专利名称：弹性波滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及弹性波滤波器，详细来说涉及梯型弹性波滤波器，其具备串联臂谐振器、并联臂谐振器、以及按照与串联臂谐振器并联的方式与串联臂连接的电感器。
背景技术：
近年来，例如，在下述专利文献1等中提出了一种采用弹性波谐振器的梯型弹性波滤波器。具体而言，在专利文献1中记载了一种所谓η状的梯型弹性波滤波器。专利文献1 日本特开2006-238101号公报图19表示专利文献1所记载的π状梯型弹性波滤波器的基本电路结构。如图19 所示，η状梯型弹性波滤波器100中，与连接输入端子101和输出端子102的串联臂103并联地配置一个串联臂谐振器104和一个电感器105。并且，在将串联臂103与接地电位连接的两个并联臂106，分别配置并联臂谐振器107。在该π状梯型弹性波滤波器100中，由于相对于配置在串联臂103的串联臂谐振器104并联设置有电感器105，因此能得到低通滤波特性。另外，作为上述π状梯型弹性波滤波器以外的类型的梯型弹性波滤波器，公知有一种T状梯型弹性波滤波器。图20表示T状梯型弹性波滤波器的基本电路结构。如图20 所示，T状梯型弹性波滤波器110，在将输入端子111和输出端子112连接的串联臂113，串联连接有两个串联臂谐振器114、115。并且，在将串联臂谐振器114和串联臂谐振器115之间的连接点与接地电位连接的并联臂116配置有并联臂谐振器117。另外，在串联臂113， 以与串联臂谐振器114、115并联的方式连接有电感器118。通常，在通过串联臂谐振器的反谐振点与并联臂谐振器的谐振点形成阻止频带的情况下，与T状梯型弹性波滤波器相比，π状梯型弹性波滤波器具有更高的衰减特性。从而，根据实现高衰减特性的观点来看，采用η状梯型弹性波滤波器是更有利的。因此，作为陷波器，较多采用η状梯型弹性波滤波器。然而，在这样的π状梯型弹性波滤波器中，要实现具有更高衰减特性的多个阻止频带，只能增加级数，增加电感器的个数。因此，η状梯型滤波器存在小型化以及低价格化的问题。尤其，根据形成多个阻止频带的目的、以及得到高衰减特性的目的，在将η状梯型弹性波滤波器多级连接的情况下，存在梯型滤波器的大型化以及高价格化显著的问题。
发明内容
本发明正是鉴于上述问题而形成的，其目的在于提供一种具有良好的滤波特性的小型弹性波滤波器。本发明的弹性波滤波器，具备多个串联臂谐振器、电感器、以及多个并联臂谐振器。多个串联臂谐振器，在连接输入端子和输出端子的串联臂相互串联连接。电感器，按照与多个串联臂谐振器中的两个以上的串联臂谐振器并联的方式与串联臂连接。多个并联臂谐振器，被配置在将电感器和串联臂之间的连接点与接地电位连接的并联臂、以及将邻接的串联臂谐振器的连接点与接地电位连接的并联臂。在本发明的某个特定技术方案中，将电感器并联连接的两个以上的串联臂谐振器包括第一串联臂谐振器、以及第二串联臂谐振器，该第二串联臂谐振器的谐振频率为上述第一串联臂谐振器的反谐振频率以上。弹性波谐振器，在施加了谐振频率与反谐振频率之间的频率时成为L性，在施加除此以外的频率时成为C性。根据该结构，由于第一以及第二串联臂谐振器中的一方的串联臂谐振器为L性，另一方的串联臂谐振器为C性，因此能够由电感器和第一及第二串联臂谐振器形成LC滤波器。因此，能够进一步改善衰减特性。尤其，在弹性波滤波器是具有多个阻止频带的陷波器的情况下，由于可使第一串联臂谐振器的谐振频率和第二串联臂谐振器的谐振频率位于互不相同的阻止频带，因此能够期待更大的衰减特性的改善效果。在本发明的另一特定技术方案中，弹性波滤波器具有阻止频带、和位于上述阻止频带的低频侧的通过频带。在本发明的又一特定技术方案中，弹性波滤波器具备多个电感器。根据该结构，能够期待更大的衰减特性的改善效果。在本发明的又一其他特定技术方案中，弹性波滤波器具备滤波器主体，其中形成有多个串联臂谐振器和多个并联臂谐振器，并连接有多个电感器，多个电感器，相对于滤波器主体的中心呈点对称配置。根据该结构，能够实现更加良好的滤波特性。在本发明的又一其他特定技术方案中，电感器被设置为与两个串联臂谐振器并联，在多个并联臂分别设置一个并联臂谐振器。根据该结构，能够进一步降低通过频带的插入损失。在本发明的又一其他特定技术方案中，还具备连接有多个并联臂的多个接地端子电极，多个接地端子电极相对于弹性波滤波器的中心呈点对称配置。根据该结构，能够实现更加良好的滤波特性。发明效果根据本发明，由于按照与两个以上的串联臂谐振器并联的方式设置有与串联臂连接的电感器，因此与η状梯型弹性波滤波器相比，能够使谐振器的数量对应的电感器的数量更少，可实现小型化，且由于能够使电感器的数量对应的谐振器的数量的比例变高，因此能够实现高滤波特性、尤其实现阻止频带的宽频化以及阻止频带的高衰减量。
