成像元件和电子装置制造方法

文档序号:7809565阅读:105来源:国知局
成像元件和电子装置制造方法
【专利摘要】一种成像元件包括光电转换部分和布线层。所述光电转换部分配置为光电转换从被摄体入射的光。所述布线层相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分。所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线。所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排。所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
【专利说明】成像元件和电子装置
[0001]交叉引用相关申请
[0002]本申请要求2013年7月30日提交的日本优先权专利申请JP2013-157935的利益,在此通过引用并入其全部内容。

【技术领域】
[0003]本公开涉及成像元件和电子装置,更具体地,涉及能够提供更高图像质量的成像元件和电子装置。

【背景技术】
[0004]现有技术中,已知背照式固态成像器件,其包括收集来自被摄体的光的芯片上镜头、提供驱动像素的晶体管等的布线的布线层、以及接收来自被摄体的光的光电二极管,该光电二极管提供在芯片上镜头和布线层之间。
[0005]在背照式固态成像器件中,晶体管布线等不提供在收集光的镜头和接收光的光电二极管之间。因此,可能使得像素开口变得更大用于接收更多光。因此,可能提供高质量图像。
[0006]作为背照式固态成像器件,存在这样的背照式固态成像器件,其包括在关于光进入的背侧提供包夹光电二极管的布线层的一侧,即,前侧的反射膜,用于正反射通过光电二极管的光(例如,见日本专利申请公开N0.2009-238985(以下称为专利文献I))。
[0007]在该固态成像器件中,已经从背侧进入光电二极管的光中的通过光电二极管的光被光电二极管附近提供的反射膜反射,并且再次进入光电二极管。因此,光电二极管可以接收更多光。可能在近红外区域实现高灵敏度。


【发明内容】

[0008]然而,上述技术难以提供高图像质量。
[0009]例如,在现有技术的背照式固态成像器件中,用于元件的控制线在前侧的布线层中提供。一些控制线具有这样的布线图案,其中由于连接到预定方向上安排的像素的晶体管等,控制线在一个方向上长而没有分支。在提供这样的控制线的布线层中,在预定方向上长的控制线以相等间隔在垂直于控制线的长侧方向的方向上安排。
[0010]利用这样的结构,从背侧入射的光通过光电二极管。光还通过包括在一个方向上长的控制线的布线层。光被另一布线层反射。反射光再次进入包括在一个方向上长的控制线的布线层。然后,控制线用作衍射光栅,并且导致衍射和干涉。由于该干涉而相互增强的光束在垂直于一个方向上长的控制线的长侧方向的方向上传播,并且再次进入光电二极管。因此,在光电二极管上,即,在像素上导致反射光的入射光量的变化。因此,像素的像素信号之间的输出差增加,并且在通过成像获得的图像中生成横向条纹等,这导致图像质量劣化。
[0011]关于专利文献I中描述的固态成像元件,假设通过光电二极管并到达反射膜的光束以不同角入射。入射光束在反射膜处反射的方向根据从光电二极管到反射膜的距离以及反射膜在平面中的位置而改变。因此,为了提高更好效果,必须在光电二极管的附近提供反射膜。
[0012]然而,实际上难以控制反射膜上这样的反射光方向成为适当的方向。由于反射膜的一些位置,存在反射光方向偏离一个方向的可能性。因此,在像素上导致来自反射膜的光的入射光量的变化,这劣化了通过成像获得的图像的质量。
[0013]此外,在专利文献I描述的固态成像器件中,必须在光电二极管附近形成反射膜。然而,如果在光电二极管附近提供反射膜,则与提供在光电二极管附近的驱动像素的放大晶体管的栅极和连接到浮置扩散区域的耦合电容增加。
[0014]因此,每个像素中通过光电转换获得的将电子(电荷)转换为电压的效率降低。因此,像素信号的信噪比(SN比)降低,并且得到的图像质量劣化。
[0015]考虑上述情况,期望提供更高质量的图像。
[0016]根据本公开的第一实施例,提供了一种成像元件,包括:光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
[0017]所述布线的凸起可以包括多个凸起。
[0018]所述凸起可以是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。
[0019]所述布线可以提供有朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。
[0020]所述布线可以提供有朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,所述另外布线在所述预定方向上交替安排。
[0021]所述布线可以提供有朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,所述另外布线在所述预定方向上的相同位置处提供。
[0022]所述凸起可以通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。
[0023]所述凸起可以具有矩形形状和三角形形状之一。
[0024]所述布线的所述凸起可以在所述预定方向上的相同位置处提供。
[0025]相互相邻的布线的凸起可以在所述预定方向上的不同位置处提供。
[0026]所述成像元件可以包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素,所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。
[0027]当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时,所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分可以包括在所述布线层的区域中,所述区域与像素中的光电转换部分重叠。
[0028]在本公开的第一实施例中,在成像元件中,该成像元件包括:光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侦牝并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,并且所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
[0029]根据本公开的第二实施例,提供了一种电子装置,包括:成像元件,其包括光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
[0030]所述布线的凸起可以包括多个凸起。
[0031]所述凸起可以是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。
[0032]所述布线可以提供有朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。
[0033]所述凸起可以通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。
