专利名称：一种晶体生长用热场装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于中频感应加热的热场装置，特别是一种晶体生长用热场装置。
本实用新型的解决方案是热场装置的隔热层采用复合式固定结构，其外层以硬质耐火材料制成薄壁直筒形，而内衬以相同材料制成上口稍大、下底稍小的薄壁倒锥筒形。在外层和内衬之间的四周充填耐高温绝热材料，作为加热器的铂坩埚的形状也制成与内衬相配合的倒锥筒形。这样构成的热场装置，具有操作方便、对原料的污染可能性低、使用寿命长、热场稳定、功耗小且重量轻的特点，有利于下称重控径，适用于压电或光学级高温氧化物晶体的生长。
权利要求1.一种晶体生长用热场装置，是由感应器、加热器、隔热层构成，其特征在于热场装置的隔热层采用复合式固定结构，其外层(1)以硬质耐火材料制成薄壁直筒形，而内衬(3)以相同材料制成上口稍大、下底稍小的薄壁倒锥筒形，在外层(1)和内衬(3)之间的四周充填耐高温绝热材料(2)，作为加热器的铂坩埚(4)的形状也制成与内衬(3)相配合的倒锥筒形。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长用热场装置，其特征在于所说的耐高温绝热材料(2)是一种多晶莫来石纤维。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶体生长用热场装置，其特征在于所说的隔热层的底部还装有一自感应磁浮力补偿器(6)。
专利摘要本实用新型公开了一种中频感应加热提拉法晶体生长炉上的热场装置。其关键是热场装置的隔热层采用复合式固定结构，其外层(1)以硬质耐火材料制成薄壁直筒形，而内衬(3)以相同材料制成上口稍大、下底稍小的薄壁倒锥筒形，在外层(1)和内衬(3)之间的四周充填耐高温绝热材料(2)，作为加热器的铂坩埚(4)的形状也制成与内衬(3)相配合的倒锥筒形。这样构成的热场装置，具有操作方便、对原料的污染可能性低、使用寿命长、功耗低、热场稳定且重量轻的特点，有利于下称重控径。适用于压电或光学级高温氧化物的生长。
文档编号C30B15/14GK2571773SQ0226074
公开日2003年9月10日 申请日期2002年10月14日 优先权日2002年10月14日
发明者夏宗仁, 贝伟斌, 吴剑波, 徐斌, 李春忠 申请人:德清华莹电子有限公司