图1是第一实施方式的弹性波滤波器的概略示意图。图2是构成串联臂谐振器以及并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的概略剖视图。图3是弹性表面波谐振器的示意俯视图。图4是表示π状梯型弹性波滤波器和T状梯型弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。另外，在图4中，实线表示π状梯型弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示T状梯型弹性波滤波器。图5是表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性、和π状弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图5中，实线表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示 η状弹性波滤波器的衰减特性。
图6是表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性和π状弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图6中，实线表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示 η状弹性波滤波器的衰减特性。图7是表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性和图9所示的弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图7中，实线表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示图9所示的弹性波滤波器的衰减特性。图8是表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性和图9所示的弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图8中，实线表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示图9所示的弹性波滤波器的衰减特性。图9是2级连接的π状弹性波滤波器的概略示意图。图10是第二实施方式的弹性波滤波器的概略示意图。图11是3级连接的π状梯型弹性波滤波器的概略示意图。图12是表示第二实施方式的弹性波滤波器以及3级连接的π状梯型弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图12中，实线表示第二实施方式的弹性波滤波器的衰减特性， 虚线表示图11所示的弹性波滤波器的衰减特性。图13是第三实施方式的弹性波滤波器的概略示意图。图14是2级连接的带通弹性波滤波器的概略示意图。图15是表示第三实施方式的弹性波滤波器以及图14所示的弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图15中，实线表示第三实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示图14所示的弹性波滤波器的衰减特性。图16是第四实施方式的弹性波滤波器的概略后视图。图17是参考例的弹性波滤波器的概略后视图。图18是第四实施方式的弹性波滤波器以及图17所示的弹性波滤波器的衰减特性的曲线图。在图18中，实线表示第四实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示图17 所示的弹性波滤波器的衰减特性。图19是表示π状梯型弹性波滤波器的基本电路结构。图20是表示T状梯型弹性波滤波器的基本电路结构。符号说明Sl-第一串联臂谐振器，S2-第二串联臂谐振器，S3-第三串联臂谐振器，S4-第四串联臂谐振器，Pl-第一并联臂谐振器，Ρ2-第二并联臂谐振器，Ρ3-第三并联臂谐振器，Ρ4-第四并联臂谐振器，Ρ5-第五并联臂谐振器，1 5-弹性波滤波器，8、9、14、15、17、 18-连接点，10-输入端子，11-输出端子，12-串联臂，13a-电感器，13b_电感器，13c_电感器，16a-第一并联臂，16b-第二并联臂，16c-第三并联臂，16d_第四并联臂，20-弹性表面波谐振器，21-压电基板，22-IDT电极，22a、22b-梳状电极，23-第一栅状反射器，24-第二栅状反射器，30-滤波器芯片，31-输入端侧电极，32-输出端侧电极，33、34-接地端子电极， 35,36-电感器芯片，40-滤波器芯片，41 43-接地端子电极，44-输入端侧电极，45-输出端侧电极
具体实施方式
下面参照附图，通过说明本发明的具体实施方式