[0034]所述凸起可以具有矩形形状和三角形形状之一。
[0035]所述成像元件可以包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素,所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。
[0036]当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时,所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分可以包括在所述布线层的区域中,所述区域与像素中的光电转换部分重叠。
[0037]在本公开的第二实施例中,在包括成像元件的电子装置中,该成像元件包括:光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,并且所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
[0038]根据本公开的第一和第二实施例,可能提供更高质量的图像。
[0039]本公开的这些和其它目标、特征和优点在考虑以下参考附图图示的【具体实施方式】的详细描述时将变得更明显。

【专利附图】

【附图说明】
[0040]图1是示出固态成像器件的配置示例的图;
[0041]图2是示出像素阵列部分的配置示例的图;
[0042]图3是示出滤色镜的配置示例的图;
[0043]图4是说明现有技术中布线图案和反射光的衍射和干涉的图;
[0044]图5是说明反射光的衍射和干涉的图;
[0045]图6是说明反射光的衍射方向和由于干涉的图像质量劣化的图;
[0046]图7是示出布线层的布线图案的示例的图;
[0047]图8是说明反射光的衍射和干涉的图;
[0048]图9是说明反射光的衍射方向和由于干涉的图像质量劣化的图;
[0049]图10是示出布线层的布线图案的另一示例的图;
[0050]图11是示出布线层的布线图案的另一示例的图;
[0051]图12是示出布线层的布线图案的另一示例的图;
[0052]图13是示出布线层的布线图案的另一示例的图;
[0053]图14是示出布线层的布线图案的另一示例的图;以及
[0054]图15是示出成像装置的配置示例的图。

【具体实施方式】
[0055]以下,将参考附图描述应用本公开的实施例。
[0056]<第一实施例>
[0057]<固态成像元件的配置示例>
[0058]首先,将描述应用本公开的固态成像元件的配置示例。图1示出应用本公开的固态成像元件的实施例的配置示例。
[0059]固态成像元件11是例如由互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器形成的背照式图像传感器。固态成像元件11接收并光电转换来自被摄体的光并生成图像信号,从而捕获图像。
[0060]注意,背照式图像传感器意味着具有这样的配置的图像传感器,其中在来自被摄体的光进入的光接收表面(即,收集光的芯片上镜头)和提供驱动像素的晶体管等的布线的布线层之间提供接收来自被摄体的光的光电二极管。
[0061]固态成像元件11包括像素阵列部分21、垂直驱动单元22、列处理器23、水平驱动单元24、系统控制单元25、像素驱动线26、垂直信号线27、信号处理器28和数据存储单元29。
[0062]在固态成像元件11中,像素阵列部分21形成在半导体基底(芯片)(未示出)上。此外,垂直驱动单元22到系统控制单元25集成在半导体基底上。
[0063]像素阵列部分21由像素构成,每个像素包括用作光电转换部分的光电二极管,其生成基于从被摄体入射的光量的电荷并存储电荷。构成像素阵列部分21的像素在图中在水平方向(行方向)和垂直方向(列方向)上二维安排。
[0064]例如,在像素阵列部分21中,像素驱动线26沿着行方向为由行方向上安排的像素形成的每个像素行安排。垂直信号线27沿着列方向为由列方向上安排的像素形成的每个像素列安排。
[0065]垂直驱动单元22由移位寄存器或地址解码器形成。垂直驱动单元22经由多个像素驱动线26将信号等提供给像素,从而逐行地同时驱动像素阵列部分21的像素等。
[0066]列处理器23经由用于像素阵列部分21的每个像素列的垂直信号线27从像素读出信号,并且对信号执行噪声移除、相关倍采样、模数(A/D)转换等,以便生成像素信号。
[0067]水平驱动单元24由移位寄存器或地址解码器形成。水平驱动单元24顺序地选择与列处理器23的像素行对应的单元电路。对于每个单元电路,该通过水平驱动单元24的选择性扫描顺序地将经历列处理器23的信号处理的像素信号输出到信号处理器28。
[0068]系统控制单元25由生成各种定时信号的定时生成器等形成。基于定时生成器生成的定时信号,系统控制单元25控制垂直驱动单元22、列处理器23和水平驱动单元24的驱动。
[0069]信号处理器28根据需要将数据暂时存储在数据存储单元29中。与此同时,信号处理器28对从列处理器23提供的像素信号执行信号处理,如计算,并且输出由像素的像素信号形成的图像信号。
[0070]<像素阵列部分的配置示例>
[0071]图1所示的像素阵列部分21例如如图2所示配置。注意,图2是像素阵列部分21的部分区域的截面图。
[0072]在该示例中,图中像素阵列部分21的上侧是来自被摄体的光进入的背侧。图中像素阵列部分21的下侧是提供布线层的前侧。
[0073]在作为像素阵列部分21的背侧的表面的光接收表面中提供镜头阵列51。镜头阵列51收集从被摄体入射的光。图中滤色镜52提供在镜头阵列51的下侧。滤色镜52使得只有具有预定颜色的光通过其中。
[0074]此外,图中在滤色镜52的下侧提供硅的Si层53。图中在Si层53的下侧提供布线层54。
[0075]在Si层53内提供光电转换入射光的光电二极管61-1到61_3以及用于驱动像素的晶体管62-1到62-3。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则光电二极管61-1到
61-3将简称为光电二极管61。此外,以下,如果不需要将它们相互区分,则晶体管62-1到
62-3将简称为晶体管62。
[0076]在像素阵列部分21中,为每个像素提供一个光电二极管61和一个晶体管62。例如,晶体管62配置为放大晶体管,用于将通过光电二极管61获得的电荷转换为电压并读出该电压。
[0077]注意,更具体地,除了晶体管62,每个像素包括传送通过光电二极管61获得的电荷的传送晶体管、存储传送的电荷的浮置扩散区、重置浮置扩散区的重置晶体管等。
[0078]此外,晶体管62-1到62-3的栅极63_1到63_3和用于驱动像素的晶体管(未示出)的栅极64-1到64-3直接提供在Si层53下面。栅极63-1到63-3和栅极64-1到64-3例如由多晶硅制成。
[0079]注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则栅极63-1到63-3将简称为栅极63,以及如果不需要将它们相互区分,则栅极64-1到64-3将简称为栅极64。
[0080]例如,栅极64是用于传送通过光电二极管61获得的电荷到浮置扩散区的传送晶体管的栅极。浮置扩散区暂时存储从光电二极管61传送的电荷。浮置扩散区中的电荷通过放大晶体管转换为电压。
[0081]此外,控制线等在与Si层53相邻形成的布线层54中提供。控制线用于驱动像素阵列部分21中提供的像素,并且从像素读出像素信号。具体地,例如,在布线层54中提供与图1所示的像素驱动线26和垂直信号线27对应的布线等。
