技术总结
本发明点阵结构的声表面波谐振器，包括压电基片，压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，金属叉指换能器两侧设置金属栅阵，金属栅阵包括设置在金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，第一开路栅和第二开路栅在金属叉指换能器左右两侧对称分布；第一开路栅和第二开路栅构成的金属栅阵在y方向上平行设置、在x方向上垂直设置并且在x方向上周期性分布；在金属叉指换能器上设置声子晶体，声子晶体在x方向上周期性分布，声子晶体在y方向上随机分布。本发明消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。
技术研发人员：李强
受保护的技术使用者：中科微声（天津）传感技术有限公司
文档号码：201310210349
技术研发日：2013.05.31
技术公布日：2017.02.08