，便能明了本发明。(第一实施方式)在本实施方式中，针对作为陷波器的弹性波滤波器进行说明，该陷波器中将地面波数字广播接收频带G70 770MHz)作为通过频带，且将RF发送频带(800MHz附近以及 900MHz附近)作为阻止频带。图1是第一实施方式的弹性波滤波器的概略示意图。如图1所示，弹性波滤波器1 在将输入端子10和输出端子11连接的串联臂12，具备相互串联连接的多个串联臂谐振器 S1、S2。具体而言，在本实施方式中，在串联臂12设置有第一串联臂谐振器Si、和第二串联臂谐振器S2。在本实施方式中，将第一串联臂谐振器Sl的反谐振频率设为第二串联臂谐振器S2的谐振频率以下。并且，在串联臂12连接有电感器13a。电感器13a，被设置为与第一以及第二串联臂谐振器Si、S2并联。具体而言，电感器13a，被连接在第一串联臂谐振器Sl和输入端子 10之间的连接点14、与第二串联臂谐振器S2和输出端子11之间的连接点15之间。电感器13a和串联臂12之间的连接点14与接地电位，通过第一并联臂16a连接。 电感器13a和串联臂12之间的连接点15与接地电位，通过第三并联臂16c连接。并且，相互邻接的第一串联臂谐振器Sl和第二串联臂谐振器S2之间的连接点17与接地电位，通过第二并联臂16b连接。在并联臂16a 16c中分别配置有并联臂谐振器Pl P3。在本实施方式中，上述串联臂谐振器Si、S2以及并联臂谐振器Pl P3由弹性波谐振器构成。更具体而言，通过弹性表面波谐振器连接。不过，串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器Pl P3，也可以是利用弹性表面波以外的弹性波的弹性波谐振器。例如，串联臂谐振器Si、S2以及并联臂谐振器Pl P3，也可以是利用了弹性边界波的弹性边界波谐振器，还可以是薄膜体声波谐振器。图2表示构成串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器Pl P3的弹性表面波谐振器20的概略剖视图。并且，图3表示弹性表面波谐振器20的概略俯视图。如图2以及图 3所示，弹性表面波谐振器20具备在压电基板21上形成的IDT电极22、在IDT电极22的弹性表面波的传播方向χ的两侧配置的第一以及第二栅状(grating)反射器23、24。如图 3所示，IDT电极22，具有交指型第一以及第二梳状电极22a以及22b。压电基板21，可以由LiNbO3或LiI^aO3等压电材料构成的基板构成。压电基板21， 可以由例如42° Y切X传播LiTaO3基板构成。IDT电极22以及第一及第二栅状反射器23、 M，可以由公知的一种或多种导电材料形成。IDT电极22以及第一及第二栅状反射器23、 M，可以由例如Al形成。另外，串联臂谐振器Si、S2以及并联臂谐振器Pl P3可以形成在同一压电基板上，也可以形成在不同的压电基板上。在本实施方式中，针对串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器Pl P3形成于同一压电基板21上的例子进行说明。另外，在本实施方式中，形成串联臂谐振器Si、S2以及并联臂谐振器Pl P3的压电基板21是面朝下安装于未图示的氧化铝基板的。安装在氧化铝基板上的压电基板21由未图示的密封树脂密封。然而，如上述，梯型弹性波滤波器，有如图19所示那样的π状梯型弹性波滤波器、 以及如图20所示那样的T状梯型弹性波滤波器。如果将π状梯型弹性波滤波器与T状梯型弹性波滤波器进行比较，则如图4所示，π状梯型弹性波滤波器具有较高的衰减特性。因此，根据实现高衰减特性的观点，采用η状梯型弹性波滤波器比较有利。然而，若要采用如图19所示这样的π状梯型弹性波滤波器实现具有更高衰减量的多个阻止频带(衰减特性)，则只有增加级数的方法。在增加级数的情况下，由于每一级都需要电感器，因此变得大型化，同时成本提高。与此相对，在本实施方式的弹性波滤波器1中，设置有按照与第一以及第二串联臂谐振器S1、S2并联的方式与串联臂12连接的电感器13a。并且，设置有并联臂16a、16c， 其将电感器13a和串联臂12之间的连接点14、15与接地电位之间连接；以及并联臂谐振器 P1、P3，其配置于并联臂16a、16c。因此，相对于两个串联臂谐振器以及三个并联臂谐振器， 仅存在一个电感器13a。因此，在弹性波滤波器1中，谐振器的数量对应的电感器的数量减少。从而，能够使弹性波滤波器1小型化。并且，在本实施方式中，由于谐振器的数量对电感器的数量的比例高，因此如以下具体所示，能够实现更高的滤波特性。图5以及图6是表示本实施方式的弹性波滤波器1的衰减特性和图19所示的π 状梯型弹性波滤波器100的衰减特性。另外，在图5以及图6中，实线表示第一实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示η状弹性波滤波器的衰减特性。图5以及图6中的弹性波滤波器1的设计参数以及弹性波滤波器100的设计参数如下述。弹性波滤波器1的设计参数第一并联臂谐振器PlIDT电极的波长4. 3039 μ m、反射器的波长4. 3039 μ m、交叉宽度48. 63 μ m、IDT 电极的对数79对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率902MHz，反谐振频率 935MHz第一串联臂谐振器Sl IDT电极的波长4. 