[0082]在该示例中,布线层54包括三个布线层71、72和73。例如,布线层71中具有阴影线的矩形指示布线层71中形成的布线。布线层71的布线配置为连接图1所示的浮置扩散区和放大晶体管、垂直信号线27等的布线。
[0083]此外,布线层72中具有阴影线的矩形指示布线层72中形成的布线。例如,布线层72的布线配置为连接到栅极63、栅极64等的控制线。
[0084]此外,布线层73中具有阴影线的矩形指示布线层73中形成的布线。例如,布线层73的布线配置为用于驱动像素阵列部分21和其它布线的布线。
[0085]在这样配置的像素阵列部分21中,来自被摄体的光进入光电二极管61,如箭头All所示。具体地,来自被摄体的光由构成镜头阵列51的每个像素的镜头收集,并通过滤色镜52进入光电二极管61。
[0086]然后,已经进入光电二极管61的一部分光被光电二极管61接收并被光电转换。没有被接收的已经进入光电二极管61的光的剩余光通过光电二极管61,进一步通过布线层71和布线层72,进入布线层73,并且被布线层73的布线反射,如箭头All所示。
[0087]布线层73反射的光通过布线层72和布线层71,并且再次进入光电二极管61,如箭头All所示。由此从布线层73再次进入光电二极管61的光被光电二极管61接收并被光电转换。
[0088]现在,描述在像素阵列部分21中提供的滤色镜52。
[0089]例如,滤色镜52设为这样的滤色镜,其中如图3所示的红(R)、绿(Gr,Gb)和蓝(B)的各色的滤色镜以拜耳布置来安排。
[0090]注意,在图3中,一个正方形指示为一个像素提供的特定颜色的滤色镜,并且每个正方形中印有的字母指示由该正方形指示的滤色镜的颜色,即,滤色镜使得通过其中的颜色分量。
[0091]具体地,具有字母“R”的正方形指示R滤色镜,其只使得光的R分量,即,红光通过其中。类似地,具有字母“Gr”或“Gb”的正方形指示Gr滤色镜或Gb滤色镜,其只使得光的G分量,即,绿光通过其中。具有字母“B”的正方形指示B滤色镜,其只使得光的B分量,即,蓝光通过其中。
[0092]注意,以下,提供有R滤色镜、Gr滤色镜、Gb滤色镜和B滤色镜的像素也将分别称为R像素、Gr像素、Gb像素和B像素。
[0093]在提供有如图3所示的滤色镜52的像素阵列部分21中,一个R像素被Gb像素、Gr像素和B像素包围。Gb像素安排在R像素的上和下侧。Gr像素安排在R像素的左和右手侧。B像素安排在R像素的斜侧。
[0094]<图像质量的改进>
[0095]顺带提及,在使得R分量光、G分量光和B分量光通过其中并且捕获图像的像素阵列部分21中,通过Si层53,被布线层73反射,并且返回Si层53的光的主分量是R分量。换句话说,在R分量光、G分量光和B分量光中,R分量光具有通过Si层53的最高透射率。
[0096]因此,至少关于再次进入Si层53 ( S卩,光电二极管61)的光中的R分量,如果来自布线层73的反射光设为均匀进入像素,则可能抑制由于反射光的衍射和干涉导致的图像质量劣化。
[0097]如上所述,现有技术中的背照式固态图像传感器例如在对应于图2所示的布线层72的布线层中具有布线的布线图案,其中布线在一个方向上延伸长而没有分支,如图4所
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[0098]也就是说,在图4的箭头Qll指示的示例中,在图中水平方向上长的布线121-1到121-4以相等间隔安排。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线121-1到121-4将简称为布线121。
[0099]在该示例中,布线121的每个是图中水平方向上长的矩形信号线。例如,一条线121连接到图中水平方向上安排的每个像素中提供的晶体管的栅极等,因此布线121具有沿着像素的安排方向长的形状。
[0100]注意,以下,布线121延伸长的方向,S卩,图中的水平方向也将称为布线121的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线121的短侧方向。
[0101]一个方向上长的多个布线121在布线层内在短侧方向上安排。换句话说,在布线121的长侧方向上长的缝隙在该布线层中以相等间隔安排。
[0102]当例如来自对应于图2中所示的布线层73的布线层的固态成像元件的前侧上的反射光进入提供布线121的布线层时,布线121用作衍射光栅,并且在布线121的附近导致衍射和干涉,如箭头Q12所示。
[0103]箭头Q12指示的图是箭头Ql I指示的布线层的A-A’截面图,S卩,当在水平方向上看时箭头Qll指示的布线层的截面图。
[0104]在箭头Q12指示的截面图中,提供光电二极管的Si层122提供在图中布线121的上侧。来自被摄体的光从图中的上侧通过Si层122和提供布线121的布线层,并且被另一布线层(未示出)反射为反射光。然后,反射光从图中的下侧再次进入提供布线121的布线层。
[0105]在箭头Q12指示的截面图中,例如,直线Lll和L12指示从其他布线层返回到布线121的反射光束。在该示例中,直线Lll和L12指示的反射光束的每个在相互相邻安排的布线121之间,在安排布线121的方向上(S卩,布线121的短侧方向上)衍射。然后,衍射的反射光束在提供光电二极管的Si层122中相互干涉。
[0106]结果,光束在Si层122的一些区域中经历相长干涉和相消干涉。因此,在布线121的短侧方向上产生干涉条纹。箭头Cll和C12指示的Si层122中的椭圆形指示干涉条纹中的零阶干涉光和一阶干涉光的发射区域。
[0107]当在垂直于Si层122的表面的方向上看反射光的这样的衍射和干涉时,在如图5所示的箭头A21的方向上导致衍射和干涉。注意,在图5中,对应于图4的那些的部分用相同参考标号表示,并且将适当地省略其描述。
[0108]在图5中,在图中Si层122的前侧提供布线121。来自其他布线层(未示出)的反射光从前侧行进到深侧,并且进入布线121的布线层。然后,已经进入布线层的反射光在箭头A21指示的方向上在相互相邻的布线121之间衍射,反射和衍射光束相互干涉,并且由于干涉相互增强的光束在箭头A21的方向上传播。
[0109]如上所述,通过Si层122和布线121的布线层,被其他布线层反射,并且返回布线121的布线层的光的主分量是R分量。因此,描述将继续关注R像素。
[0110]例如,假设包括Si层122的像素阵列部分包括像素Gll到G15,如图6所示。注意,假设图6中的垂直方向是图5中箭头A21的方向。
[0111]在该示例中,像素Gll是R像素。在图中上和下方向上与像素Gll相邻的像素G12和G13是Gb像素。在图中左和右手方向上与像素Gll相邻的像素G14和G15是Gr像素。
[0112]与其他颜色像素相比,作为R像素的像素Gll是具有从被摄体进入、通过Si层122并且到达布线121的布线层的较大光量的像素。因此,容易在对应于作为R像素的像素Gll的布线层中导致光的衍射和干涉。
[0113]在该示例中,从被摄体进入像素Gl1、通过Si层122和布线121的布线层并且被其他布线层反射的光在光再次进入布线121的布线层时,在布线121的布线层中在图6中的垂直方向上(即,图5中的箭头A21的方向上)衍射。因此,如参考图5描述的,光束从其他布线层进入布线121的布线层,由于干涉相互增强,并且在图6中的垂直方向上传播。
