技术总结
一种碳化硅加工加热装置的固定机构，包括第一电极板和第二电极板及其外侧的加热炉，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板的表面设有安装孔，所述第一电极板和第二电极板的底部设有钨加热棒，所述钨加热棒的上端贯穿第一电极板和第二电极板且两钨加热棒之间通过连接环相连，所述连接环通过第一螺钉螺接于第一电极板和第二电极板的上端，所述钨加热棒的下端底部插接有钨环，所述第一电极板和第二电极板通过第二螺钉安装于加热炉的内部。
技术研发人员：宗艳民;侯文海;柏文文
受保护的技术使用者：山东天岳先进材料科技有限公司
文档号码：201720771091
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2018.03.23