电子器件及其制造方法、量子干涉装置、振荡器与流程

文档序号:11959140阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供电子器件及其制造方法、量子干涉装置、振荡器,电子器件能够长期发挥优异的特性,量子干涉装置、振荡器具有上述电子器件。本发明的原子振荡器(1)具有:基体(31);原子室单元(2),其被配置在基体(31)上;盖体(32),其与基体(31)一起构成收纳原子室单元(2)的内部空间(S1);以及吸气材料(62),其在内部空间(S1)中与基体(31)之间具有空隙地被配置在基体(31)上。

技术研发人员:桥幸弘
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
文档号码:201610347593
技术研发日:2016.05.24
技术公布日:2016.12.07

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