[0114]因此,从其他布线层返回Si层122的反射光的较大部分进入像素Gll和在图中垂直方向上与像素Gll相邻的像素G12和G13中。与像素G12和G13相比,反射光的较小部分进入像素G14和G15中。
[0115]因此,从作为Gb像素的像素G12和G13输出的像素信号的值和从作为Gr像素的像素G14和G15输出的像素信号的值之间的差,即,像素之间的输出差增加。结果,由于像素之间的输出的差,在得到图像中产生横向条纹等,这劣化了图像质量。
[0116]如上所述,在现有技术的固态成像元件中,在布线层中的一些布线图案中,特别是在一个方向上导致已经进入Si层的光的衍射和干涉。因此,难以提供高质量图像。
[0117]考虑这点,在应用本公开的固态成像元件中,相对远离Si层53设置的在布线层72中一个方向上延伸长的布线提供有凸起。凸起在不同于布线延伸的方向的方向上凸出。凸起克服了这样的现象,即,来自布线层73的反射光在不同于布线的长侧方向的方向上也经历衍射和干涉,并且特别是只在一个方向上导致衍射和干涉。因此,可能提供更高质量图像。
[0118]具体地,例如,以图7所示的布线图案在布线层72中提供布线。注意,图7是朝向图2中的下方,即,在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看图2所示的布线层72时的图。
[0119]在图7中,在布线层72中提供具有梳齿形的多个布线161-1到161_5。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线161-1到161-5将简称为布线161。
[0120]布线161的每个具有图中水平方向上长的形状。布线161提供有在图中垂直方向上凸出的凸起。注意,以下,布线161延伸长的方向,即,图中的水平方向也将称为布线161的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线161的短侧方向。
[0121]例如,布线161-2提供有在图中上侧方向上凸出的多个另外布线,其包括箭头Dll和D12指示的另外布线,并且提供有在图中下侧方向上凸出的多个另外布线,其包括箭头D13指示的另外布线,作为布线161的凸起。具体地,在该示例中,布线161提供有在图中上侧方向上凸出的另外布线和在图中下侧方向上凸出的另外布线,它们在布线161的长侧方向上交替安排。此外,例如,布线161-1也提供有在图中下侧方向上凸出的多个另外布线,其包括箭头D14和D15指示的另外布线,作为布线161的凸起。
[0122]箭头Dll指示的另外布线朝向与布线161-2相邻的布线161延伸这样的距离,使得该另外布线不导致与布线161-1的短路。此外,每个布线161提供有朝向与该布线161相邻的布线161凸出的另外布线,如同分支,其以相等间隔安排使得该布线161的另外布线与这些相邻布线161的另外布线交替。
[0123]例如,布线161-1和161-2提供有分别由箭头D14、D11、D15、D12按顺序指示的另外布线。
[0124]此外,在布线层72中,在一个方向上长的布线161在布线161的短侧方向上以相等间隔安排。
[0125]此外,在图7中,虚线正方形区域Rll指示布线层72的区域,其与构成像素阵列部分21的一个像素的区域重叠,换句话说,当在与像素阵列部分21的光接收表面垂直的方向上看时一个光电二极管61的区域。如从图中可以看到的,在布线层72中,布线161以这样的布线图案安排,其中两个布线161和作为布线161中提供的凸起的另外布线包括在与一个像素的区域重叠的区域Rll中。
[0126]通过以此方式给在一个方向上延伸长的布线161提供在不同于布线161的长侧方向的短侧方向上凸出的凸起,在布线层72中不仅在布线层161的短侧方向上,而且在长侧方向上导致衍射和干涉,如图8所示。
[0127]注意,与图2或7的那些对应的图8的部分用相同参考标号表示,并且将适当地省略其描述。
[0128]图8的箭头Q21指示的图是图7所示的布线层72的B-B’截面图,即,例如当与图2中相同方向看时像素阵列部分21的部分的图。因此,在该图中,图中的水平方向是布线161的长侧方向。
[0129]在箭头Q21指示的截面图中,Si层53提供在图中布线层72的上侧,布线层72包括布线161。来自被摄体的光从图中的上侧通过Si层53和布线层72,并且由布线层73 (未示出)反射为反射光。然后,反射光从图中的下侧再次进入布线层72。
[0130]例如,在箭头Q21指示的图中,直线L21和L22指示从被摄体进入、通过Si层53和布线层72的反射光被布线层73反射,并且返回布线层72。在该示例中,如虚线所示,直线L21和L22指示的反射光束在相互相邻安排的布线161的凸起之间,在布线161的长侧方向上(即,图中的水平方向上)衍射。然后,衍射的反射光束在提供光电二极管61的Si层53中相互干涉。
[0131]结果,光束在Si层53的一些区域中经历相长干涉和相消干涉。因此,在布线161的短侧方向上产生干涉条纹。箭头C21和C22指示的Si层53中的椭圆形指示干涉条纹中的零阶干涉光和一阶干涉光的发射区域。
[0132]此外,在布线层72中,如参考图4描述的,在布线161的短侧方向上也导致衍射和干涉。
[0133]因此,如箭头Q22指示的,在包括作为布线161的短侧方向的箭头A31的方向和作为垂直于布线161的短侧方向的长侧方向的箭头A32的方向的多个方向上,在布线层72中导致反射光的衍射和干涉。
[0134]注意,箭头Q22指示的图是当在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看时像素阵列部分21的一部分的图示。
[0135]在箭头A22指示的图中,布线161安排在图中Si层53的前侧,并且来自布线层73 (未示出)的反射光从前侧行进到深侧,并且进入提供布线161的布线层72。
[0136]然后,已经进入布线层72的反射光在相互相邻的布线161之间通过,S卩,通过由相互相邻的布线161形成的缝隙。导致反射光绕到布线161的后侧的衍射现象。在Si层53中发射反射光的范围传播。在该示例中,反射光不仅在箭头A31指示的方向上,而且在箭头A32指示的方向上衍射。
[0137]此外,由于衍射而传播的反射光束,由于与偏移与波长对应的量的反射光束之间的光学路径差的干涉而相互增强。因此,产生干涉条纹。由于干涉而相互增强的光束在箭头A31的方向上和在箭头A32的方向上传播。
[0138]因此,在Si层53中,可以防止通过Si层53 —次后由布线层73返回的光经历特别是只在一个方向上的衍射和干涉。
[0139]换句话说,由于像素阵列部分21,由于布线层72中的衍射和干涉而相互增强的光束不仅进入像素阵列部分21的特定像素的光电二极管61,而且进入围绕特定像素的像素的光电二极管61,因此干涉条纹整体上减少。为此,可能抑制由固态成像元件11捕获的图像中的干涉条纹,因此提供更高质量图像。
[0140]具体地,在像素阵列部分21中,通过镜头阵列51从被摄体进入、通过Si层53、被布线层73反射并在布线层72中经历衍射和干涉的光的主分量是R分量。
[0141]因此,如图9所示,已经进入R像素的光的反射光可以进入R像素和围绕R像素的其它像素。
[0142]注意,图9示出像素阵列部分21中提供的像素,并且该示例中像素G21到G25显示为构成像素阵列部分21的像素。此外,图9中的垂直方向和水平方向是布线161的短侧方向和长侧方向。
