冷却机及冷却系统及真空等离子设备的制作方法

本实用新型涉及冷却技术领域，特别是涉及一种冷却机及冷却系统及真空等离子设备。

背景技术：

在真空等离子设备中，都会用到冷却机(chiller)，冷却机用于平衡加热和冷却系统，进而提高工艺的稳定性。

但是，真空等离子设备在运行过程中会产生碎屑(例如管路腐蚀等原因)，碎屑会造成电极板及腔体加热部分的毛细管路堵塞，部分碎屑通过加热还会粘附在设备上进而导致温度控制异常、压力异常等现象，从而导致生产的产品不良。

技术实现要素：

基于此，有必要针对现有技术中真空等离子设备堵塞的问题，提供一种能够清洗碎屑、防止真空等离子设备堵塞的冷却机。

一种冷却机，包括：

储液槽，用于存储冷却液；

温控机构；

出液管路，用于连接所述温控机构与所述储液槽；

外输管路，用于连接所述温控机构与待冷却设备；

回液管路，用于连接所述储液槽与待冷却设备；

第一液阀，设置在所述外输管路上；

第二液阀，设置在所述回液管路上；

气推管路，连接于所述外输管路以及所述回液管路之间，以引入气压并利用气压将冷却液推入待冷却设备；

以及三通阀，设置在所述气推管路上；所述三通阀的进口连接气源，所述三通阀的第一出口通过所述气推管路与所述外输管路连通，所述三通阀的第二出口通过所述气推管路与回液管路连通。

上述冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，进而避免了堵塞，从而保证的设备的正常运行，确保产品的质量。

在其中一个实施例中，所述冷却机还包括用于控制所述第一液阀、所述第二液阀以及所述三通阀的控制器。

在其中一个实施例中，所述控制器包括正洗模式；在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀关闭、所述第二液阀打开、所述三通阀的第一出口打开、第二出口关闭。

在其中一个实施例中，所述控制器包括反洗模式；在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀打开、所述第二液阀关闭、所述三通阀的第一出口关闭、第二出口打开。

在其中一个实施例中，所述控制器包括震荡洗模式；在所述震荡洗模式下，交替进行正洗模式及反洗模式；

在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀关闭、所述第二液阀打开、所述三通阀的第一出口打开、第二出口关闭；

在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀打开、所述第二液阀关闭、所述三通阀的第一出口关闭、第二出口打开。

在其中一个实施例中，所述冷却机还包括计时单元，所述计时单元与所述控制器电连接。

在其中一个实施例中，所述冷却机还包括：

排污管路，与所述储液槽连通；

以及排污阀，设置在所述排污管路上。

在其中一个实施例中，所述排污阀为手动阀。

本实用新型还提供了一种冷却系统。

一种冷却系统，包括本实用新型所提供的冷却机。

上述冷却系统，由于采用本实用新型所提供的冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，故而避免了堵塞，从而保证的设备的正常运行，确保产品的质量。

本实用新型还提供了一种真空等离子设备。

一种真空等离子设备，包括本实用新型所提供的冷却系统。

上述真空等离子设备，由于采用本实用新型所提供的冷却系统，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，故而避免了堵塞，从而保证设备的正常运行，确保产品的质量。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的冷却机的结构示意图，此时处于正常工作模式。

图2为图1中的冷却机在反洗模式下的状态原理图。

图3为图1中的冷却机在正洗模式下的状态原理图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施方式，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参见图1-3，本实用新型的一实施例的冷却机100，包括储液罐110、温控机构120、出液管路31、外输管路32、回液管路33、第一液阀61、第二液阀62、气推管路40、以及三通阀70。

其中，储液槽110的主要作用是，用于存储冷却液。本实用新型对储液槽110不作限制，只要能够用于存储冷却液即可，其形状以及结构均可以采用本领域公知的各种形状及结构。

其中，温控机构120是冷却机的核心部件，用于将冷却液冷却到指定温度。本实用新型的温控机构可以采用本领域公知的各种温控机构，在此不再赘述。

其中，出液管路31的主要作用是，用于连接温控机构120与储液槽110。也就是说，出液管路31位于温控机构120的进口与储液槽110的出液口之间，储液槽110中的冷却液经储液槽110的出液口沿出液管路31从温控机构120的进口进入温控机构120。

其中，外输管路32的主要作用是，用于连接温控机构120与待冷却设备8。也就是说，外输管路32位于温控机构120的出口与待冷却设备8的进液端之间，温控机构120将冷却液冷却到指定温度，然后经温控机构的出口通过外输管路32传输至待冷却设备8中，从而实现对待冷却设备8的冷却操作。

其中，回液管路33的主要作用是，用于连接储液槽110与待冷却设备8。也就是说，回液管路33位于储液槽110的回液口与待冷却设备8的出液端之间，待冷却设备8从其出液端流出的冷却液，经回液管路33从储液槽110的回液口回到储液槽110中，从而实现冷却液的循环利用，形成冷却液的循环回路。

其中，第一液阀61设置在外输管路32上，其主要作用是，用于关断外输管路32。也就是说，当第一液阀61关闭时，温控机构120的出口被封闭；当第一液阀61打开时，冷却液正常从外输管路32流入待冷却设备8。

其中，第二液阀62设置在回液管路33上，其主要作用是，用于关断回液管路33。也就是说，当第二液阀62关闭时，储液槽110的回液口被封闭；当第二液阀62打开时，冷却液正常从回液管路33流入储液槽110。