7255 μ m、反射器的波长4. 7255 μ m、交叉宽度57. 17 μ m、IDT 电极的对数72对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 549,谐振频率830MHz，反谐振频率 859MHz第二并联臂谐振器P2:IDT电极的波长4. 7843 μ m、反射器的波长4. 7843 μ m、交叉宽度54. 9 μ m、IDT 电极的对数65对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率819MHz，反谐振频率 848MHz第二串联臂谐振器S2 IDT电极的波长4. 2941 μ m、反射器的波长4. 2941 μ m、交叉宽度50. 98 μ m、IDT 电极的对数96对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 669，谐振频率904MHz，反谐振频率 936MHz第三并联臂谐振器P3:IDT电极的波长4. 2001 μ m、反射器的波长4. 2001 μ m、交叉宽度54. 9 μ m、IDT 电极的对数87对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率922MHz，反谐振频率 956MHz电感器 13a :7. 8nH弹性波滤波器100的设计参数第一并联臂谐振器107a
IDT电极的波长4. 7353 μ m、反射器的波长4. 7353 μ m、交叉宽度:40. 24 μ m、IDT 电极的对数90对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率827MHz，反谐振频率 857MHz串联臂谐振器104:IDT电极的波长4. 0784 μ m、反射器的波长4. 0784 μ m、交叉宽度60. 71 μ m、IDT 电极的对数58对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率946MHz，反谐振频率 980MHz第二并联臂谐振器107b IDT电极的波长4. 3039 μ m、反射器的波长4. 3039 μ m、交叉宽度97. 41 μ m、IDT 电极的对数55对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率904MHz，反谐振频率 936MHz电感器 105 6. 4nH另外，图7以及图8表示弹性波滤波器1的衰减特性和图9所示的2级连接的π 状弹性波滤波器300的衰减特性。另外，在图7以及图8中，实线表示第一实施方式的弹性波滤波器1的衰减特性，虚线表示图9所示的弹性波滤波器的衰减特性。图7中的弹性波滤波器1的设计参数，与上述设计参数同样。图9所示的弹性波滤波器300的设计参数与下述同样。弹性波滤波器300的设计参数第一并联臂谐振器107a IDT电极的波长4. 2353 μ m、反射器的波长4. 2353 μ m、交叉宽度40 μ m、IDT电极的对数90对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率915MHz，反谐振频率 949MHz第一串联臂谐振器10 IDT电极的波长4. 6351 μ m、反射器的波长4. 6351 μ m、交叉宽度:60. 78 μ m、IDT 电极的对数104对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率844MHz，反谐振频率875MHz第二并联臂谐振器107b IDT电极的波长4. 7353 μ m、反射器的波长4. 7353 μ m、交叉宽度45. 49 μ m、IDT 电极的对数60对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率^6MHz，反谐振频率 856MHz第二串联臂谐振器104b IDT电极的波长4. 2059 μ m、反射器的波长4. 2059 μ m、交叉宽度75. 69 μ m、IDT 电极的对数61对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率922MHz，反谐振频率 955MHz第三并联臂谐振器107c IDT电极的波长4. 2059 μ m、反射器的波长4. 2059 μ m、交叉宽度41. 18 μ m、IDT 电极的对数100对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率921MHz，反谐振频率％4MHz电感器 105a :3. 2nH