[0143]在该示例中,像素G21是R像素。此外,在图中上和下方向上与像素G21相邻的像素G22和G23是Gb像素。在图中左和右手方向上与像素G21相邻的像素G24和G25是Gr像素。
[0144]与其他颜色像素相比,作为R像素的像素G21是具有从被摄体进入、通过Si层53并且到达布线层72的较大光量的像素。因此,容易在作为R像素的像素G21中导致从布线层73返回布线层72的光的衍射和干涉。
[0145]在该示例中,通过镜头阵列51和构成像素G21的滤色镜52从被摄体进入Si层53、通过Si层53和布线层72、并且被布线层73反射的光在光再次进入布线层72时,在布线层72中经历衍射和干涉。
[0146]此时,光的衍射和干涉的方向是布线161的长侧方式和短侧方向,如参考图8描述的。因此,光束从布线层73进入布线层72并衍射,由于干涉而相互增强,并且在图9的垂直方向和水平方向上传播。
[0147]因此,从布线层73返回Si层53的反射光不仅进入像素G21和图中垂直方向上与像素G21相邻的像素G22和G23,而且进入在图中水平方向上与像素G21相邻的像素G24和G25。
[0148]为此,反射光的衍射和干涉可以在多个方向上分散。因此,从作为Gb像素的像素G22和G23输出的像素信号的值和从作为Gr像素的像素G24和G24输出的像素信号的值之间的差,即,像素之间的输出差可以减少。结果,可能抑制由于得到图像中的像素之间的输出差导致的横向条纹等的产生,因此改进图像质量。
[0149]此外,在布线层54的布线层72中,布线161提供有凸起,该布线层72关于Si层53提供,将布线层71包夹在它们之间,并且在相对远离Si层53的位置设置。因此,在远离像素的放大晶体管的栅极和浮置扩散区域的控制线的位置处设置的布线161可以控制反射光的衍射和干涉的方向。
[0150]因此,即使将凸起增加到布线161,与像素的放大晶体管的栅极和浮置扩散区域的控制线之间的耦合电容也不显著增加,因此可能抑制放大晶体管中将电子转换为电压的效率的减少。因此,可能改进SN比,因此提供高质量图像。
[0151]注意,尽管已经描述了设置布线层72的布线图案使得在多个方向上导致光的衍射和干涉的示例,也可以设置诸如布线层71的其它布线层的布线图案,使得在多个方向上导致光的衍射和干涉。可替代地,可以设置多个布线层的布线图案,使得在多个方向上导致光的衍射和干涉。
[0152]〈第二实施例〉
[0153]〈布线图案的示例〉
[0154]注意,尽管布线层72的布线图案设为图7所示的图案,布线层72的布线图案也可以设为任何图案,只要已经从布线层73进入的光在多个方向上经历衍射和干涉。
[0155]具体地,布线层72的布线图案例如可以设为图10所示的布线图案。注意,图10是当在图2中向下(即,垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向)看时布线层72的图。
[0156]在图10中,在布线层72中提供具有梳齿形的多个布线201-1到201_5。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线201-1到201-5将简称为布线201。
[0157]每个布线201具有在图中水平方向上长的形状。布线201提供有在图中垂直方向上凸出的凸起。注意,以下,布线201延伸长的方向,即,图中的水平方向也将称为布线201的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线201的短侧方向。
[0158]例如,布线201-2提供有在图中向上方向上凸出的多个另外布线,其包括箭头D21指示的另外布线,并且提供有在图中下侧方向上凸出的多个另外布线,其包括箭头D22指示的另外布线,作为布线201的凸起。
[0159]箭头D21指示的另外布线朝向与布线201-2相邻的布线201_1延伸这样的距离,使得该另外布线不导致与作为提供为与布线201-1相对的凸起的另外布线的短路。此外,每个布线201提供有朝向与该布线201相邻的布线201凸出的另外布线,如同分支,其以相等间隔安排使得该布线201的另外布线与这些相邻布线201的另外布线相对。此外,每个布线201提供有在图中向上方向上凸出的另外布线和在图中向下方向上凸出的另外布线,它们在布线201的长侧方向上的相同位置安排。
[0160]此外,在布线层72中,在一个方向上长的布线201在布线201的短侧方向上以相等间隔安排。
[0161]此外,在图10中,虚线正方形区域R21指示布线层72的区域,其与构成像素阵列部分21的一个像素的区域(换句话说,当在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看时一个光电二极管61的区域)重叠。如从图中看到的,在布线层72中,布线201以这样的布线图案安排,其中两个布线201和作为布线201中提供的凸起的另外布线包括在与一个像素的区域重叠的区域R21中。
[0162]通过以此方式给在一个方向延伸长的布线201提供在不同于布线201的长侧方向的短侧方向上凸出的凸起,不仅在布线201的短侧方向上,而且在长侧方向上在布线层72中导致衍射和干涉。因此,可能提供高质量图像。
[0163]〈第三实施例〉
[0164]〈布线图案的示例〉
[0165]可替代地,布线层72的布线图案例如可以设为图11所示的布线图案。注意,图11是当在图2中向下(即,垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向)看时布线层72的图。
[0166]在图11中,在布线层72中提供多个布线231-1到231-4。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线231-1到231-4将简称为布线231。
[0167]每个布线231具有在图中水平方向上长的形状。布线231提供有在图中垂直方向上凸出的凸起。注意,以下,布线231延伸长的方向,即,图中的水平方向也将称为布线231的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线231的短侧方向。
[0168]通过改变每个布线231的一些部分的延伸方向,形成朝向与该布线231相邻的其它布线231凸出的凸起。
[0169]例如,布线231-2提供有在图中向下方向上凸出的多个矩形凸起,其包括箭头D31指示的凸起。该矩形凸起以下面的方式形成。具体地,布线231的一部分在图中向下方向上(其垂直于长侧方向)弯曲。然后,布线231的该部分在长侧方向上弯曲。然后,布线231的该部分在图中向上方向上(其垂直于长侧方向)弯曲。因此,布线231的该部分在短侧方向上凸出。
[0170]箭头D31指示的凸起朝向与布线231-2相邻的布线231_3凸出,并且提供为与布线231-3的凸出相对。此外,每个布线231提供有朝向相互相邻的布线231凸出的凸起。该凸起以相等间隔安排。布线231的凸起在图中水平方向上的相同位置安排。
[0171]此外,在布线层72中,在一个方向上长的布线231在布线231的短侧方向上以相等间隔安排。
