一种基于激光焊接的压电晶体谐振器的制作方法

文档序号:16715835发布日期:2019-01-22 23:14阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于激光焊接的压电晶体谐振器,包括金属上盖(1)、压电石英晶片(2)和多层共烧陶瓷基座(3),其特征在于:所述多层共烧陶瓷基座具有形成谐振腔的凹槽(31),凹槽(31)边缘有用于和金属上盖(1)形成气密性焊接封装的连接层(32),多层共烧陶瓷基座(3)的正反面设有电气连接的金属点胶盘(33)和金属焊盘(34),所述压电石英晶片(2)设置有两个安装电极(21),通过导电胶和多层共烧陶瓷基座(3)的凹槽(31)内的金属点胶盘(33)形成稳定的电气连接,所述金属上盖(1)为平板型,金属上盖(1)焊接边缘处设计有应力释放沟台阶(101)和热应力释放结构(102),热应力释放结构(102)为位于金属上盖(1)上表面的环或者为位于金属上盖(1)下表面的沟槽,整个压电晶体谐振器是由金属上盖(1)和固定有压电石英晶片(2)的多层共烧陶瓷基座(3)通过激光焊接的工艺密封封装而成。

2.根据权利要求1所述的一种基于激光焊接的压电晶体谐振器,其特征在于:所述连接层(32)为金属环或者金属镀层。

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