电感器 105b 4. 5nH如图5以及图6所示，在本实施方式的弹性波滤波器1中，通过由电感器13a和并联臂谐振器Pl P3的C分量构成低通滤波器，从而形成宽的通过频带。并且，在该通过频带内通过并联臂谐振器Pl P3的谐振点，形成两个阻止频带。另外，在本实施方式中，将第一串联臂谐振器Sl的反谐振频率设为第二串联臂谐振器S2的谐振频率以下。因此，第一以及第二串联臂谐振器Si、S2中的一方的串联臂谐振器成为L性，另一方的串联臂谐振器成为C性。从而，能够由电感器13a和第一及第二串联臂谐振器Si、S2形成具有两个衰减极的LC滤波器，通过将两个衰减极配置在上述两个阻止频带，从而能够改善衰减特性。因此，本实施方式，与以往的1级连接的η状弹性波滤波器相比，阻止频带的衰减量变大，且阻止频带变成宽范围。另外，如图7以及图8所示，可知尽管本实施方式的弹性波滤波器1与以往的2级连接的η状弹性波滤波器相比，电感器的数量更少，也能得到几乎同等的衰减特性。以上可知，根据本实施方式，能够实现小型且具有高衰减特性的弹性波滤波器。以下针对实施本发明的优选方式的其他例子进行说明。另外，在以下说明中，对于与上述第一实施方式实质上具有相同功能的部件，参照相同的符号进行说明。(第二实施方式)图10是第二实施方式涉及的弹性波滤波器2的概略示意图。如图10所示，本实施方式的弹性波滤波器2，在上述第一实施方式的弹性波滤波器的后级进一步连接有π状梯型滤波器部。具体而言，弹性波滤波器2，在串联臂12具备相互串联连接的第一 第三串联臂谐振器Sl S3。在第一串联臂谐振器Sl和输入端子10之间的连接点14、与第二串联臂谐振器S2和第三串联臂谐振器S3之间的连接点15之间，连接有电感器13a。并且， 在连接点15、与第三串联臂谐振器S2和输出端子11之间的连接点18之间，连接有电感器 13b。连接点14、17、15、18与接地电位，通过第一 第四并联臂16a 16d连接。在第一 第四并联臂16a 16d，分别配置有并联臂谐振器Pl P4。在本实施方式中，与上述第一实施方式同样地，第一串联臂谐振器Sl的反谐振频率，被设为第二串联臂谐振器S2的谐振频率以下。图12表示本实施方式的弹性波滤波器2的衰减特性。并且，为进行比较，图11所示的3级连接的π状梯型弹性波滤波器400的衰减特性进一步图示在图12中。在图12 中，实线表示第二实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示图11所示的弹性波滤波器的衰减特性。另外，在图12中，弹性波滤波器2的设计参数以及弹性波滤波器400的设计参数如下述。弹性波滤波器2的设计参数第一并联臂谐振器Pl IDT电极的波长4. 3137 μ m、反射器的波长4. 3137 μ m、交叉宽度:40. 39 μ m、IDT 电极的对数56对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率899MHz，反谐振频率 931MHz第一串联臂谐振器Sl IDT电极的波长4. 6961 μ m、反射器的波长4. 6961 μ m、交叉宽度:40. 39 μ m、IDT 电极的对数101对，反射器的对数1. 5对，占空比0. 569，谐振频率^9MHz，反谐振频率859MHz第二并联臂谐振器P2:IDT电极的波长4. 7255 μ m、反射器的波长4. 7255 μ m、交叉宽度47. 06 μ m、IDT 电极的对数115对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率^8MHz，反谐振频率857MHz第二串联臂谐振器S2 IDT电极的波长4. 2251 μ m、反射器的波长4. 2251 μ m、交叉宽度72. 55 μ m、IDT 电极的对数66对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 539，谐振频率920MHz，反谐振频率 953MHz第三并联臂谐振器P3:IDT电极的波长4. 2743 μ m、反射器的波长4. 2743 μ m、交叉宽度69. 02 μ m、IDT 电极的对数75对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率908MHz，反谐振频率 941MHz第三串联臂谐振器S3 IDT电极的波长4. 1176 μ m、反射器的波长4. 1176 μ m、交叉宽度102. 35 μ m、 IDT电极的对数21对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率:936MHz，反谐振频率967MHz第四并联臂谐振器P4:IDT电极的波长4. 1863 μ m、反射器的波长4. 1863 μ m、交叉宽度:67. 84 μ m、IDT 电极的对数53对，反射器的对数3. 5对，占空比0. 569，谐振频率:922MHz，反谐振频率 956MHz电感器 13a :7. 2nH电感器 13b :7. InH弹性波滤波器400的设计参数第一并联臂谐振器107a IDT电极的波长4. 2647 μ m、反射器的波长4. 2647 μ m、交叉宽度40. 