[0172]此外,在图11中,虚线正方形区域R31指示布线层72的区域,其与构成像素阵列部分21的一个像素的区域(换句话说,当在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看时一个光电二极管61的区域)重叠。如从图中看到的,在布线层72中,布线231以这样的布线图案安排,其中两个布线231和作为布线231中提供的凸起的部分另外布线包括在与一个像素的区域重叠的区域R31中。
[0173]通过以此方式给在一个方向延伸长的布线231提供在不同于布线231的长侧方向的短侧方向上凸出的凸起,不仅在布线231的短侧方向上,而且在长侧方向上在布线层72中导致衍射和干涉。因此,可能提供高质量图像。
[0174]〈第四实施例〉
[0175]〈布线图案的示例〉
[0176]可替代地,布线层72的布线图案例如可以设为图12所示的布线图案。注意,图12是当在图2中向下(即,垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向)看时布线层72的图。
[0177]在图12中,在布线层72中提供具有梳齿形的多个布线251-1到251_4。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线251-1到251-4将简称为布线251。
[0178]每个布线251具有在图中水平方向上长的形状。布线251提供有在图中垂直方向上凸出的凸起。注意,以下,布线251延伸长的方向,即,图中的水平方向也将称为布线251的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线251的短侧方向。
[0179]通过改变每个布线251的一些部分的延伸方向,形成朝向与该布线251相邻的其它布线251凸出的凸起。
[0180]例如,布线251-2提供有在图中向下方向上凸出的多个矩形凸起,其包括箭头D41指示的凸起。该矩形凸起以下面的方式形成。具体地,布线251的一部分在图中向下方向上(其垂直于长侧方向)弯曲。然后,布线251的该部分在长侧方向上弯曲。然后,布线251的该部分在图中向上方向上(其垂直于长侧方向)弯曲。因此,布线251的该部分在短侧方向上凸出。
[0181]箭头D41指示的凸起朝向与布线251-2相邻的布线251_3凸出,并且提供为与布线251-3的非凸出部分相对。
[0182]此外,每个布线251提供有朝向相互相邻的布线251凸出的凸起。该凸起以相等间隔安排。相互相邻的布线251的凸起在图中水平方向上交替安排。此外,在布线层72中,在一个方向上长的布线251在布线251的短侧方向上以相等间隔安排。
[0183]简而言之,图12中所示的布线图案是通过在图11所示的布线图案中将布线231-2和231-4在图11的水平方向上位移预定距离获得的布线图案。
[0184]此外,在图12中,虚线正方形区域R41指示布线层72的区域,其与构成像素阵列部分21的一个像素的区域(换句话说,当在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看时一个光电二极管61的区域)重叠。如从图中看到的,在布线层72中,布线251以这样的布线图案安排,其中两个布线251和作为布线251中提供的凸起的部分或全部另外布线包括在与一个像素的区域重叠的区域R41中。
[0185]通过以此方式给在一个方向延伸长的布线251提供在不同于布线251的长侧方向的短侧方向上凸出的凸起,不仅在布线251的短侧方向上,而且在不同于短侧方向的方向上在布线层72中导致衍射和干涉。因此,可能提供高质量图像。
[0186]〈第五实施例〉
[0187]〈布线图案的示例〉
[0188]可替代地,布线层72的布线图案例如可以设为图13所示的布线图案。注意,图13是当在图2中向下(即,垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向)看时布线层72的图。
[0189]在图13中,在布线层72中提供多个布线281-1到281-4。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线281-1到281-4将简称为布线281。
[0190]每个布线281具有在图中水平方向上长的形状。布线281提供有在图中垂直方向上凸出的凸起。注意,以下,布线281延伸长的方向,即,图中的水平方向也将称为布线281的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线281的短侧方向。
[0191]通过改变每个布线281的一些部分的延伸方向,形成朝向与该布线281相邻的其它布线281凸出的凸起。
[0192]例如,布线281-2提供有在图中向上方向上凸出的多个矩形凸起,其包括箭头D51指示的凸起。该矩形凸起以下面的方式形成。具体地,布线281的一部分与长侧方向倾斜地弯曲。因此,布线281的该部分在短侧方向上以山形凸出。
[0193]箭头D51指示的凸起朝向与布线281-2相邻的布线281-1凸出,并且提供为与布线281-1的凸出相对。此外,每个布线281提供有朝向相互相邻的布线281凸出的凸起。该凸起以相等间隔安排。每个布线281的凸出在图中水平方向上的相同位置提供。
[0194]此外,在布线层72中,在一个方向上长的布线281在布线281的短侧方向上以相等间隔安排。
[0195]此外,在图13中,虚线正方形区域R51指示布线层72的区域,其与构成像素阵列部分21的一个像素的区域(换句话说,当在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看时一个光电二极管61的区域)重叠。如从图中看到的,在布线层72中,布线281以这样的布线图案安排,其中两个布线281和作为布线281中提供的凸起的另外布线包括在与一个像素的区域重叠的区域R51中。
[0196]通过以此方式给在一个方向延伸长的布线281提供在不同于布线281的长侧方向的短侧方向上凸出的凸起,不仅在布线281的短侧方向上,而且在长侧方向上在布线层72中导致衍射和干涉。因此,可能提供高质量图像。
[0197]〈第六实施例〉
[0198]〈布线图案的示例〉
[0199]可替代地,布线层72的布线图案例如可以设为图14所示的布线图案。注意,图14是当在图2中向下(即,垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向)看时布线层72的图。
[0200]在图14中,在布线层72中提供多个布线301-1到301-4。注意,以下,如果不需要将它们相互区分,则布线301-1到301-4将简称为布线301。
[0201]每个布线301具有在图中水平方向上长的形状。布线301提供有在图中垂直方向上凸出的凸起。注意,以下,布线301延伸长的方向,即,图中的水平方向也将称为布线301的长侧方向。此外,垂直于长侧方向的方向,即,图中的垂直方向也将称为布线301的短侧方向。
[0202]通过改变每个布线301的一些部分的延伸方向,形成朝向与该布线301相邻的其它布线301凸出的凸起。
[0203]例如,布线301-2提供有在图中向上方向上凸出的多个矩形凸起,其包括箭头D61指示的凸起。该矩形凸起以下面的方式形成。具体地,布线301的一部分与长侧方向倾斜地弯曲。因此,布线301的该部分在短侧方向上以山形凸出。
[0204]箭头D61指示的凸起朝向与布线301-2相邻的布线301-1凸出,并且提供为与布线301-1的非凸出部分相对。
