点阵结构的声表面波谐振器的制作方法与工艺

技术特征：
1.点阵结构的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其特征在于，所述金属叉指换能器两侧设置金属栅阵，所述金属栅阵包括设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅构成的金属栅阵在y方向上平行设置、在x方向上垂直设置并且在x方向上周期性分布；在所述金属叉指换能器上设置声子晶体，所述声子晶体在x方向上周期性分布，所述声子晶体在y方向上随机分布；所述声子晶体是材料为铝的金属点阵，所述金属叉指换能器的每个叉指上设置一个铝的晶格，x方向晶格的周期同金属叉指换能器的金属指条周期相同；所述金属叉指换能器的厚度为2000埃；所述金属叉指换能器的金属指条周期λ为9.86微米，共219根指条，孔径大小为32λ。2.根据权利要求1所述的点阵结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述的压电基片是128°YX铌酸锂材料。3.根据权利要求2所述的点阵结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述金属栅阵中的第一开路栅和第二开路栅的金属指条周期λ为9.9微米，所述第一开路栅和第二开路栅都包含184根指条。4.根据权利要求3所述的点阵结构的声表面波谐振器，其特征在于，y方向上和x方向上的晶格常数比b/a为1.86。5.根据权利要求2所述的点阵结构的声表面波谐振器，其特征在于，所述金属叉指换能器的材料为金或铝。