78 μ m、IDT 电极的对数66对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率909MHz，反谐振频率 942MHz第一串联臂谐振器10 IDT电极的波长4. 6471 μ m、反射器的波长4. 6471 μ m、交叉宽度55. 69 μ m、IDT 电极的对数104对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率842MHz，反谐振频率873MHz第二并联臂谐振器107b IDT电极的波长4. 7353 μ m、反射器的波长4. 7353 μ m、交叉宽度40μπκ IDT电极的对数94对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率827MHz，反谐振频率 857MHz第二串联臂谐振器104b IDT电极的波长4. 2255 μ m、反射器的波长4. 2255 μ m、交叉宽度70. 2 μ m、IDT 电极的对数62对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率919MHz，反谐振频率951MHz第三并联臂谐振器107c IDT电极的波长4. 2549 μ m、反射器的波长4. 2549 μ m、交叉宽度58. 04 μ m、IDT 电极的对数94对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率912MHz，反谐振频率 945MHz第三串联臂谐振器l(Mc IDT电极的波长4. 1373 μ m、反射器的波长4. 1373 μ m、交叉宽度49. 41 μ m、IDT 电极的对数58对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率934MHz，反谐振频率 967MHz第四并联臂谐振器107d IDT电极的波长4. 1667 μ m、反射器的波长4. 1667 μ m、交叉宽度54. 9 μ m、IDT 电极的对数52对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率^6MHz，反谐振频率 960MHz电感器 105a :3. 6nH电感器 l(^b:4.8nH电感器 105c :4. 6nH由图12所示的结果可知，尽管本实施方式的弹性波滤波器2比3级连接的弹性波滤波器400的电感器的数量更少，但是本实施方式的弹性波滤波器2仍然具有与3级连接的弹性波滤波器400同等程度以上的衰减特性。(第三实施方式)图13是第三实施方式的弹性波滤波器4的概略示意图。如图13所示，本实施方式的弹性波滤波器4，是将上述第一实施方式的弹性波滤波器1进行2级连接而成的。具体而言，在弹性波滤波器4中，在串联臂12配置有相互串联连接的第一 第四串联臂谐振器 Sl S4。在第一串联臂谐振器Sl和输入端子10之间的连接点14、与第二串联臂谐振器 S2和第三串联臂谐振器S3之间的连接点15之间，连接有电感器13a。并且，在连接点15、 与第四串联臂谐振器S4和输出端子11之间的连接点8之间，连接有电感器13c。在上述连接点14、15、8、9和接地电位之间、第一串联臂谐振器Sl和第二串联臂谐振器S2之间的连接点17与接地电位之间、以及第三串联臂谐振器S3和第四串联臂谐振器S4之间的连接点 9与接地电位之间，连接有第一 第五并联臂16a 16e。在第一 第五并联臂16a 16e 中，配置有第一 第五并联臂谐振器Pl P5。本实施方式的弹性波滤波器4，具有两个阻止频带，该两个阻止频带位于通过频带的高频侧。在本实施方式中，与上述第一实施方式同样，第一串联臂谐振器Sl的反谐振频率被设为第二串联臂谐振器S2的谐振频率以下。另外，第三串联臂谐振器S3的反谐振频率被设为第四串联臂谐振器S4的谐振频率以下。图15表示本实施方式的弹性波滤波器3的衰减特性。并且，为进行比较，图14所示的带通型弹性波滤波器600的衰减特性还图示在图15中。在图15中，实线表示第三实施方式的弹性波滤波器4的衰减特性，虚线表示图14所示的弹性波滤波器600的衰减特性。 另外，在图15中，弹性波滤波器4的设计参数以及弹性波滤波器600的设计参数如下述。