[0205]此外,每个布线301提供有朝向相互相邻的布线301凸出的凸起。该凸起以相等间隔安排。相互相邻的布线301的凸出在图中水平方向上交替安排。此外,在布线层72中,在一个方向上长的布线301在布线301的短侧方向上以相等间隔安排。
[0206]简而言之,图14中所示的布线图案是通过在图13所示的布线图案中将布线281-2和281-4在图13的水平方向上位移预定距离获得的布线图案。
[0207]此外,在图14中,虚线正方形区域R51指示布线层72的区域,其与构成像素阵列部分21的一个像素的区域(换句话说,当在垂直于像素阵列部分21的光接收表面的方向上看时一个光电二极管61的区域)重叠。如从图中看到的,在布线层72中,布线301以这样的布线图案安排,其中两个布线301和作为布线301中提供的凸起的另外布线包括在与一个像素的区域重叠的区域R61中。
[0208]通过以此方式给在一个方向延伸长的布线301提供在不同于布线301的长侧方向的短侧方向上凸出的凸起,不仅在布线301的短侧方向上,而且在不同于短侧方向的方向上在布线层72中导致衍射和干涉。因此,可能提供高质量图像。
[0209]<成像装置的配置示例>
[0210]此外,本公开可应用于一般电子装置,其每个在电子转换部分中使用固态成像元件,如包括数字照相机、摄像机等的成像装置,具有成像功能的便携式终端装置和在图像读取部分中使用固态成像元件的复印机。固态成像元件可以采用单芯片的形式。可替代地,固态成像元件可以可用具有成像功能的模块形式,将成像部分和信号处理器或光学系统封装在一起。
[0211]图15是示出作为应用本公开的电子装置的成像装置的配置示例的图。
[0212]图15的成像装置401包括由镜头组等构成的光学单元411、固态成像元件(成像器件)412、和作为相机信号处理电路的数字信号处理器(DSP)电路413。成像装置401还包括巾贞存储器414、显示单元415、记录单元416、操作单元417和电源单元418。DSP电路413、巾贞存储器414、显示单元415、记录单元416、操作单元417和电源单元418经由总线419相互连接。
[0213]光学单元411捕获来自被摄体的入射光(图像光),并且在固态成像元件412的成像表面上从入射光形成图像。固态成像元件412将通过光学单元412聚焦到成像表面上的入射光量转换为每像素的电信号,并且输出转换的信号作为像素信号。该固态成像元件412对应于上述固态成像元件11。
[0214]显示单元415例如由面板型显示装置(如液晶面板和有机电致发光(EL)面板)构成。显示单元415显示由固态成像装置元件412捕获的运动图像或静态图像。记录单元416将固态成像元件412捕获的运动图像或静态图像记录在记录介质上,如录影带和数字多功能盘(DVD)。
[0215]操作单元417根据用户进行的操作发出关于成像装置401的各种功能的操作指令。电源单元418适当地将各种类型的电力作为电源提供给作为供电目标的DSP电路413、中贞存储器414、显示单元415、记录单元416、操作单元417。
[0216]注意,在上述实施例的每个中,本公开应用于CMOS图像传感器,其中基于作为物理量的可见光量检测信号电荷的像素例如以矩阵形式安排。然而,本公开不限于应用于CMOS图像传感器,并且可应用于一般固态成像元件。
[0217]本公开的实施例不限于上述实施例,并且可以进行各种改变而不偏离本公开的精神。
[0218]注意,本公开还可以采用以下配置。
[0219][I] 一种成像元件,包括:
[0220]光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及
[0221]布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
[0222][2]根据[I]所述的成像元件,其中,
[0223]所述布线的凸起包括多个凸起。
[0224][3]根据[I]或[2]所述的成像元件,其中,
[0225]所述凸起是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。
[0226][4]根据[3]所述的成像元件,其中
[0227]所述布线提供有
[0228]朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及
[0229]朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。
[0230][5]根据[4]所述的成像元件,其中
[0231]所述布线提供有
[0232]朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及
[0233]朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,所述另外布线在所述预定方向上交替安排。
[0234][6]根据[4]所述的成像元件,其中
[0235]所述布线提供有
[0236]朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及
[0237]朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,所述另外布线在所述预定方向上的相同位置处提供。
[0238][7]根据[I]或[2]所述的成像元件,其中,
[0239]所述凸起通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。
[0240][8]根据[7]所述的成像元件,其中,
[0241]所述凸起具有矩形形状和三角形形状之一。
[0242][9]根据[7]或[8]所述的成像元件,其中,
[0243]所述布线的所述凸起在所述预定方向上的相同位置处提供。
[0244][10]根据[7]或[8]所述的成像元件,其中,
[0245]相互相邻的布线的凸起在所述预定方向上的不同位置处提供。
[0246][11]根据[I]到[10]的任一所述的成像元件,其中,
[0247]所述成像元件包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素,所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。
[0248][12]根据[I]到[11]的任一所述的成像元件,其中,
[0249]当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时,所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分包括在所述布线层的区域中,所述区域与像素中的光电转换部分重叠。
[0250][13] 一种电子装置,包括:
[0251]成像元件,其包括
[0252]光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及
[0253]布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
[0254][14]根据[13]所述的电子装置,其中,
[0255]所述布线的凸起包括多个凸起。
[0256][15]根据[13]或[14]所述的电子装置,其中,
[0257]所述凸起是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。
