一种碳化硅加工加热装置的固定机构的制作方法

技术特征：

1.一种碳化硅加工加热装置的固定机构，包括第一电极板(3)和第二电极板(7)及其外侧的加热炉(9)，其特征在于：所述第一电极板(3)和第二电极板(7)的外侧设有安装板(1)，所述安装板(1)的表面设有安装孔(2)，所述第一电极板(3)和第二电极板(7)的底部设有钨加热棒(5)，所述钨加热棒(5)的上端贯穿第一电极板(3)和第二电极板(7)且两钨加热棒(5)之间通过连接环(6)相连，所述连接环(6)通过第一螺钉(4)螺接于第一电极板(3)和第二电极板(7)的上端，所述钨加热棒(5)的下端插接有钨环(8)，所述第一电极板(3)和第二电极板(7)通过第二螺钉(10)安装于加热炉(9)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工加热装置的固定机构，其特征在于：所述钨加热棒(5)为等距对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工加热装置的固定机构，其特征在于：所述第一电极板(3)和第二电极板(7)的形状呈半圆形。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工加热装置的固定机构，其特征在于：所述安装孔(2)为对称设置，所述第二螺钉(10)螺接于安装孔(2)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工加热装置的固定机构，其特征在于：所述加热炉(9)的外壁设有隔热层。