弹性波滤波器4的设计参数第一并联臂谐振器Pl IDT电极的波长4. 2785 μ m、反射器的波长4. 2785 μ m、交叉宽度57. 88 μ m、IDT 电极的对数70对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率905MHz，反谐振频率 939MHz第一串联臂谐振器Sl IDT电极的波长4. 7431 μ m、反射器的波长4. 7431 μ m、交叉宽度85. 88 μ m、IDT 电极的对数109对，反射器的对数1. 5对，占空比0. 569，谐振频率^6MHz，反谐振频率857MHz第二并联臂谐振器P2:IDT电极的波长4. 7823 μ m、反射器的波长4. 7823 μ m、交叉宽度42. 59 μ m、IDT 电极的对数53对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率819MHz，反谐振频率 848MHz第二串联臂谐振器S2 IDT电极的波长4. 1765 μ m、反射器的波长4. 1765 μ m、交叉宽度:80. 24 μ m、IDT 电极的对数60对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 619，谐振频率^6MHz，反谐振频率 960MHz第三并联臂谐振器P3:IDT电极的波长4. 1765 μ m、反射器的波长4. 1765 μ m、交叉宽度81. 88 μ m、IDT 电极的对数85对，反射器的对数3. 5对，占空比0. 569，谐振频率924MHz，反谐振频率 960MHz第三串联臂谐振器S3 IDT电极的波长4. 7039 μ m、反射器的波长4. 7039 μ m、交叉宽度72. 42 μ m、IDT 电极的对数95对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率832MHz，反谐振频率 862MHz第四并联臂谐振器P4:IDT电极的波长4. 8117 μ m、反射器的波长4. 8117 μ m、交叉宽度81. 41 μ m、IDT 电极的对数33对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率:814MHz，反谐振频率 842MHz第四串联臂谐振器S4:IDT电极的波长4. 1765 μ m、反射器的波长4. 1765 μ m、交叉宽度65. 18 μ m、IDT 电极的对数72对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 619，谐振频率^6MHz，反谐振频率 960MHz第五并联臂谐振器P5:IDT电极的波长4. 3187 μ m、反射器的波长4. 3187 μ m、交叉宽度86. 54 μ m、IDT 电极的对数61对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 569，谐振频率900MHz，反谐振频率 934MHz电感器 13a :9. 5nH电感器 13c :10. OnH
弹性波滤波器600的设计参数第一并联臂谐振器601 IDT电极的波长4. 6863 μ m、反射器的波长4. 6863 μ m、交叉宽度69. 16 μ m、IDT 电极的对数49对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 385第二并联臂谐振器602 IDT电极的波长5. ^47μπκ反射器的波长5. ^47μπκ交叉宽度45μπκ IDT电极的对数39对，反射器的对数3. 5对，占空比0. 385第一串联臂谐振器603 IDT电极的波长5. 6667 μ m、反射器的波长5. 6667 μ m、交叉宽度82. 8 μ m、IDT 电极的对数105对，反射器的对数1. 5对，占空比0. 391第三并联臂谐振器604 IDT电极的波长4. 8039 μ m、反射器的波长4. 8039 μ m、交叉宽度49. 26 μ m、IDT 电极的对数74对，反射器的对数1. 5对，占空比0. 385第四并联臂谐振器605:IDT电极的波长4. 8235 μ m、反射器的波长4. 8235 μ m、交叉宽度51. 43 μ m、IDT 电极的对数43对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 385第二串联臂谐振器606 IDT电极的波长5. 6471 μ m、反射器的波长5. 6471 μ m、交叉宽度67. 27 μ m、IDT 电极的对数105对，反射器的对数1. 5对，占空比0. 391第五并联臂谐振器607 IDT电极的波长4. 7157 μ m、反射器的波长4. 7157 μ m、交叉宽度53. 16 μ m、IDT 电极的对数52对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 385第六并联臂谐振器608:IDT电极的波长5. 3039 μ m、反射器的波长5. 3039 μ m、交叉宽度45μπκ IDT电极的对数63对，反射器的对数4. 5对，占空比0. 385电感器 609:19nH电感器 610:27nH电感器 611:19nH根据图15所示的结果，可知尽管本实施方式的弹性波滤波器4比弹性波滤波器 600的电感器的数量少，但本实施方式的弹性波滤波器4具有与带通型弹性波滤波器600同等程度以上的衰减特性，且比带通型弹性波滤波器600的通过频带的插入损失更小。另外，在本实施方式中，针对将上述第一实施方式的弹性波滤波器进行2级连接的例子作了说明。