[0258][16]根据[15]所述的电子装置,其中
[0259]所述布线提供有
[0260]朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及
[0261]朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。
[0262][17]根据[13]或[14]所述的电子装置,其中
[0263]所述凸起通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。
[0264][18]根据[17]所述的电子装置,其中,
[0265]所述凸起具有矩形形状和三角形形状之一。
[0266][19]根据[13]到[18]的任一所述的电子装置,其中,
[0267]所述成像元件包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素,所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。
[0268][20]根据[13]到[19]的任一所述的电子装置,其中,
[0269]当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时,所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分包括在所述布线层的区域中,所述区域与像素中的光电转换部分重叠。
[0270]本领域的普通技术人员应该明白,只要在所附权利要求书或其等效物的范围之内,视设计要求和其它因素而定,可以作出各种各样的修改、组合、分组合和变更。
【权利要求】
1.一种成像元件,包括: 光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及 布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
2.根据权利要求1所述的成像元件,其中, 所述布线的凸起包括多个凸起。
3.根据权利要求2所述的成像元件,其中, 所述凸起是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。
4.根据权利要求3所述的成像元件,其中 所述布线提供有 朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及 朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。
5.根据权利要求4所述的成像元件,其中 所述布线提供有 朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及 朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,所述另外布线在所述预定方向上交替安排。
6.根据权利要求4所述的成像元件,其中 所述布线提供有 朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及 朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,所述另外布线在所述预定方向上的相同位置处提供。
7.根据权利要求2所述的成像元件,其中, 所述凸起通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。
8.根据权利要求7所述的成像元件,其中, 所述凸起具有矩形形状和三角形形状之一。
9.根据权利要求8所述的成像元件,其中, 所述布线的所述凸起在所述预定方向上的相同位置处提供。
10.根据权利要求8所述的成像元件,其中, 相互相邻的布线的凸起在所述预定方向上的不同位置处提供。
11.根据权利要求1所述的成像元件,其中, 所述成像元件包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素,所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。
12.根据权利要求1所述的成像元件,其中, 当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时,所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分包括在所述布线层的区域中,所述区域与像素中的光电转换部分重叠。
13.一种电子装置,包括: 成像元件,其包括 光电转换部分,配置为光电转换从被摄体入射的光;以及 布线层,其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧,并且包括连接到构成像素的元件的布线,所述像素包括光电转换部分,所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线,所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排,所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。
14.根据权利要求13所述的电子装置,其中, 所述布线的凸起包括多个凸起。
15.根据权利要求14所述的电子装置,其中, 所述凸起是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。
16.根据权利要求15所述的电子装置,其中 所述布线提供有 朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线,以及 朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。
17.根据权利要求14所述的电子装置,其中 所述凸起通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。
18.根据权利要求17所述的电子装置,其中, 所述凸起具有矩形形状和三角形形状之一。
19.根据权利要求13所述的电子装置,其中, 所述成像元件包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素,所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。
20.根据权利要求13所述的电子装置,其中, 当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时,所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分包括在所述布线层的区域中,所述区域与像素中的光电转换部分重叠。
【文档编号】H04N5/374GK104349147SQ201410352991
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年7月23日 优先权日:2013年7月30日
【发明者】城户英男 申请人:索尼公司
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