其中，气推管路40的主要作用是，引入气压并利用气压将冷却液推入待冷却设备8。气推管路40连接于外输管路32以及回液管路33之间。这样气推管路40与待冷却设备8之间构成通路，从而可以将冷却液推入冷却设备8。具体地，气推管路40的一端连接于第一液阀61与待冷却设备8的进液端之间，另一端连接于第二液阀61与待冷却设备8的出液端之间。

其中，三通阀70设置在气推管路40上。为了方便描述，将外输管路32与三通阀70之间的气推管路40命名为第一子气推管路41，将回液管路33与三通阀70之间的气推管路40命名为第二子气推管路42。三通阀70的进口(未示出)连接气源(未示出)，三通阀70的第一出口71通过第一子气推管路41与外输管路32连通，三通阀70的第二出口72通过第二子气推管路42与回液管路33连通。这样当三通阀70的第一出口71打开，第二出口72关闭时，气体从第一子气推管路将外输管路的冷却液向待冷却设备8方向推进。当三通阀70的第一出口71关闭，第二出口72打开时，气体从第二子气推管42路将回液管路33的冷却液向待冷却设备8方向推进，即逆向推进。

在本实施例中，冷却机100还包括控制器150。其中，控制器150的主要作用是，用于控制第一液阀61、第二液阀62以及三通阀70。控制器150通过控制第一液阀61、第二液阀62以及三通阀70，从而达到自动控制冷却液的目的，进而实现自动用冷却液清洗待冷却设备的目的。

在本实施例中，第一液阀61、第二液阀62、及三通阀70均为电磁阀。这样方便控制器150通过控制线90控制第一液阀61、第二液阀62、及三通阀70。当然，可以理解的是，本实用新型并不局限于电磁阀，还可以是其它类型的阀门。

在正常工作模式下，参见图1，储液槽110中的冷却液，经出液管路31进入温控机构120将冷却液冷却，然后冷却液经外输管路32及第一液阀61、流入待冷却设备8中将待冷却设备8冷却。冷却之后，冷却液从待冷却设备8的出液端流出，经回液管路33及第二液阀62，流回到储液槽110中；如此循环，以实现将待冷却设备8冷却。

在本实施例中，控制器150包括反洗模式；在反洗模式下，控制器150控制第一液阀61打开、第二液阀62关闭、三通阀70的第一出口71关闭、第二出口632打开。参见图2，在该模式下，气体从三通阀70进口进、从第二出口72出，然后进入第二气推子管路42中，气体的压力将回液管路33中的冷却液逆向推入待冷却设备8中，从而对待冷却设备8进行反向清洗；清洗之后的冷却液从待冷却设备8的进液端，经外输管路32及第一液阀61、温控设备120，逆向回流到储液槽110中。

在本实施例中，控制器150包括正洗模式；在正洗模式下，控制器150控制第一液阀61关闭、第二液阀62打开、三通阀70的第一出口71打开、第二出口72关闭。参见图3，在该模式下，气体从三通阀70进口进、从第一出口71出，然后进入第一气推子管路41中，气体的压力将外输管路32中的冷却液推入待冷却设备8中，从而对待冷却设备8进行正向清洗；清洗之后的冷却液从待冷却设备8的出液端，经回液管路34及第二液阀62，流回储液槽110中。

在本实施例中，控制器150包括震荡洗模式；在震荡洗模式下，交替进行正洗模式及反洗模式。这样通过正洗、反洗不断反复变换，使待冷却设备8中的冷却液产生震荡，从而将待冷却设备8中的碎屑震荡冲刷下来。这样可以进一步提高清洗效果。

在本实施例中，冷却机100还包括计时单元(未示出)，计时单元与控制器150电连接。计时单元接收用户设定的指定时间，例如设定的指定时间为5分钟，则控制单元150根据计时单元控制反洗模式5分钟，然后正洗模式5分钟，如此循环往复若干次。

当然，可以理解的是，本实用新型的控制器，并不局限于具有三种清洗模式，还可以只有一种清洗模式，即或正洗模式、或反洗模式、或震荡洗模式；亦或只有其中的两种。还可以理解的是，本实用新型还可以不设置控制器，通过人工控制各阀门。

在本实施例中，冷却机100还包括排污管路34以及排污阀63。其中，排污管路34与储液槽110连通。排污阀63设置在排污管路34上，用于关断排污管路34。当排污阀63打开时，冷却液从储液槽110中经其排污口，从排污管路34中流出，从而实现排污。这样清洗之后，储液槽110中的冷却液含有碎屑，可通过排污管路34排出，进一步提高冷却机100的使用寿命。

在本实施例中，排污阀63为手动阀。这样方便用户自己控制排污的时机以及时长。

上述冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，进而避免了堵塞，从而保证的设备的正常运行，确保产品的质量。

本实用新型还提供了一种冷却系统。

一种冷却系统，包括本实用新型所提供的冷却机。

当然，上述冷却系统还包括待冷却设备。

上述冷却系统，由于采用本实用新型所提供的冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，故而避免了堵塞，从而保证设备的正常运行，确保产品的质量。

本实用新型还提供了一种真空等离子设备。

一种真空等离子设备，包括本实用新型所提供的冷却系统。

上述真空等离子设备，由于采用本实用新型所提供的冷却系统，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，故而避免了堵塞，从而保证设备的正常运行，确保产品的质量。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。