但本发明并非限定于该结构。在本发明中，也可以对上述第一实施方式的弹性波滤波器进行3级以上的连接。这样，通过增加连接级数，从而可形成更多的衰减极。(第四实施方式)本实施方式的弹性波滤波器，具有与上述第三实施方式的弹性波滤波器同样的电路结构。因此，在本实施方式中，图13参照与上述第三实施方式同样的构成要素。在本实施方式中，如图16所示，弹性波滤波器，具备作为滤波器主体的滤波器芯片30，该滤波器主体是对安装了压电基板的氧化铝基板进行树脂密封而成的，该压电基板中形成了第一 第三串联臂谐振器Sl S3以及第一 第四并联臂谐振器Pl P4。在滤波器芯片30的背面，形成有与输入端子10连接的输入端侧电极31、以及与输出端子11连接的输出端侧电极32。输入端侧电极31和输出端侧电极32，当从背面看时，相对于作为滤波器主体的滤波器芯片30的中心呈点对称方式配置。另外，在滤波器芯片30的背面，形成与接地电位连接的接地端子电极33、34。接地端子电极33、34，当从背面看时，相对于弹性波滤波器的中心、即滤波器芯片30的中心呈点对称地配置。另外，在本实施方式中，电感器13a、13b分别形成于电感器芯片35、36内。然后， 电感器芯片35、36被安装于滤波器芯片30内。图18表示本实施方式的弹性波滤波器的衰减特性。另外，为了比较，如图17所示，接地端子电极41 43没有相对于滤波器芯片40的中心呈点对称配置，输入端侧电极 44和输出端侧电极45也没有相对滤波器芯片40的中心呈点对称配置，这样的弹性波滤波器的衰减特性还根据图18来进行图示。在图18中，实线表示第四实施方式的弹性波滤波器的衰减特性，虚线表示图17所示的弹性波滤波器的衰减特性。另外，在图18中，第四实施方式的弹性波滤波器以及图17所示的弹性波滤波器的设计参数，与上述第三实施方式的弹性波滤波器的设计参数同样。根据图18所示的结果，将输入端侧电极和输出端侧电极相对于滤波器芯片30的中心呈点对称配置、且将多个接地端子电极相对于滤波器芯片30的中心呈点对称配置时， 与非点对称配置的情况相比，能得到更高的衰减特性。另外，在本发明中，电感器不需要由与滤波器主体独立设置的电感器芯片构成。电感器，例如也可以由在滤波器主体形成的线圈图案等构成。
权利要求
1.一种弹性波滤波器，其特征在于，包括多个串联臂谐振器，其在连接输入端子和输出端子的串联臂中相互串联连接；电感器，其按照与上述多个串联臂谐振器中的两个以上的串联臂谐振器并联的方式， 与上述串联臂连接；和多个并联臂谐振器，其配置于将上述电感器和上述串联臂之间的连接点与接地电位连接的并联臂、以及将邻接的上述串联臂谐振器的连接点与接地电位连接的并联臂。
2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其特征在于，将上述电感器并联连接的两个以上的串联臂谐振器，包括第一串联臂谐振器、以及第二串联臂谐振器，该第二串联臂谐振器的谐振频率为上述第一串联臂谐振器的反谐振频率以上。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其特征在于，所述弹性波滤波器具有阻止频带、和位于上述阻止频带的低频侧的通过频带。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的弹性波滤波器，其特征在于，所述弹性波滤波器具备多个上述电感器。
5.根据权利要求4所述的弹性波滤波器，其特征在于，所述弹性波滤波器具备滤波器主体，该滤波器主体形成有上述多个串联臂谐振器和上述多个并联臂谐振器，并连接有上述多个电感器，上述多个电感器，相对于上述滤波器主体的中心呈点对称配置。
6.根据权利要求1 5中任一项所述的弹性波滤波器，其特征在于，上述电感器被设置为与两个上述串联臂谐振器并联，在多个上述并联臂分别设置有一个上述并联臂谐振器。
7.根据权利要求1 6中任一项所述的弹性波滤波器，其特征在于，所述弹性波滤波器还具备连接有多个上述并联臂的多个接地端子电极，上述多个接地端子电极相对于上述弹性波滤波器的中心呈点对称配置。
全文摘要
本发明提供一种具有良好滤波特性的小型弹性波滤波器。弹性波滤波器(1)具备多个串联臂谐振器(S1、S2)、电感器13a、以及多个并联臂谐振器(P1～P3)。多个串联臂谐振器(S1、S2)在将输入端子(10)和输出端子(11)连接的串联臂(12)中相互串联连接。电感器(13a)按照与多个串联臂谐振器(S1、S2)中的两个以上的串联臂谐振器(S1、S2)并联的方式与串联臂(12)连接。多个并联臂谐振器(P1～P3)被配置于将电感器(13a)和串联臂(12)之间的连接点(14、15)与接地电位连接的并联臂(16a、16c)、以及将邻接的串联臂谐振器(S1、S2)的连接点(17)与接地电位连接的并联臂(16b)。
文档编号H03H9/64GK102362431SQ201080012849
公开日2012年2月22日 申请日期2010年1月27日 优先权日2009年3月30日
发明者谷口康政 申请人:株式会社村田制作所