汇流条、从该一对汇流条的各个相互交互地延伸形成为梳齿状的电极指组、电极指的宽度和电极指之间的间隔区域以随着从所述汇流条的一侧向另一侧而展宽的方式形成的锥型IDT电极；输出侧锥型IDT电极，其包括以相互平行的方式形成的一对汇流条、从该一对汇流条的各个相互交互地延伸形成为梳齿状的电极指组、和电极指的宽度和电极指之间的间隔区域以随着从所述汇流条的一侧向另一侧而展宽的方式形成的锥型IDT电极，并且相对于所述输入侧锥型IDT电极沿着弹性波的传输方向隔开间隔而配置；设置在输入侧锥型IDT电极与输出侧锥型IDT电极之间的短光栅电极，输入侧锥型IDT电极的所述一侧的汇流条与输出侧锥型IDT电极的所述一侧的汇流条沿着弹性波的传输方向排列，所述短光栅电极中的电极指的排列图形，以所述输入侧锥型IDT电极和所述输出侧锥型IDT电极的至少一方的所述电极指的排列图形连续地延长的方式形成。
2、 根据权利要求l所述的弹性波滤波器，其特征在于 所述短光栅电极的电极指的排列图形，以所述输入侧锥型IDT电极的电极指的排列图形和输出侧锥型IDT电极的电极指的排列图形分 别连续地延长的方式形成，在该排列图形的交叉部分，相互的排列图 形的电极指之间被接合。
3、 根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其特征在于 所述短光栅电极的电极指的排列图形，以所述输入侧锥型IDT电极和所述输出侧锥型IDT电极的电极指的排列图形的一方连续地延长 的方式形成，该排列图形的延长端与所述输入侧锥型IDT电极和输出 侧锥型IDT电极的另一方的短光栅电极侧的端部分开。
4、 根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其特征在于 将与在作为弹性波的传输路径的轨迹中传输的弹性波的波长相对应的所述电极指的排列图形的周期单位记为入，则a) 所述输入侧锥型IDT电极、所述短光栅电极和所述输出侧锥型 IDT电极的各个的相互相邻的电极指的中心线相互之间的距离，b) 所述输入侧锥型IDT电极的所述短光栅电极侧的端部的电极指 的中心线、与所述短光栅电极的所述输入侧锥型IDT电极侧的电极指 的中心线的距离，c) 所述输出侧锥型IDT的所述短光栅电极侧的电极指的中心线、 与所述短光栅电极的所述输出侧锥型IDT电极侧的电极指的中心线的 距离，的任一个都是入/4。
5、 根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其特征在于 所述输入侧锥型IDT和所述输出侧锥型IDT的任一个是单方向性电极。
6、 根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其特征在于 将与在作为弹性波的传输路径的轨迹中传输的弹性波的波长相对应的所述电极指的排列图形的周期单位记为A ，则所述短光栅电极的 电极指组的一部分是宽度设定为所述入的1 / 4以下的弹性波反射源。
全文摘要
本发明的目的在于提供在将IDT构成为锥型的弹性波滤波器中，能够抑制由弹性波的折射等引起的衰减特性恶化，而且抑制损失的技术，在本发明中，由多个电极指(17)形成短光栅电极(16)。而且，使该短光栅电极(16)的与输入侧锥型IDT电极(12)邻接的输入侧区域(16a)、和接近输出侧锥型IDT电极(13)的输出侧区域(16b)，形成为分别从输入侧锥型IDT电极(12)和输出侧锥型IDT电极(13)连续(延长)的图形。另外，关于输入侧锥型IDT电极(12)和输出侧锥型IDT电极(13)与短光栅电极(16)之间的区域，以电极指(15)、(17)的作为重复单位的周期单位λ不间断地连续的方式设定。
文档编号H03H9/145GK101399528SQ20081016954
公开日2009年4月1日 申请日期2008年9月28日 优先权日2007年9月28日
发明者津田忠秋 申请人:日本电波工业株式会社