电子器件及其制造方法、量子干涉装置、振荡器与流程

文档序号:11959140阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电子器件,其特征在于,所述电子器件具有:

基底部;

功能部件,其被配置在所述基底部上;

盖部,其与所述基底部一起构成收纳所述功能部件的内部空间;以及

吸气材料,其在所述内部空间中与所述基底部之间具有空隙地被配置在所述基底部上。

2.根据权利要求1所述的电子器件,其中,

所述电子器件具有发热部,该发热部在所述内部空间中与所述基底部之间具有空隙地被配置在所述基底部上,能够加热所述吸气材料。

3.根据权利要求2所述的电子器件,其中,

所述吸气材料和所述发热部被层叠。

4.根据权利要求3所述的电子器件,其中,

所述吸气材料有2层,所述发热部处于2层的所述吸气材料之间。

5.根据权利要求2~4中的任意一项所述的电子器件,其中,

所述电子器件具有导电性端子,该导电性端子将所述发热部和所述基底部连接。

6.根据权利要求5所述的电子器件,其中,

所述导电性端子包含铜。

7.根据权利要求1~6中的任意一项所述的电子器件,其中,

所述基底部或者所述盖部具有贯穿所述内部空间的内外的孔,

所述孔被密封件塞住。

8.根据权利要求1~7中的任意一项所述的电子器件,其中,

所述电子器件具有温度调节单元,该温度调节单元调节所述功能部件的温度。

9.一种量子干涉装置,其特征在于,

所述量子干涉装置具有权利要求1~8中的任意一项所述的电子器件。

10.根据权利要求9所述的量子干涉装置,其中,

所述功能部件包含原子室单元,该原子室单元具有:原子室,其收纳金属原子;光源部,其射出使所述金属原子进行共振的光;以及受光部,其检测通过所述原子室 后的所述光。

11.根据权利要求10所述的量子干涉装置,其中,

所述量子干涉装置具有支撑部,该支撑部被配置在所述原子室单元和所述基底部之间。

12.根据权利要求10或11所述的量子干涉装置,其中,

所述量子干涉装置具有发热部,该发热部在所述内部空间中与所述基底部之间具有空隙地被配置在所述基底部上,能够加热所述吸气材料,

所述基底部和所述发热部之间的距离小于所述基底部和所述原子室之间的距离。

13.一种原子振荡器,其特征在于,

所述原子振荡器具有权利要求9~12中的任意一项所述的量子干涉装置。

14.一种心磁计,其特征在于,

所述心磁计具有权利要求9~12中的任意一项所述的量子干涉装置。

15.一种振荡器,其特征在于,

所述振荡器具有权利要求1~8中的任意一项所述的电子器件,

所述功能部件是振子。

16.一种电子设备,其特征在于,

所述电子设备置具有权利要求1~8中的任意一项所述的电子器件。

17.一种移动体,其特征在于,

所述移动体具有权利要求1~8中的任意一项所述的电子器件。

18.一种电子器件的制造方法,其特征在于,所述电子器件的制造方法包含以下工序:

形成贯穿基底部和盖部中的一个的孔,并且在将功能部件和吸气材料配置在所述基底部上的状态下,利用所述基底部和所述盖部形成收纳所述功能部件和所述吸气材料的内部空间;

利用密封件塞住所述孔来对所述内部空间进行密封;以及

通过在与所述基底部之间具有空隙地配置所述吸气材料的状态下加热所述吸气材料,使所述吸气材料活化。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1